(略) - 竞价公告 (CB 点击查看>> )
发布时间： 点击查看>> * : * : * 截止时间： 点击查看>> * : * : *
基本信息：

申购单号：
CB 点击查看>>
申购主题：
* 靶磁控溅射仪
采购单位：
(略)
报价要求：
国产含税
发票类型：
增值税专用发票
币种：
人民币

签约时间：
发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间：
合同签订后 * 天内送达
安装要求：
免费上门安装（含材料费）
收货地址：
(略) 省/ (略) 市/ (略) 区
我要报价

付款方式：
1.货到安装、调试、验收合格后，付全款。
备注说明：

申购明细：
序号
1
采购内容
* 靶磁控溅射仪
数量
1台
预算单价
品牌
不限
型号
不限
规格参数
1、系统极限真空：溅射室：系统经烘烤，可达8× * -6Pa； 抽速：系统从大气开始抽气， * 分钟可达6.6× * -4Pa。 2、 系统漏率： 溅射室：停泵关机 * 小时后真空度≤5Pa。 3、 真空获得： * L/s脂润滑分子泵+8L/s机械泵通过 * CC * 超高真空闸板阀主抽，并通过 * 个CF * (略) 旁路抽气。 4、溅射室：为双层水冷圆筒立式电动上升盖结构，材质为 * 不锈钢。外表 (略) 理后电解抛光 5、磁控靶（ * 支）；靶直径Ф * mm，靶内水冷；永磁靶RF﹑DC兼容；每个靶前面都有 * 套靶挡板，电动控制。 6、样品转盘： 6.1、 * 次可装 * 个Ф * mm基片， 6.2、样品托及热屏蔽均采用耐高温材料；加热炉为电阻加热，样品加热温度：室温～ * ℃，加热控温采用日本品牌的温控表与热电偶闭环控制。 6.3、溅射过程中基片可自转，基片可连续回转，转速5～ * 转/分，转速无级可调。 6.4、基片可以加负偏压- * V。 7、 气路系统：采用 * 路质量流量计控制进气，并配以相应的进气截止阀。流量计流量0～ * SCCM（Ar）、1～ * SCCM(O2或N2) 8、溅射电源：直流恒流电源： * W * 台；自动匹配射频电源 * W * 台。
质保及售后服务
按行业标准提供服务； (略) 验收合格后， * 年内免费维修正常使用出现的故障；非正常使用出现的故障维修，只核收工本费。终身维修只核收工本费。售 (略) 时间， * 小时内。

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基本信息：

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* 靶磁控溅射仪
采购单位：
(略)
报价要求：
国产含税
发票类型：
增值税专用发票
币种：
人民币

签约时间：
发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间：
合同签订后 * 天内送达
安装要求：
免费上门安装（含材料费）
收货地址：
(略) 省/ (略) 市/ (略) 区
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1.货到安装、调试、验收合格后，付全款。
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1
采购内容
* 靶磁控溅射仪
数量
1台
预算单价
品牌
不限
型号
不限
规格参数
1、系统极限真空：溅射室：系统经烘烤，可达8× * -6Pa； 抽速：系统从大气开始抽气， * 分钟可达6.6× * -4Pa。 2、 系统漏率： 溅射室：停泵关机 * 小时后真空度≤5Pa。 3、 真空获得： * L/s脂润滑分子泵+8L/s机械泵通过 * CC * 超高真空闸板阀主抽，并通过 * 个CF * (略) 旁路抽气。 4、溅射室：为双层水冷圆筒立式电动上升盖结构，材质为 * 不锈钢。外表 (略) 理后电解抛光 5、磁控靶（ * 支）；靶直径Ф * mm，靶内水冷；永磁靶RF﹑DC兼容；每个靶前面都有 * 套靶挡板，电动控制。 6、样品转盘： 6.1、 * 次可装 * 个Ф * mm基片， 6.2、样品托及热屏蔽均采用耐高温材料；加热炉为电阻加热，样品加热温度：室温～ * ℃，加热控温采用日本品牌的温控表与热电偶闭环控制。 6.3、溅射过程中基片可自转，基片可连续回转，转速5～ * 转/分，转速无级可调。 6.4、基片可以加负偏压- * V。 7、 气路系统：采用 * 路质量流量计控制进气，并配以相应的进气截止阀。流量计流量0～ * SCCM（Ar）、1～ * SCCM(O2或N2) 8、溅射电源：直流恒流电源： * W * 台；自动匹配射频电源 * W * 台。
质保及售后服务
按行业标准提供服务； (略) 验收合格后， * 年内免费维修正常使用出现的故障；非正常使用出现的故障维修，只核收工本费。终身维修只核收工本费。售 (略) 时间， * 小时内。