分子束激光沉积系统

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分子束激光沉积系统



基本信息

项目编号中大招（货）[ * 号
项目名称 (略) 材料 (略) 分子束激光沉积系统采购项目
项目类型货物采购 申购主题分子束激光沉积系统采购单位 (略)
项目预算采购开始时间 点击查看>> * : * 采购结束时间 点击查看>> * : * 是否送货是
期望收货时间合同签订后 * 天交货经办人王老师经办人电话 点击查看>>
送货地址 (略) 省广 (略) 城外环东路1 (略) 化学材料综合楼B *
备注1、国内供货请报含税人民币价；境外供货（进口）请报免税人民币价或外币价， (略) 必须有境外人民币收款账户。 2、进口货物中如 (略) 分，供应商在报价时应分别报价， (略) 分、 (略) 分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物购销协议和国内采购合同；外贸代理费由供应商支付。3、 (略) 不收取任何费用。4、若产生加征关税由供应商负责。5、“★”标注的技术参数为废标条款。

设备列表

采购设备数量参考品牌详细响应要求
分子束激光沉积系统1台详情请进入系统查看
"分子束激光沉积系统"技术要求
序号技术要求内容评分等级是否需要附件说明
1 1. 主机参数：激光室：（球）内径为Ф * mm，其上布置两自由度样品架、 * 工位靶、分子束源系统（1个）、观察窗（1个）、激光窗（1个）、分子泵、高真空测量计、旁抽阀、气路、陶瓷封接引线等接口。激光室材质为 * 不锈钢，采用进口氩弧焊机焊接并经氦质谱检漏，漏率小于3× * ^(–8) Pa.l/s，表 (略) 理。内置烘烤灯1个，烘烤灯最大功率为 * W。补充说明： * ^(–8)表示 * 的(–8)次方，其他类似表述的定义方式相同。 重要 否
2 ★2. 激光室的真空获得及测量：本系统采用分子泵+机械泵 (略) 主抽，经烘烤，其极限真空度≤ 6.6× * ^(–5) Pa（ * ℃，抽2小时）；激光室具有旁抽功能，可通过 * 角阀 (略) 旁抽。真空测量采用数显复合真空计，真空计测量范围为2× * ^(–5)- * ^(5) Pa。 非常重要 是
3 3. 两自由度样品架：可装样品尺寸不小于2英寸，样品在氧气气氛下表面最高加热温度可达 * ℃（必须是样品表面的温度），2英寸表面内不同区域的温度波动在± * °C以内，通过热偶测温，热偶与基底台表面的距离为2-3 mm，并具有控温系统，控温精度：±1℃，热偶温度与基底台表面实际温度的差值≤ * - * °C。样品能够随加热炉 * 起自转，采用步进电机+减速器控制，转速0～ * 转/分；样品相对靶面的距离可调（手动），调节范围为 * - * mm。移动密封采用进口波纹管密封结构。 非常重要 是
4 4. * 工位靶：可安装 * 块靶材，靶材的尺寸暴露直径≥ * mm。每块靶材可公转到溅射位置并精确定位、自转，公转、自转均由步进电机驱动，自转转速0- * 转/分。靶配手动挡板。溅射时能只露出被溅靶材，其余 * 块靶材被遮挡。在靶材与基底之间设置1个能够固定小挡板的装置，可自由添加/移除挡板。 重要 否
5 ★5. 分子束源系统：配有1个独立的分子束源，能够精确控制其蒸发温度，加热温度能够达到 * °C- * °C，分子束源的温度能够独立于基 (略) 调控，温度波动±2 °C以内。分子束源系统可移动，有准直孔正对基底。 非常重要 是
6 6. 采用可透 * nm的紫外光的石英窗作为激光入射口，透过率为≥ * %，并配气动挡板（更换靶位用）。 重要 否
7 7. 电源系统、气路系统、控制系统、安装台架：全部电源安装在 * 个高度1.6米的标准机柜中，包括：样品加热控温电源 * 台；分子束源电源 * 台；总控制电源 * 台；控制电源（含机械泵、旁抽电磁阀、烘烤照明、样品自转） * 台，分子泵电源 * 台；真空计 * 台。采用两路质量流量计控制反应气体并配截止阀。采用PLC控制样品自转、靶自转和公转、样品加热、束源控制、气体流量设定。并提供控制软件。整个设备安放在 * 个用型钢焊接而成的台架上，此台架 (略) 理。上面罩不锈钢装饰板。 重要 否
8 8. 整机组装后的技术要求：对于常用的 * 维材料如MoS2、Bi2Te3、ZnIn2S4等， (略) 沉积的薄膜的 (略) 调节，其范围覆盖5- * nm；另外，要求薄膜生长尺寸能够达到2英寸。所沉积薄膜的微区（ * μm× * μm）均方根粗糙度要求为≤ 2 nm（针对 * nm厚的薄膜）。；2、附件参数：无；3、软件及其功能：无 非常重要 是
9 9. 保修及培训要求：免费保修时间：2年。保修范围：整机免费保修。保修服务要求：按ISO * 质量管理体系要求组织设计、加工、过程检验、装调、终检、包装、发运、现场安装调试，每个阶段均需严格把关，直至完成交钥匙工程。对于保修期内用户在使用设备期间的质量问题，厂家责无旁贷负责。收到用户反馈信息，厂家应两小时做出响应，视情况电话沟通解决、邮寄配件、 (略) 。 (略) ，厂家保证 * 小时内到达。质保期：两年。保修期内，厂家免费维修。保修期过后，仍提供优质的售后服务，负责维修，仅核收成本费。设备终身维护。培训要求：免费培训仪器操作、维护及故障排除。 重要 否




