[B2021112403]MPCVD半导体工艺系统网上竞价公告
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[B2021112403]MPCVD半导体工艺系统网上竞价公告
采购项目信息
| 项目名称 | MPCVD半导体工艺系统 | 项目编号 | B 点击查看>> |
| 开始时间 | 点击查看>> * : * : * | 截止时间 | 点击查看>> * : * : * |
| 供应商资格要求 | 参照《中华人民共和国政府采购法》第 * 十 * 条规定的资格条件。 | ||
采购货物信息列表
| 序号 | 货物（服务）名称 | 数量 | 计量单位 | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | MPCVD | 1 | 套 | ||||
| 技术参数 | 1、手套箱及抽风管道升级。改造设备手套及抽风管道，使其具备 * 硼烷、硅烷（B2H6、SiH4）等半导体工艺气 (略) 理能力，从而进 * 步拓展设备的半导体工艺性能。设备升级 (略) 分：（1）手套箱内增加 * 硼烷、硅烷浓度侦测器，用于监测手套箱内是否存在 * 硼烷、硅烷泄露；（2）手套箱循环系统增加活性炭过滤器，用于吸附反应腔内可能发生的微量 * 硼烷、硅烷泄露；（3）设备增加抽风管道，用 (略) 形成相对负压，防止可能的工艺气体泄露向设备外扩散。2、样品台升级。改造样品台，提高生长区域的温度均匀性，增加偏压功能模块。（1）通过有限元仿真及实验验证改造样品台，实现有效生长区域内，衬底温度差异≤ * ℃， (略) 件包括：铜样品台、圆形钼板、水冷系统；（2）样品台增加偏压功能模块，可在样品台上施加0- * V大小的偏压。3、实现手套箱和真空互联系统的对接。MPCVD系统配置有手套箱，升级改造的重点是将手套箱和真空互联系统的进样室连接，实现衬底从无氧无水的手套箱转移到高真空的进样室，从而进 * 步可以转移到真空互联系统的其它功能腔室。（1）在手套箱壳体增加接口，安装与真空互联系统对接管道；（2） (略) 安装线性机械手，实现衬底在MPCVD手套箱和真空系统的进样室之间的转移。4、气路及气体流量计升级。（1）增加适用于纯硅烷（SiH4）的MFC流量计，量程为 * sccm；（2）增加适用于5%B2H6/H2混合气的MFC流量计，量程为 * sccm；（3）增加氩气（Ar）气路，将设备原有6路气体升级改造为7路气体。氩气延用设备预留气路 (略) 有的 * sccm MFC流量计（M6）；（4）原用于B2H6的5sccm MFC流量计（M4）作为备件保留。 | ||||||
| 相关材料 | |||||||
(略) 采购与 (略)
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采购项目信息
| 项目名称 | MPCVD半导体工艺系统 | 项目编号 | B 点击查看>> |
| 开始时间 | 点击查看>> * : * : * | 截止时间 | 点击查看>> * : * : * |
| 供应商资格要求 | 参照《中华人民共和国政府采购法》第 * 十 * 条规定的资格条件。 | ||
采购货物信息列表
| 序号 | 货物（服务）名称 | 数量 | 计量单位 | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | MPCVD | 1 | 套 | ||||
| 技术参数 | 1、手套箱及抽风管道升级。改造设备手套及抽风管道，使其具备 * 硼烷、硅烷（B2H6、SiH4）等半导体工艺气 (略) 理能力，从而进 * 步拓展设备的半导体工艺性能。设备升级 (略) 分：（1）手套箱内增加 * 硼烷、硅烷浓度侦测器，用于监测手套箱内是否存在 * 硼烷、硅烷泄露；（2）手套箱循环系统增加活性炭过滤器，用于吸附反应腔内可能发生的微量 * 硼烷、硅烷泄露；（3）设备增加抽风管道，用 (略) 形成相对负压，防止可能的工艺气体泄露向设备外扩散。2、样品台升级。改造样品台，提高生长区域的温度均匀性，增加偏压功能模块。（1）通过有限元仿真及实验验证改造样品台，实现有效生长区域内，衬底温度差异≤ * ℃， (略) 件包括：铜样品台、圆形钼板、水冷系统；（2）样品台增加偏压功能模块，可在样品台上施加0- * V大小的偏压。3、实现手套箱和真空互联系统的对接。MPCVD系统配置有手套箱，升级改造的重点是将手套箱和真空互联系统的进样室连接，实现衬底从无氧无水的手套箱转移到高真空的进样室，从而进 * 步可以转移到真空互联系统的其它功能腔室。（1）在手套箱壳体增加接口，安装与真空互联系统对接管道；（2） (略) 安装线性机械手，实现衬底在MPCVD手套箱和真空系统的进样室之间的转移。4、气路及气体流量计升级。（1）增加适用于纯硅烷（SiH4）的MFC流量计，量程为 * sccm；（2）增加适用于5%B2H6/H2混合气的MFC流量计，量程为 * sccm；（3）增加氩气（Ar）气路，将设备原有6路气体升级改造为7路气体。氩气延用设备预留气路 (略) 有的 * sccm MFC流量计（M6）；（4）原用于B2H6的5sccm MFC流量计（M4）作为备件保留。 | ||||||
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