申购单号:CB 点击查看>>
申购主题: * 靶磁控溅射仪
采购单位: (略)
报价要求:
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间:合同签订后 * 天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址: (略) 省/ (略) 市/ (略) 区/点击查看>>*
付款方式:1.货到安装、调试、验收合格后，付全款。
备注说明:申购人：林舒 点击查看>> 申购明细：

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序号	采购内容	数量	预算单价
1	* 靶磁控溅射仪	1.0	台
品牌	不限
型号	不限
规格参数	1、系统极限真空：溅射室：系统经烘烤，可达8× * -6Pa； 抽速：系统从大气开始抽气， * 分钟可达6.6× * -4Pa。2、系统漏率：溅射室：停泵关机 * 小时后真空度≤5Pa。3、 真空获得： * L/s脂润滑分子泵+8L/s机械泵通过 * CC * 超高真空闸板阀主抽，并通过 * 个CF * (略) 旁路抽气。4、溅射室：为双层水冷圆筒立式电动上升盖结构，材质为 * 不锈钢。外表 (略) 理后电解抛光5、磁控靶（ * 支）；靶直径Ф * mm，靶内水冷；永磁靶RF﹑DC兼容；每个靶前面都有 * 套靶挡板，电动控制。6、样品转盘：6.1、 * 次可装 * 个Ф * mm基片，6.2、样品托及热屏蔽均采用耐高温材料；加热炉为电阻加热，样品加热温度：室温～ * ℃，加热控温采用日本品牌的温控表与热电偶闭环控制。6.3、溅射过程中基片可自转，基片可连续回转，转速5～ * 转/分，转速无级可调。6.4、基片可以加负偏压- * V。7、气路系统：采用 * 路质量流量计控制进气，并配以相应的进气截止阀。流量计流量0～ * SCCM（Ar）、1～ * SCCM(O2或N2)8、溅射电源：直流恒流电源： * W * 台；自动匹配射频电源 * W * 台。
质保及售后服务	按行业标准提供服务； (略) 验收合格后， * 年内免费维修正常使用出现的故障；非正常使用出现的故障维修，只核收工本费。终身维修只核收工本费。售 (略) 时间， * 小时内。

信息来自：https:/ 点击查看>> #/purchase/detail/beb * a * d * 0ba5fd9ff * fbd * b 申购单号:CB 点击查看>>
申购主题: * 靶磁控溅射仪
采购单位: (略)
报价要求:
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间:合同签订后 * 天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址: (略) 省/ (略) 市/ (略) 区/点击查看>>*
付款方式:1.货到安装、调试、验收合格后，付全款。
备注说明:申购人：林舒 点击查看>> 申购明细：

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序号	采购内容	数量	预算单价
1	* 靶磁控溅射仪	1.0	台
品牌	不限
型号	不限
规格参数	1、系统极限真空：溅射室：系统经烘烤，可达8× * -6Pa； 抽速：系统从大气开始抽气， * 分钟可达6.6× * -4Pa。2、系统漏率：溅射室：停泵关机 * 小时后真空度≤5Pa。3、 真空获得： * L/s脂润滑分子泵+8L/s机械泵通过 * CC * 超高真空闸板阀主抽，并通过 * 个CF * (略) 旁路抽气。4、溅射室：为双层水冷圆筒立式电动上升盖结构，材质为 * 不锈钢。外表 (略) 理后电解抛光5、磁控靶（ * 支）；靶直径Ф * mm，靶内水冷；永磁靶RF﹑DC兼容；每个靶前面都有 * 套靶挡板，电动控制。6、样品转盘：6.1、 * 次可装 * 个Ф * mm基片，6.2、样品托及热屏蔽均采用耐高温材料；加热炉为电阻加热，样品加热温度：室温～ * ℃，加热控温采用日本品牌的温控表与热电偶闭环控制。6.3、溅射过程中基片可自转，基片可连续回转，转速5～ * 转/分，转速无级可调。6.4、基片可以加负偏压- * V。7、气路系统：采用 * 路质量流量计控制进气，并配以相应的进气截止阀。流量计流量0～ * SCCM（Ar）、1～ * SCCM(O2或N2)8、溅射电源：直流恒流电源： * W * 台；自动匹配射频电源 * W * 台。
质保及售后服务	按行业标准提供服务； (略) 验收合格后， * 年内免费维修正常使用出现的故障；非正常使用出现的故障维修，只核收工本费。终身维修只核收工本费。售 (略) 时间， * 小时内。

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