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项目名称 (略) 材料 (略) 分子束激光沉积系统采购项目
项目类型货物采购 申购主题分子束激光沉积系统采购单位 (略)
项目预算采购开始时间 点击查看>> * : * 采购结束时间 点击查看>> * : * 是否送货是
期望收货时间合同签订后 * 天交货经办人王老师经办人电话 点击查看>>
送货地址 (略) 省广 (略) 城外环东路1 (略) 化学材料综合楼B *
备注1、国内供货请报含税人民币价；境外供货（进口）请报免税人民币价或外币价， (略) 必须有境外人民币收款账户。 2、进口货物中如 (略) 分，供应商在报价时应分别报价， (略) 分、 (略) 分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物购销协议和国内采购合同；外贸代理费由供应商支付。3、 (略) 不收取任何费用。4、若产生加征关税由供应商负责。5、“★”标注的技术参数为废标条款。

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采购设备数量参考品牌详细响应要求
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"分子束激光沉积系统"技术要求
序号技术要求内容评分等级是否需要附件说明
1 1. 主机参数：激光室：（球）内径为Ф * mm，其上布置两自由度样品架、 * 工位靶、分子束源系统（1个）、观察窗（1个）、激光窗（1个）、分子泵、高真空测量计、旁抽阀、气路、陶瓷封接引线等接口。激光室材质为 * 不锈钢，采用进口氩弧焊机焊接并经氦质谱检漏，漏率小于3× * ^(–8) Pa.l/s，表 (略) 理。内置烘烤灯1个，烘烤灯最大功率为 * W。补充说明： * ^(–8)表示 * 的(–8)次方，其他类似表述的定义方式相同。 重要 否
2 ★2. 激光室的真空获得及测量：本系统采用分子泵+机械泵 (略) 主抽，经烘烤，其极限真空度≤ 6.6× * ^(–5) Pa（ * ℃，抽2小时）；激光室具有旁抽功能，可通过 * 角阀 (略) 旁抽。真空测量采用数显复合真空计，真空计测量范围为2× * ^(–5)- * ^(5) Pa。 非常重要 是
3 3. 两自由度样品架：可装样品尺寸不小于2英寸，样品在氧气气氛下表面最高加热温度可达 * ℃（必须是样品表面的温度），2英寸表面内不同区域的温度波动在± * °C以内，通过热偶测温，热偶与基底台表面的距离为2-3 mm，并具有控温系统，控温精度：±1℃，热偶温度与基底台表面实际温度的差值≤ * - * °C。样品能够随加热炉 * 起自转，采用步进电机+减速器控制，转速0～ * 转/分；样品相对靶面的距离可调（手动），调节范围为 * - * mm。移动密封采用进口波纹管密封结构。 非常重要 是
4 4. * 工位靶：可安装 * 块靶材，靶材的尺寸暴露直径≥ * mm。每块靶材可公转到溅射位置并精确定位、自转，公转、自转均由步进电机驱动，自转转速0- * 转/分。靶配手动挡板。溅射时能只露出被溅靶材，其余 * 块靶材被遮挡。在靶材与基底之间设置1个能够固定小挡板的装置，可自由添加/移除挡板。 重要 否
5 ★5. 分子束源系统：配有1个独立的分子束源，能够精确控制其蒸发温度，加热温度能够达到 * °C- * °C，分子束源的温度能够独立于基 (略) 调控，温度波动±2 °C以内。分子束源系统可移动，有准直孔正对基底。 非常重要 是
6 6. 采用可透 * nm的紫外光的石英窗作为激光入射口，透过率为≥ * %，并配气动挡板（更换靶位用）。 重要 否
7 7. 电源系统、气路系统、控制系统、安装台架：全部电源安装在 * 个高度1.6米的标准机柜中，包括：样品加热控温电源 * 台；分子束源电源 * 台；总控制电源 * 台；控制电源（含机械泵、旁抽电磁阀、烘烤照明、样品自转） * 台，分子泵电源 * 台；真空计 * 台。采用两路质量流量计控制反应气体并配截止阀。采用PLC控制样品自转、靶自转和公转、样品加热、束源控制、气体流量设定。并提供控制软件。整个设备安放在 * 个用型钢焊接而成的台架上，此台架 (略) 理。上面罩不锈钢装饰板。 重要 否
8 8. 整机组装后的技术要求：对于常用的 * 维材料如MoS2、Bi2Te3、ZnIn2S4等， (略) 沉积的薄膜的 (略) 调节，其范围覆盖5- * nm；另外，要求薄膜生长尺寸能够达到2英寸。所沉积薄膜的微区（ * μm× * μm）均方根粗糙度要求为≤ 2 nm（针对 * nm厚的薄膜）。；2、附件参数：无；3、软件及其功能：无 非常重要 是
9 9. 保修及培训要求：免费保修时间：2年。保修范围：整机免费保修。保修服务要求：按ISO * 质量管理体系要求组织设计、加工、过程检验、装调、终检、包装、发运、现场安装调试，每个阶段均需严格把关，直至完成交钥匙工程。对于保修期内用户在使用设备期间的质量问题，厂家责无旁贷负责。收到用户反馈信息，厂家应两小时做出响应，视情况电话沟通解决、邮寄配件、 (略) 。 (略) ，厂家保证 * 小时内到达。质保期：两年。保修期内，厂家免费维修。保修期过后，仍提供优质的售后服务，负责维修，仅核收成本费。设备终身维护。培训要求：免费培训仪器操作、维护及故障排除。 重要 否


    
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