湿法清洗机(晶圆清洗机)

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湿法清洗机(晶圆清洗机)



湿法清洗机(晶圆清洗机)

公告类型:询价发布单位: (略) (略) 发布时间: 点击查看>> * : * : * 截止时间: 点击查看>> 点击次数:
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统 * 信息编码:HLJGGG 点击查看>>

专业领域:其他

主要内容

( * )采购内容:湿法清洗机(晶圆清洗机)(1台)

( * )技术指标要求

1)清洗6吋硅晶圆,手动上下料,无需自动供液回收系统;

2)共8个槽,包括4个有机溶剂槽与4个水槽;

其中SPM槽1个(温控RT 点击查看>> ±1℃),SCI槽2个(温控RT- * ±1℃,超声 * KHz),DHF槽1个,

热水槽1个(温控RT- * ℃精度1℃),QDR槽3个;

3)设备应配备酸碱及有机废气通风排气通道。

( * )联系方式

采购联系人:柳志刚;工作电话: 点击查看>>

该项目采取线下对接响应,其他具体 (略) 项目联系人。


对不起, (略) 企事业单位认证用户,不具备浏览相关信息的权限!
请使用 (略) 对接!
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1)清洗6吋硅晶圆,手动上下料,无需自动供液回收系统;

2)共8个槽,包括4个有机溶剂槽与4个水槽;

其中SPM槽1个(温控RT 点击查看>> ±1℃),SCI槽2个(温控RT- * ±1℃,超声 * KHz),DHF槽1个,

热水槽1个(温控RT- * ℃精度1℃),QDR槽3个;

3)设备应配备酸碱及有机废气通风排气通道。

( * )联系方式

采购联系人:柳志刚;工作电话: 点击查看>>

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