西安交通大学-竞价公告(CB106982022000671)
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西安交通大学-竞价公告(CB106982022000671)
(略) :CB 点击查看>>
申购主题:单面光刻机采购
采购单位: (略)
报价要求:
发票类型:增值税普通发票
币种:人民币
预算:
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间:发布竞价结果后7天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址:陕西省/西安市/长安区/点击查看>>*
付款方式:1.货到安装、调试、验收合格后，付全款。
备注说明:申购人：彭文博 点击查看>> 申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 单面光刻机 | 1.0 | |
| 品牌 | 不限 | ||
| 型号 | 不限 | ||
| 规格参数 | 光波长小于或者等于365nm，4吋片光照均匀性1%，6吋片的光照均匀性2%，曝光量自动或者手动设定，硅片表面光强度40mW/cm^2，或注明胶类型和胶厚度与曝光时间关系，对准精度优于0.5微米，套刻精度优于1.0微米，尽可能高，有效视场22mm*22mm，尽可能大些，有效分辨率优于0.5微米，光源采用汞灯，寿命要高，硅片尺寸为4-6吋，手动上版，可自动检查上版平整度，手动上片，可自动吸气固定硅片，显微 (略) 视场内清晰，符合光刻工艺要求，图像要清晰，不能出现虚像。 | ||
| 质保及售后服务 | 售后保修2年，质保期后提供长期售后服务，维修只收取配件成本费。 | ||
(略) :CB 点击查看>>
申购主题:单面光刻机采购
采购单位: (略)
报价要求:
发票类型:增值税普通发票
币种:人民币
预算:
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间:发布竞价结果后7天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址:陕西省/西安市/长安区/点击查看>>*
付款方式:1.货到安装、调试、验收合格后，付全款。
备注说明:申购人：彭文博 点击查看>> 申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 单面光刻机 | 1.0 | |
| 品牌 | 不限 | ||
| 型号 | 不限 | ||
| 规格参数 | 光波长小于或者等于365nm，4吋片光照均匀性1%，6吋片的光照均匀性2%，曝光量自动或者手动设定，硅片表面光强度40mW/cm^2，或注明胶类型和胶厚度与曝光时间关系，对准精度优于0.5微米，套刻精度优于1.0微米，尽可能高，有效视场22mm*22mm，尽可能大些，有效分辨率优于0.5微米，光源采用汞灯，寿命要高，硅片尺寸为4-6吋，手动上版，可自动检查上版平整度，手动上片，可自动吸气固定硅片，显微 (略) 视场内清晰，符合光刻工艺要求，图像要清晰，不能出现虚像。 | ||
| 质保及售后服务 | 售后保修2年，质保期后提供长期售后服务，维修只收取配件成本费。 | ||
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