高真空电阻蒸发镀膜设备

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高真空电阻蒸发镀膜设备


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基本信息：
国产含税
增值税专用发票
人民币
发布竞价结果后7天内签约合同
合同签订后7天内送达
免费上门安装（含材料费）
货到验收合格后付款
申购明细：
序号
1
采购内容
高真空电阻蒸发镀膜设备
数量
1台
预算单价
品牌
微纳真空
型号
VZZ- *
规格参数
1.真空腔室：直径不小于 * mm，高度不小于 * mm；2.真空系统：主泵采用分子泵，分子泵抽速不小于 * L/s，前级泵抽速不小于6L/s；3.★真空极限：优于2.0× * -5Pa；4.抽速：抽至2.0× * -4Pa≤ * min；5.基片台尺寸：最大可镀基片尺寸不小于φ * mm，衬底水冷；6.可在线监测镀膜速率和厚度，蒸镀速率分辨率不低于0.1?/s；7.★蒸发源及电源：不少于两组蒸发源，预留拓展至多 * 组蒸发源孔位；不少于1台蒸发电源，功率不小于2.3Kw；8.交货周期：合同签订后1周内发货，2周内完成供货 (略) 的安装调试；9.其他：配齐设备需要的其它外围设备，冷水机 * 台，设备备品备件 * 套，要求设备到位后即能开展工作； * .加盖制造商公章的售后服务承诺函编入响应文件；
质保及售后服务
按行业标准提供服务
附件
严正声明：未经本平台授权，严禁以任何形式转载或使用本平台数据， * 经发现，依法追究法律责任。

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数量
1台
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品牌
微纳真空
型号
VZZ- *
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1.真空腔室：直径不小于 * mm，高度不小于 * mm；2.真空系统：主泵采用分子泵，分子泵抽速不小于 * L/s，前级泵抽速不小于6L/s；3.★真空极限：优于2.0× * -5Pa；4.抽速：抽至2.0× * -4Pa≤ * min；5.基片台尺寸：最大可镀基片尺寸不小于φ * mm，衬底水冷；6.可在线监测镀膜速率和厚度，蒸镀速率分辨率不低于0.1?/s；7.★蒸发源及电源：不少于两组蒸发源，预留拓展至多 * 组蒸发源孔位；不少于1台蒸发电源，功率不小于2.3Kw；8.交货周期：合同签订后1周内发货，2周内完成供货 (略) 的安装调试；9.其他：配齐设备需要的其它外围设备，冷水机 * 台，设备备品备件 * 套，要求设备到位后即能开展工作； * .加盖制造商公章的售后服务承诺函编入响应文件；
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