河海大学-竞价公告(CB102942022000003)
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(略) :CB 点击查看>>
申购主题:等离子体增强化学气相沉积系统
采购单位: (略)
报价要求:
发票类型:增值税普通发票
币种:人民币
预算:
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间:发布竞价结果后30天内送达
安装要求:免费上门安装(含材料费)
收货地址:江苏省/南京市/鼓楼区/点击查看>>*
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:申购明细:
序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
1 | 等离子体增强化学气相沉积系统 | 1.0 | |
品牌 | 贝意克 | ||
型号 | BTF-1200C-ASD-PECVD | ||
规格参数 | *炉管尺寸:Φ50*1200mm加热元件:电阻丝(Fe-Cr-Al?Alloy?doped?by?Mo)*加热区长度:230mm*恒温区长度:100mm工作温度:1100℃最高温度:1200℃*控温精度:≤ ±1℃*升温速率:0-50℃/min炉门结构:手动开启式*炉体滑动:电动滑动式*供气系统:2路高精度质量流量计,量程50sccm,200sccm可选。*流量计控制精度:±1% F.S.*重复精度:±0.2%F.S.*射频电源: (略) 频率: 点击查看>> MHz±0.005%*真空系统:内部安装爱德华机械泵(RV-8 ) 1台,电容真空计(ZDM-I)1套,并含有配套使用的波纹管,手动挡板阀, (略) 件。*极限真空度:0.1pa*压力控制系统: (略) 件蝶阀、压力控制器、电容真空计组成。控压范围:10~5000Pa 。*软件控制:PLC智能化控制,操作界面为10”工控电脑,需将温控系统、滑轨炉滑动(时间和距离)、真空、流量计设定为程序控制。工作电源:AC220V?/50HZ | ||
质保及售后服务 | 按行业标准提供服务 |
(略) :CB 点击查看>>
申购主题:等离子体增强化学气相沉积系统
采购单位: (略)
报价要求:
发票类型:增值税普通发票
币种:人民币
预算:
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间:发布竞价结果后30天内送达
安装要求:免费上门安装(含材料费)
收货地址:江苏省/南京市/鼓楼区/点击查看>>*
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:申购明细:
序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
1 | 等离子体增强化学气相沉积系统 | 1.0 | |
品牌 | 贝意克 | ||
型号 | BTF-1200C-ASD-PECVD | ||
规格参数 | *炉管尺寸:Φ50*1200mm加热元件:电阻丝(Fe-Cr-Al?Alloy?doped?by?Mo)*加热区长度:230mm*恒温区长度:100mm工作温度:1100℃最高温度:1200℃*控温精度:≤ ±1℃*升温速率:0-50℃/min炉门结构:手动开启式*炉体滑动:电动滑动式*供气系统:2路高精度质量流量计,量程50sccm,200sccm可选。*流量计控制精度:±1% F.S.*重复精度:±0.2%F.S.*射频电源: (略) 频率: 点击查看>> MHz±0.005%*真空系统:内部安装爱德华机械泵(RV-8 ) 1台,电容真空计(ZDM-I)1套,并含有配套使用的波纹管,手动挡板阀, (略) 件。*极限真空度:0.1pa*压力控制系统: (略) 件蝶阀、压力控制器、电容真空计组成。控压范围:10~5000Pa 。*软件控制:PLC智能化控制,操作界面为10”工控电脑,需将温控系统、滑轨炉滑动(时间和距离)、真空、流量计设定为程序控制。工作电源:AC220V?/50HZ | ||
质保及售后服务 | 按行业标准提供服务 |
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