单面光刻机采购

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单面光刻机采购



发布时间：2022-04-12 15:38:39截止时间：2022-04-16 12:00:00
基本信息：


CB 点击查看>>





国产含税

增值税普通发票

人民币



发布竞价结果后7天内签约合同

发布竞价结果后7天内送达

免费上门安装（含材料费）





1.货到安装、调试、验收合格后，付全款。


申购明细：
序号
1
采购内容
单面光刻机
数量
1
预算单价
品牌
不限
型号
不限
规格参数
光波长小于或者等于365nm，4吋片光照均匀性1%，6吋片的光照均匀性2%，曝光量自动或者手动设定，硅片表面光强度40mW/cm^2，或注明胶类型和胶厚度与曝光时间关系，对准精度优于0.5微米，套刻精度优于1.0微米，尽可能高，有效视场22mm*22mm，尽可能大些，有效分辨率优于0.5微米，光源采用汞灯，寿命要高，硅片尺寸为4-6吋，手动上版，可自动检查上版平整度，手动上片，可自动吸气固定硅片，显微 (略) 视场内清晰，符合光刻工艺要求，图像要清晰，不能出现虚像。
质保及售后服务
售后保修2年，质保期后提供长期售后服务，维修只收取配件成本费。


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