湖南大学-竞价公告(CB105322022000032)
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(略) :CB 点击查看>>
申购主题:LED紫外光刻机
采购单位: (略)
报价要求:
发票类型:增值税普通发票
币种:人民币
预算:
签约时间:
送货时间:合同签订后15天内到货
安装要求:免费上门安装(含材料费)
收货地址:天马材料点击查看>>*
付款方式:详情见备注
备注说明:国产设备:1.供应商在申请验收前,须先把合同质保金(5)%交到采购人指定账户,并开具合同金额100%发票;2.货到合同指定地点并安装调试验收合格后,凭验收报告在10个工作日内支付合同总金额的(100)%;3.在验收合格之日起的(一)年后无质量问题,经采购人认可,一次性将合同质保金无息退还供应商。申购明细:
序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
1 | LED紫外光刻机 | 1.0 | 台 |
品牌 | 奇点光电 | ||
型号 | JD4S-A27P | ||
规格参数 | 主要用于中小 (略) 、半导体元器件、光电子器件、声表面波器件的研制和生产。产品特点:1.球碗自动找平。2.独立LED准直设计,配合蝇眼透镜实现高强度高均匀。3.分离间隙可独立设置。4.升降、调平、接触、电子快门曝光、复位自动化控制。5.双视场显微镜实现高精度对准。6.操作简单,稳定性好。一.技术参数:1.曝光类型:单面对准单面曝光;2.曝光面积:100×100mm;3.曝光照度不均匀性:≤3%;4.曝光强度:≥30mw/cm2可调;5.紫外光束角:≤2°6. (略) 波长:365±5nm7.紫外光源寿命:≥2万小时;8.曝光分辨率:≥1μm;9.曝光模式:可选择一次曝光或套刻曝光;10.显微镜扫描范围:X:±30mm Y:±30mm; 11.对准范围:X、Y±6.5mm,最小调节刻度0.02mm;微调范围±3°,最小定位精度5分;12.对准精度:<2μm13.分离间隙;0~2mmm可调;14.接触-分离漂移:≤1μm;15.曝光方式:可实现硬接触、接近式曝光;16.找平方式:球碗自动找平;17.掩模版尺寸: 5×5″,厚度≤5mm;18.基片尺寸:4″(圆形、方型皆可);19.基片厚度:≤5 mm;20.曝光定时:0~ 点击查看>> 秒可调;21.曝光头移动:手动切换曝光位置;22.显微系统:CCD显微镜(60X-300X)+19英寸显示屏23.电源:单相AC220V50HZ ,功耗≤1000W;24.真空压力:≥-0.2MPa;25.尺寸:650mm(长)×1100mm(宽)×950mm(高);26.重量:约80Kg。 | ||
质保及售后服务 | 按行业标准执行 |
(略) :CB 点击查看>>
申购主题:LED紫外光刻机
采购单位: (略)
报价要求:
发票类型:增值税普通发票
币种:人民币
预算:
签约时间:
送货时间:合同签订后15天内到货
安装要求:免费上门安装(含材料费)
收货地址:天马材料点击查看>>*
付款方式:详情见备注
备注说明:国产设备:1.供应商在申请验收前,须先把合同质保金(5)%交到采购人指定账户,并开具合同金额100%发票;2.货到合同指定地点并安装调试验收合格后,凭验收报告在10个工作日内支付合同总金额的(100)%;3.在验收合格之日起的(一)年后无质量问题,经采购人认可,一次性将合同质保金无息退还供应商。申购明细:
序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
1 | LED紫外光刻机 | 1.0 | 台 |
品牌 | 奇点光电 | ||
型号 | JD4S-A27P | ||
规格参数 | 主要用于中小 (略) 、半导体元器件、光电子器件、声表面波器件的研制和生产。产品特点:1.球碗自动找平。2.独立LED准直设计,配合蝇眼透镜实现高强度高均匀。3.分离间隙可独立设置。4.升降、调平、接触、电子快门曝光、复位自动化控制。5.双视场显微镜实现高精度对准。6.操作简单,稳定性好。一.技术参数:1.曝光类型:单面对准单面曝光;2.曝光面积:100×100mm;3.曝光照度不均匀性:≤3%;4.曝光强度:≥30mw/cm2可调;5.紫外光束角:≤2°6. (略) 波长:365±5nm7.紫外光源寿命:≥2万小时;8.曝光分辨率:≥1μm;9.曝光模式:可选择一次曝光或套刻曝光;10.显微镜扫描范围:X:±30mm Y:±30mm; 11.对准范围:X、Y±6.5mm,最小调节刻度0.02mm;微调范围±3°,最小定位精度5分;12.对准精度:<2μm13.分离间隙;0~2mmm可调;14.接触-分离漂移:≤1μm;15.曝光方式:可实现硬接触、接近式曝光;16.找平方式:球碗自动找平;17.掩模版尺寸: 5×5″,厚度≤5mm;18.基片尺寸:4″(圆形、方型皆可);19.基片厚度:≤5 mm;20.曝光定时:0~ 点击查看>> 秒可调;21.曝光头移动:手动切换曝光位置;22.显微系统:CCD显微镜(60X-300X)+19英寸显示屏23.电源:单相AC220V50HZ ,功耗≤1000W;24.真空压力:≥-0.2MPa;25.尺寸:650mm(长)×1100mm(宽)×950mm(高);26.重量:约80Kg。 | ||
质保及售后服务 | 按行业标准执行 |
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