湿法清洗机(晶圆清洗机)
统 * 信息编码:HLJGGG 点击查看>>
专业领域:其他
( * )采购内容:湿法清洗机(晶圆清洗机)(1台)
( * )技术指标要求
1)清洗6吋硅晶圆,手动上下料,无需自动供液回收系统;
2)共8个槽,包括4个有机溶剂槽与4个水槽;
其中SPM槽1个(温控RT 点击查看>> ±1℃),SCI槽2个(温控RT- * ±1℃,超声 * KHz),DHF槽1个,
热水槽1个(温控RT- * ℃精度1℃),QDR槽3个;
3)设备应配备酸碱及有机废气通风排气通道。
( * )联系方式
采购联系人:柳志刚;工作电话: 点击查看>>
该项目采取线下对接响应,其他具体 (略) 项目联系人。
四川
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