云南大学-竞价公告(CB106732022000012)
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(略) :CB 点击查看>>
申购主题:光电器件制备与光学测试设备
采购单位: (略)
报价要求:
发票类型:增值税普通发票
币种:人民币
预算:
签约时间:
送货时间:合同签订后60天内送达
安装要求:免费上门安装(含材料费)
收货地址:云南省/昆明市/呈贡区/点击查看>>*
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:申购明细:
序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
1 | 光电器件制备设备 | 1.0 | 套 |
品牌 | 不限 | ||
型号 | 不限 | ||
规格参数 | 一、设备功能: 这是一套器件制备设备,它是在高真空条件下,通过加热材料的方法,在衬底上沉积各种金属、混合物单层或多层膜,制备各种半导体器件。主要用于金属和非金属材料的物理化学性能研究实验及金属材料的原理研究实验。本设备密封位置采用的是胶圈密封、金属密封或磁偶合密封技术,所用电极采用陶封技术,运动采用金属焊接波纹管结构。是一款经典型,智能的制备设备。 二、设备主要 (略) 项 目说明1 极限真空优于4×10-5Pa(新设备)2漏 率6.7×10-8Pa·L/S3工作真空5×10-4Pa,从大气到工作真空时间小于25分钟(新设备冷态下,充干燥N2) 4系统保压系统抽到极限后,停泵关机12小时后,系统真空度保持状态≤2Pa。5样品尺寸134×134mm.(可兼容100×100)6样品托尺寸140×140mm.(可兼容116×106)7样品架与源表面距离300mm8蒸发源金属源×4套。有机源×4套。 9样品架电动旋转,水冷。10真空室开腔形式手动前后大开门结构11掩膜版库4位三、设备详细配置1. (略) 分蒸发室由蒸发台、样品架、挡板、观察窗等组成。 1.1蒸发室 一套方形结构,内尺寸约400×420×550mm,内 (略) 理, (略) 理。内外开门结构,外门折页方式,内门隐藏式侧滑导轨方式。外门下方为DN90mm的胶圈石英观察窗,上方为DN190×100的胶圈观察窗。上下观察窗都安装有手动挡板。内门下方有一个DN90的胶圈密封观察窗,观察窗有手动挡板。真空室侧板开孔,安装分子泵系统。底板上安装蒸发电极。 (略) 安装样品架。1.2DN90观察窗 二套尺寸为DN90mm。材质为石英玻璃。一套内门,一套外门。1.3DN190×100观察窗 一套尺寸为DN190×100。胶圈密封观察窗。1.4手动观察窗挡板 三套胶圈密封运动结构。手动开关。用于遮挡相应的观察窗。1.5蒸发台 一套蒸发台安装 (略) ,(4金属4有机结构)蒸发台均布4套水冷电极和4套裸丝有机源,内部安装3cc高口石英坩埚。 1.6蒸发源电动挡板 8套共安装8套电/气动旋转挡板,可以在电控柜上操作。一套共用。1.7样品架与挡板一套样品架为电动旋转方式,转速0~30转/分连续可调。安装尺寸100×100mm精度高。一侧安装气动磁耦合对开大挡板。 [侧壁备有140×140的挡板接口]1.8掩膜版库一套模板库4片/次,样品:134×134mm,手动更换掩膜板。模板通过磁力手动拨叉进入样品架下方。可以在其他不运动的情况下自由选配模板。掩膜板库升降采用电动形式。并带有后观察窗,可以方便操作。磁力拨叉用于样品在掩膜库与样品架间的手动传递。1.9 工作台 一套碳钢工作台,表 (略) 理,两侧安装有围板。用于放置真空室。内部安装分子泵系统。和控制系统。2.真空获得系统 2.1机械泵 一套配置浙江飞跃8.3L机械泵一台。VRD- 点击查看>> 电磁压差阀 一套通径KF40,上海西玛特阀门产。安装在机械泵口,停泵时自动关闭。2.3气动截止阀 一套通径KF40,北京川北,安装在分子泵排气口,用于保护分子泵。