LED紫外光刻机采购

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LED紫外光刻机采购



发布时间:2022-04-19 11:51:04截止时间:2022-04-22 12:01:00
基本信息:


CB 点击查看>>





国产含税

增值税普通发票

人民币




合同签订后15天内到货

免费上门安装(含材料费)





详情见备注


申购明细:
序号
1
采购内容
LED紫外光刻机
数量
1台
预算单价
品牌
奇点光电
型号
JD4S-A27P
规格参数
主要用于中小 (略) 、半导体元器件、光电子器件、声表面波器件的研制和生产。 产品特点: 1.球碗自动找平。 2.独立LED准直设计,配合蝇眼透镜实现高强度高均匀。 3.分离间隙可独立设置。 4.升降、调平、接触、电子快门曝光、复位自动化控制。 5.双视场显微镜实现高精度对准。 6.操作简单,稳定性好。 一.技术参数: 1.曝光类型:单面对准单面曝光; 2.曝光面积:100×100mm; 3.曝光照度不均匀性:≤3%; 4.曝光强度:≥30mw/cm2可调; 5.紫外光束角:≤2° 6. (略) 波长:365±5nm 7.紫外光源寿命:≥2万小时; 8.曝光分辨率:≥1μm; 9.曝光模式:可选择一次曝光或套刻曝光; 10.显微镜扫描范围:X:±30mm Y:±30mm; 11.对准范围:X、Y±6.5mm,最小调节刻度0.02mm;微调范围±3°,最小定位精度5分; 12.对准精度:<2μm 13.分离间隙;0~2mmm可调; 14.接触-分离漂移:≤1μm; 15.曝光方式:可实现硬接触、接近式曝光; 16.找平方式:球碗自动找平; 17.掩模版尺寸: 5×5″,厚度≤5mm; 18.基片尺寸:4″(圆形、方型皆可); 19.基片厚度:≤5 mm; 20.曝光定时:0~ 点击查看>> 秒可调; 21.曝光头移动:手动切换曝光位置; 22.显微系统:CCD显微镜(60X-300X)+19英寸显示屏 23.电源:单相AC220V 50HZ ,功耗≤1000W; 24.真空压力:≥-0.2MPa; 25.尺寸:650mm(长)×1100mm(宽)×950mm(高); 26.重量:约80Kg。
质保及售后服务
按行业标准执行


发布时间:2022-04-19 11:51:04截止时间:2022-04-22 12:01:00
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1
采购内容
LED紫外光刻机
数量
1台
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品牌
奇点光电
型号
JD4S-A27P
规格参数
主要用于中小 (略) 、半导体元器件、光电子器件、声表面波器件的研制和生产。 产品特点: 1.球碗自动找平。 2.独立LED准直设计,配合蝇眼透镜实现高强度高均匀。 3.分离间隙可独立设置。 4.升降、调平、接触、电子快门曝光、复位自动化控制。 5.双视场显微镜实现高精度对准。 6.操作简单,稳定性好。 一.技术参数: 1.曝光类型:单面对准单面曝光; 2.曝光面积:100×100mm; 3.曝光照度不均匀性:≤3%; 4.曝光强度:≥30mw/cm2可调; 5.紫外光束角:≤2° 6. (略) 波长:365±5nm 7.紫外光源寿命:≥2万小时; 8.曝光分辨率:≥1μm; 9.曝光模式:可选择一次曝光或套刻曝光; 10.显微镜扫描范围:X:±30mm Y:±30mm; 11.对准范围:X、Y±6.5mm,最小调节刻度0.02mm;微调范围±3°,最小定位精度5分; 12.对准精度:<2μm 13.分离间隙;0~2mmm可调; 14.接触-分离漂移:≤1μm; 15.曝光方式:可实现硬接触、接近式曝光; 16.找平方式:球碗自动找平; 17.掩模版尺寸: 5×5″,厚度≤5mm; 18.基片尺寸:4″(圆形、方型皆可); 19.基片厚度:≤5 mm; 20.曝光定时:0~ 点击查看>> 秒可调; 21.曝光头移动:手动切换曝光位置; 22.显微系统:CCD显微镜(60X-300X)+19英寸显示屏 23.电源:单相AC220V 50HZ ,功耗≤1000W; 24.真空压力:≥-0.2MPa; 25.尺寸:650mm(长)×1100mm(宽)×950mm(高); 26.重量:约80Kg。
质保及售后服务
按行业标准执行
    
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