电子束镀膜设备

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电子束镀膜设备


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发布时间： 点击查看>> 15:00:56 截止时间： 点击查看>> 09:00:00
基本信息：
国产含税
增值税普通发票
人民币
发布竞价结果后15天内签约合同
发布竞价结果后60天内到货
无需安装服务
货到验收合格后付款
申购明细：
序号
1
采购内容
电子束镀膜设备
数量
1
预算单价
品牌
型号
规格参数
一、主要技术指标：（一）仪器11.1该设备为单源(4个坩埚)电子束镀膜 。1.2主真空室 配置一套真空机组 及真空测量系统,1个E型电子枪 。样品台、可升降，样品台加热( * 度)。设备真空系统为分子泵系统。2.1 主真空室圆型前开门结构，前面配观察窗，真空室尺寸直径 * ×高 * mm。2.2 样品台安装于真空室上方，基片尺寸直径80mm，基片台加热( * 度),可升降。2.3 E型电子枪安装于真空室下方，镀膜坩埚位于基片正下方，提高效率和均匀度。2.3 主真空室 真空获得系统采用分子泵+机械泵+CF * 超高真空手 (略) 抽气。2.4 真空室组 (略) (略) 采用优质不锈钢 * 不锈钢材料制造，氩弧焊接， (略) 理采用电 (略) 理工艺。2.5 极限真空度可达8X10-5Pa. 从大气到工作真空5X10-4Pa少于40分钟（烘干后，充干燥氮气）。停止抽气后12小时保压小于10Pa。
质保及售后服务
按行业标准提供服务
附件
招标建议书.docx
严正声明：未经本平台授权，严禁以任何形式转载或使用本平台数据，一经发现，依法追究法律责任。

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