2.4前级阀门三通组件 一套通径KF40,安装于分子泵与机械泵之间。2.5 (略) 三套通径KF40,一路连接分子泵,一路连接机械泵,一路连接预抽角阀。2.6CF35气动角阀 一套CF35气动角阀,通径CF35。手动操作。2.7手动放气阀 二套通径10mm。用于真空室放气,手动操作。一套外门,一套内门。3.电控系统 一套3.1电器控制柜 一套电控柜与工作台一体。上面安装着电控拉箱。由真空计、中央控制单元、膜厚仪、金属加热电源、有机蒸发电源、分子泵电源、 (略) 分组成 。3.2PLC+触摸屏 一套由韩国LG-PLC,北京昆仑通泰的10寸彩屏组成。并安装完毕控制软件。手动控制时要注意操作顺序。控制内容:预抽,前级,机械泵,分子泵运行。样品台旋转控制,按钮控制。设备报警与急停。3.3数显复合真空计 一套真空计5214用于显示整个系统的真空度。 选用成都睿宝5214-B型。 | ||
质保及售后服务 | 按行业标准提供服务,质保2年。 |
序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
2 | 环境获得与测量系统 | 1.0 | 套 |
品牌 | 不限 | ||
型号 | 不限 | ||
规格参数 | 一、系统功能:本 (略) 分组成,分别为环境获得系统,膜厚测量与控制系统,水冷系统和CDA系统组成。二、系统主要 (略) 项 目说明1 环境获得系统配有分子泵系统,抽速1200L/S。CF200接口,KF40接口。并配有相应的控制电源。配有相应的CF200插板阀。2膜厚测量与控制系统配有4套6MHZ膜厚探头,水冷。并配有相应的4通道膜厚测量仪,四通道同时显示测量,精度0.1A,并配有四套大功率电源,其中两套采用进口PID控制方式。3水冷系统独立的控温冷水循环系统,并带有分水器,压力检测报警。4CDA系统独立的静音CDA系统,三、系统主要配置1.涡轮分子泵 一套配置北京科仪KYKY-1200L分子泵一台。北京科仪KYKY-FF200/1200C。2.分子泵电源 一套 北京科仪分子泵电源。控制分子泵的启停。 3.CF200气动挡板板阀 一套CF200气动翻板阀,通径CF200。气动操作。4.膜厚仪 一套国产赛恩斯 TM-508-4 4通道产品,用于膜厚测量,镀膜速率的反馈控制。5.国产膜厚探头四套水冷管膜厚探头,可以安装标准6MHZ晶振片。探头安装有特殊屏蔽罩。6.冷水机 一套带水箱自循环冷水机。实验室专用,低噪音,低结露。常温模式。7.低温功率电源 二套逆变式电源。单独输出,独立控制。配有日本导电表PID控温,控温精度±0.5℃。8.高温功率电源 二套隔离变压器电源原理。总功率1.5KW。5V/300A. 一带二输出方式。 | ||
质保及售后服务 | 按行业标准提供服务,质保2年。 |
序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
3 | 光功率测试系统 | 1.0 | 套 |
品牌 | 索雷博 | ||
型号 | 索雷博 | ||
规格参数 | 系统配置要求: 1、Thorlabs S132C,Slim Photodiode Power Sensor, Ge, 700 - 1800 nm, 500 mW2、Thorlabs FBSM,FiberBench Mount for Slim Photodiode Sensors3、Thorlabs PM100D,Compact Power and Energy Meter Console, Digital 4" LCD4、Thorlabs POWER CORD CHINA,PM100D:POWER CORD CHINA: No Cost Accessory5、Thorlabs S120VC,Standard Photodiode Power Sensor, UV-Extended Si, 200 - 1100 nm, 50 mW | ||
