等离子体增强化学气相沉积系统采购

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等离子体增强化学气相沉积系统采购



发布时间:2022-04-08 10:54:58截止时间:2022-04-11 11:04:41
基本信息:


CB 点击查看>>





国产含税

增值税普通发票

人民币



发布竞价结果后7天内签约合同

发布竞价结果后30天内送达

免费上门安装(含材料费)





货到验收合格后付款


申购明细:
序号
1
采购内容
等离子体增强化学气相沉积系统
数量
1
预算单价
品牌
贝意克
型号
BTF-1200C-ASD-PECVD
规格参数
*炉管尺寸:Φ50*1200mm 加热元件:电阻丝(Fe-Cr-AlAlloydopedbyMo) *加热区长度:230mm *恒温区长度:100mm 工作温度:1100℃ 最高温度:1200℃ *控温精度:≤ ±1℃ *升温速率:0-50℃/min 炉门结构:手动开启式 *炉体滑动:电动滑动式 *供气系统:2路高精度质量流量计,量程50sccm,200sccm可选。 *流量计控制精度:±1% F.S. *重复精度:±0.2%F.S. *射频电源:500w 信号频率: 点击查看>> MHz±0.005% *真空系统:内部安装爱德华机械泵(RV-8 ) 1台,电容真空计(ZDM-I)1套,并含有配套使用的波纹管,手动挡板阀, (略) 件。 *极限真空度:0.1pa *压力控制系统: (略) 件蝶阀、压力控制器、电容真空计组成。控压范围:10~5000Pa 。 *软件控制:PLC智能化控制,操作界面为10”工控电脑,需将温控系统、滑轨炉滑动(时间和距离)、真空、流量计设定为程序控制。 工作电源:AC220V/50HZ
质保及售后服务
按行业标准提供服务


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1
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等离子体增强化学气相沉积系统
数量
1
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品牌
贝意克
型号
BTF-1200C-ASD-PECVD
规格参数
*炉管尺寸:Φ50*1200mm 加热元件:电阻丝(Fe-Cr-AlAlloydopedbyMo) *加热区长度:230mm *恒温区长度:100mm 工作温度:1100℃ 最高温度:1200℃ *控温精度:≤ ±1℃ *升温速率:0-50℃/min 炉门结构:手动开启式 *炉体滑动:电动滑动式 *供气系统:2路高精度质量流量计,量程50sccm,200sccm可选。 *流量计控制精度:±1% F.S. *重复精度:±0.2%F.S. *射频电源:500w 信号频率: 点击查看>> MHz±0.005% *真空系统:内部安装爱德华机械泵(RV-8 ) 1台,电容真空计(ZDM-I)1套,并含有配套使用的波纹管,手动挡板阀, (略) 件。 *极限真空度:0.1pa *压力控制系统: (略) 件蝶阀、压力控制器、电容真空计组成。控压范围:10~5000Pa 。 *软件控制:PLC智能化控制,操作界面为10”工控电脑,需将温控系统、滑轨炉滑动(时间和距离)、真空、流量计设定为程序控制。 工作电源:AC220V/50HZ
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