有机金属蒸发镀膜系统采购

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有机金属蒸发镀膜系统采购




发布时间: 点击查看>> 08:24:55截止时间: 点击查看>> 00:00:00
基本信息:


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国产含税

增值税普通发票

人民币




发布竞价结果后7天内签约合同

合同签订后7天内送达

免费上门安装(含材料费)





货到验收合格后付款


申购明细:
序号
1
采购内容
有机金属蒸发镀膜系统
数量
1台
预算单价
点击查看>>
品牌
盛嘉
型号
JSD * 型
规格参数
主要技术参数: 1、真空室:尺寸为L * *W * *H * mm; 2、样品盘尺寸: ≤ * * * mm,也可根据客户的实际实验要求定制掩模板; 3、极限真空度:优于5.0*10-5pa; 4、抽气时间:大气压~3*10-4Pa小于30min(充保护气体); 5、基片架旋转:基片采用步进电机+磁流体传动,可实现0~30转/分连续可调旋转;保证基片架在旋转过程中震动频率不得大于50Hz; 6、基片与蒸发源距离为 点击查看>> mm 可调,且真空腔室外设置有专门的调距指示装置;且可以具备自适应根据工艺自动调节距离的功能。 7、蒸发源: 本系统共有2套金属蒸发源和1套金属蒸发电源,来实现切换蒸发,每个蒸发源均配有可方便打开的防污挡板,来防止蒸发源的交叉污染。防污板通过气缸驱动,源与源之间配备防污隔板,可有效隔绝一定的温度,并避免源与源之间相互污染。1套有机束源炉,配一台控制电源。 8、蒸发电源:1套金属蒸发电源,1套有机束源炉控制电源。 9、真空腔室:;L * *W * *H * mm,不锈钢材质,前后开门,侧面抽气结构,在箱体一侧采用侧开门,方便装夹样品以及蒸发源材料,带石英玻璃玻璃观察窗,含防污挡板,真空室内外表 (略) 理: 9、真空系统:机械泵+分子泵,采用 * L/S分子泵+8L/S机械旋片泵组成真空抽气系统; 10、真空测量:真空计,量程范围:1.0*10-5Pa—大气; 11、配备膜厚仪一套:膜厚仪自带显示界面,也可通过电脑界面的软件来显示.膜厚速率显示精度在±0. 1A/S; 12、配备冷却水循环系统一套,功率大于1.5KW; 13、报警保护系统:对泵、电极等缺水,过流过压,断路等 (略) (略) 相应保护措施。
质保及售后服务
按行业标准提供服务



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JSD * 型
规格参数
主要技术参数: 1、真空室:尺寸为L * *W * *H * mm; 2、样品盘尺寸: ≤ * * * mm,也可根据客户的实际实验要求定制掩模板; 3、极限真空度:优于5.0*10-5pa; 4、抽气时间:大气压~3*10-4Pa小于30min(充保护气体); 5、基片架旋转:基片采用步进电机+磁流体传动,可实现0~30转/分连续可调旋转;保证基片架在旋转过程中震动频率不得大于50Hz; 6、基片与蒸发源距离为 点击查看>> mm 可调,且真空腔室外设置有专门的调距指示装置;且可以具备自适应根据工艺自动调节距离的功能。 7、蒸发源: 本系统共有2套金属蒸发源和1套金属蒸发电源,来实现切换蒸发,每个蒸发源均配有可方便打开的防污挡板,来防止蒸发源的交叉污染。防污板通过气缸驱动,源与源之间配备防污隔板,可有效隔绝一定的温度,并避免源与源之间相互污染。1套有机束源炉,配一台控制电源。 8、蒸发电源:1套金属蒸发电源,1套有机束源炉控制电源。 9、真空腔室:;L * *W * *H * mm,不锈钢材质,前后开门,侧面抽气结构,在箱体一侧采用侧开门,方便装夹样品以及蒸发源材料,带石英玻璃玻璃观察窗,含防污挡板,真空室内外表 (略) 理: 9、真空系统:机械泵+分子泵,采用 * L/S分子泵+8L/S机械旋片泵组成真空抽气系统; 10、真空测量:真空计,量程范围:1.0*10-5Pa—大气; 11、配备膜厚仪一套:膜厚仪自带显示界面,也可通过电脑界面的软件来显示.膜厚速率显示精度在±0. 1A/S; 12、配备冷却水循环系统一套,功率大于1.5KW; 13、报警保护系统:对泵、电极等缺水,过流过压,断路等 (略) (略) 相应保护措施。
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