质保及售后服务 | 按行业标准提供服务 |
(略) :CB 点击查看>>
申购主题:光电器件制备与光学测试设备
采购单位: (略)
报价要求:
发票类型:增值税普通发票
币种:人民币
预算:
签约时间:
送货时间:合同签订后60天内送达
安装要求:免费上门安装(含材料费)
收货地址:云南省/昆明市/呈贡区/点击查看>>*
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:申购明细:
序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
1 | 光电器件制备设备 | 1.0 | 套 |
品牌 | 不限 | ||
型号 | 不限 | ||
规格参数 | 一、设备功能: 这是一套器件制备设备,它是在高真空条件下,通过加热材料的方法,在衬底上沉积各种金属、混合物单层或多层膜,制备各种半导体器件。主要用于金属和非金属材料的物理化学性能研究实验及金属材料的原理研究实验。本设备密封位置采用的是胶圈密封、金属密封或磁偶合密封技术,所用电极采用陶封技术,运动采用金属焊接波纹管结构。是一款经典型,智能的制备设备。 二、设备主要 (略) 项 目说明1 极限真空优于4×10-5Pa(新设备)2漏 率6.7×10-8Pa·L/S3工作真空5×10-4Pa,从大气到工作真空时间小于25分钟(新设备冷态下,充干燥N2) 4系统保压系统抽到极限后,停泵关机12小时后,系统真空度保持状态≤2Pa。5样品尺寸134×134mm.(可兼容100×100)6样品托尺寸140×140mm.(可兼容116×106)7样品架与源表面距离300mm8蒸发源金属源×4套。有机源×4套。 9样品架电动旋转,水冷。10真空室开腔形式手动前后大开门结构11掩膜版库4位三、设备详细配置1. (略) 分蒸发室由蒸发台、样品架、挡板、观察窗等组成。 1.1蒸发室 一套方形结构,内尺寸约400×420×550mm,内 (略) 理, (略) 理。内外开门结构,外门折页方式,内门隐藏式侧滑导轨方式。外门下方为DN90mm的胶圈石英观察窗,上方为DN190×100的胶圈观察窗。上下观察窗都安装有手动挡板。内门下方有一个DN90的胶圈密封观察窗,观察窗有手动挡板。真空室侧板开孔,安装分子泵系统。底板上安装蒸发电极。 (略) 安装样品架。1.2DN90观察窗 二套尺寸为DN90mm。材质为石英玻璃。一套内门,一套外门。1.3DN190×100观察窗 一套尺寸为DN190×100。胶圈密封观察窗。1.4手动观察窗挡板 三套胶圈密封运动结构。手动开关。用于遮挡相应的观察窗。1.5蒸发台 一套蒸发台安装 (略) ,(4金属4有机结构)蒸发台均布4套水冷电极和4套裸丝有机源,内部安装3cc高口石英坩埚。 1.6蒸发源电动挡板 8套共安装8套电/气动旋转挡板,可以在电控柜上操作。一套共用。1.7样品架与挡板一套样品架为电动旋转方式,转速0~30转/分连续可调。安装尺寸100×100mm精度高。一侧安装气动磁耦合对开大挡板。 [侧壁备有140×140的挡板接口]1.8掩膜版库一套模板库4片/次,样品:134×134mm,手动更换掩膜板。模板通过磁力手动拨叉进入样品架下方。可以在其他不运动的情况下自由选配模板。掩膜板库升降采用电动形式。并带有后观察窗,可以方便操作。磁力拨叉用于样品在掩膜库与样品架间的手动传递。1.9 工作台 一套碳钢工作台,表 (略) 理,两侧安装有围板。用于放置真空室。内部安装分子泵系统。和控制系统。2.真空获得系统 2.1机械泵 一套配置浙江飞跃8.3L机械泵一台。VRD- 点击查看>> 电磁压差阀 一套通径KF40,上海西玛特阀门产。安装在机械泵口,停泵时自动关闭。2.3气动截止阀 一套通径KF40,北京川北,安装在分子泵排气口,用于保护分子泵。2.4前级阀门三通组件 一套通径KF40,安装于分子泵与机械泵之间。2.5 (略) 三套通径KF40,一路连接分子泵,一路连接机械泵,一路连接预抽角阀。