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精密六维调整架

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迈塔光电

E1-T

1. 精密六维调整操作平台：1-1 四轴可调衬底载物平台： (略) 程≥20mm，转移对位操作精度≤2μm；绕z轴手动调节旋转范围≥±90°，行程≥5°，调节精度≤0.1°左右；绕x轴和y轴倾斜台，调节方式：手动转轮，台面厚度≥20mm，倾斜角度≥±2°。1-2 衬底载物平台加热系统：样品台加热最高温度≥ * ℃，使用PID温度控制器，温度控制稳定性≤±0.1℃，带加热开关及原位微型风冷。★1-3 四轴可调载玻片移动平台：XYZ三轴可调，80mm高稳定性台面，行程≥25mm；Z轴为29mm直径百刻线微分头；样品送入手动旋转台，台面直径≥ * mm，粗调旋转范围 * °，细调旋转范围≥±5°，定位精度1~ 2°。1-4 支持真空自动吸附样品；真空泵电磁阀控制，按钮控制是否吸附样品；真空泵：流量≥35L/min。★1-5 双边夹具片：双边夹具片A，尺寸≥75*27*1.5mm，中心开孔尺寸≥13*13mm； 双边夹具片B，尺寸≥75*27*1.5mm，侧面凹槽尺寸≥22*15mm； 双边夹具片C，尺寸≥67*27*1.5mm，中心开孔尺寸≥8*8mm； 双边夹具片D，尺寸≥ * *40*1.5mm，侧面凹槽尺寸≥37*20mm； 单边夹具片A，尺寸≥75*27*1.5mm，开孔位置距离左端11mm，开孔尺寸≥13*13mm； 单边夹具片B，尺寸≥45*27*1.5mm；1-6 集成控制机箱：集成机柜包括电源、显微镜LED控制、温度控制、真空开关控制，工作电压 * V，最大输出功率≥ * W；2. 显微成像光路系统：2-1 单筒显微镜：变倍比1:6.5，变倍范围0.7X-4.5X，标准工作距离≥90mm，分辨率63- * lp/mm；2-2物镜配置：95mm超长工作距离物镜：20倍物镜物镜工作距离≥30mm，综合最大放大倍率 * ~ * 倍；双固定位设计，高倍放大下图像无明显抖动；2-3 白色LED照明：同轴照明系统，选用高亮度单颗1W LED，色温 * K，照明均匀；LED照明控制器90V- * V宽电压，1W LED控制器，可调光；★2-4 Metatest显微相机： * x * 高灵敏度CMOS传感器，30fps速度保存；支持HDMI相机直接输出到显示器；曝光时间0.4ms~ * ms，自动白平衡；支持WIFI数据传输；提供显微相机操作软件，支持电脑控制；工作温度-10~ 50摄氏度。★2-4 显微相机软件：支持角度、长度、周长、面积等多种测量方法；支持定标、灰度定标校准；支持拍照、视频2种数据保存模式；支持 (略) 理：自动白平衡、对比度调整，图像旋转、缩放等功能； 2-5显微观察支架：一体式高稳定性支架，长宽高≥ * mm* * mm* * mm，重量≥20kg， (略) 程≥50mm；；2-6显示器：24英寸 * * * 全高清专业显示器；2-7 提供手套箱安装配套灌胶线缆、延长气路以及隔振垫脚等配件，演示手套箱内二维材料转移操作流程。

按行业标准提供服务

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精密六维调整架

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1. 精密六维调整操作平台：1-1 四轴可调衬底载物平台： (略) 程≥20mm，转移对位操作精度≤2μm；绕z轴手动调节旋转范围≥±90°，行程≥5°，调节精度≤0.1°左右；绕x轴和y轴倾斜台，调节方式：手动转轮，台面厚度≥20mm，倾斜角度≥±2°。1-2 衬底载物平台加热系统：样品台加热最高温度≥ * ℃，使用PID温度控制器，温度控制稳定性≤±0.1℃，带加热开关及原位微型风冷。★1-3 四轴可调载玻片移动平台：XYZ三轴可调，80mm高稳定性台面，行程≥25mm；Z轴为29mm直径百刻线微分头；样品送入手动旋转台，台面直径≥ * mm，粗调旋转范围 * °，细调旋转范围≥±5°，定位精度1~ 2°。1-4 支持真空自动吸附样品；真空泵电磁阀控制，按钮控制是否吸附样品；真空泵：流量≥35L/min。★1-5 双边夹具片：双边夹具片A，尺寸≥75*27*1.5mm，中心开孔尺寸≥13*13mm； 双边夹具片B，尺寸≥75*27*1.5mm，侧面凹槽尺寸≥22*15mm； 双边夹具片C，尺寸≥67*27*1.5mm，中心开孔尺寸≥8*8mm； 双边夹具片D，尺寸≥ * *40*1.5mm，侧面凹槽尺寸≥37*20mm； 单边夹具片A，尺寸≥75*27*1.5mm，开孔位置距离左端11mm，开孔尺寸≥13*13mm； 单边夹具片B，尺寸≥45*27*1.5mm；1-6 集成控制机箱：集成机柜包括电源、显微镜LED控制、温度控制、真空开关控制，工作电压 * V，最大输出功率≥ * W；2. 显微成像光路系统：2-1 单筒显微镜：变倍比1:6.5，变倍范围0.7X-4.5X，标准工作距离≥90mm，分辨率63- * lp/mm；2-2物镜配置：95mm超长工作距离物镜：20倍物镜物镜工作距离≥30mm，综合最大放大倍率 * ~ * 倍；双固定位设计，高倍放大下图像无明显抖动；2-3 白色LED照明：同轴照明系统，选用高亮度单颗1W LED，色温 * K，照明均匀；LED照明控制器90V- * V宽电压，1W LED控制器，可调光；★2-4 Metatest显微相机： * x * 高灵敏度CMOS传感器，30fps速度保存；支持HDMI相机直接输出到显示器；曝光时间0.4ms~ * ms，自动白平衡；支持WIFI数据传输；提供显微相机操作软件，支持电脑控制；工作温度-10~ 50摄氏度。★2-4 显微相机软件：支持角度、长度、周长、面积等多种测量方法；支持定标、灰度定标校准；支持拍照、视频2种数据保存模式；支持 (略) 理：自动白平衡、对比度调整，图像旋转、缩放等功能； 2-5显微观察支架：一体式高稳定性支架，长宽高≥ * mm* * mm* * mm，重量≥20kg， (略) 程≥50mm；；2-6显示器：24英寸 * * * 全高清专业显示器；2-7 提供手套箱安装配套灌胶线缆、延长气路以及隔振垫脚等配件，演示手套箱内二维材料转移操作流程。

按行业标准提供服务