2.6CF35气动角阀 一套CF35气动角阀,通径CF35。手动操作。2.7手动放气阀 二套通径10mm。用于真空室放气,手动操作。一套外门,一套内门。3.电控系统 一套3.1电器控制柜 一套电控柜与工作台一体。上面安装着电控拉箱。由真空计、中央控制单元、膜厚仪、金属加热电源、有机蒸发电源、分子泵电源、 (略) 分组成 。3.2PLC+触摸屏 一套由韩国LG-PLC,北京昆仑通泰的10寸彩屏组成。并安装完毕控制软件。手动控制时要注意操作顺序。控制内容:预抽,前级,机械泵,分子泵运行。样品台旋转控制,按钮控制。设备报警与急停。3.3数显复合真空计 一套真空计5214用于显示整个系统的真空度。 选用成都睿宝5214-B型。 | ||
质保及售后服务 | 按行业标准提供服务,质保2年。 |
序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
2 | 环境获得与测量系统 | 1.0 | 套 |
品牌 | 不限 | ||
型号 | 不限 | ||
规格参数 | 一、系统功能:本 (略) 分组成,分别为环境获得系统,膜厚测量与控制系统,水冷系统和CDA系统组成。二、系统主要 (略) 项 目说明1 环境获得系统配有分子泵系统,抽速1200L/S。CF200接口,KF40接口。并配有相应的控制电源。配有相应的CF200插板阀。2膜厚测量与控制系统配有4套6MHZ膜厚探头,水冷。并配有相应的4通道膜厚测量仪,四通道同时显示测量,精度0.1A,并配有四套大功率电源,其中两套采用进口PID控制方式。3水冷系统独立的控温冷水循环系统,并带有分水器,压力检测报警。4CDA系统独立的静音CDA系统,三、系统主要配置1.涡轮分子泵 一套配置北京科仪KYKY-1200L分子泵一台。北京科仪KYKY-FF200/1200C。2.分子泵电源 一套 北京科仪分子泵电源。控制分子泵的启停。 3.CF200气动挡板板阀 一套CF200气动翻板阀,通径CF200。气动操作。4.膜厚仪 一套国产赛恩斯 TM-508-4 4通道产品,用于膜厚测量,镀膜速率的反馈控制。5.国产膜厚探头四套水冷管膜厚探头,可以安装标准6MHZ晶振片。探头安装有特殊屏蔽罩。6.冷水机 一套带水箱自循环冷水机。实验室专用,低噪音,低结露。常温模式。7.低温功率电源 二套逆变式电源。单独输出,独立控制。配有日本导电表PID控温,控温精度±0.5℃。8.高温功率电源 二套隔离变压器电源原理。总功率1.5KW。5V/300A. 一带二输出方式。 | ||
质保及售后服务 | 按行业标准提供服务,质保2年。 |
序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
3 | 光功率测试系统 | 1.0 | 套 |
品牌 | 索雷博 | ||
型号 | 索雷博 | ||
规格参数 | 系统配置要求: 1、Thorlabs S132C,Slim Photodiode Power Sensor, Ge, 700 - 1800 nm, 500 mW2、Thorlabs FBSM,FiberBench Mount for Slim Photodiode Sensors3、Thorlabs PM100D,Compact Power and Energy Meter Console, Digital 4" LCD4、Thorlabs POWER CORD CHINA,PM100D:POWER CORD CHINA: No Cost Accessory5、Thorlabs S120VC,Standard Photodiode Power Sensor, UV-Extended Si, 200 - 1100 nm, 50 mW | ||
质保及售后服务 | 按行业标准提供服务 |
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