Experiment-ITCP等离子体实验系统采购

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Experiment-ITCP等离子体实验系统采购



发布时间:2022-04-26 11:26:08截止时间:2022-04-29 11:36:07
基本信息:


CB 点击查看>>





国产含税

增值税普通发票

人民币






免费上门安装(含材料费)





货到验收合格后付款


申购明细:
序号
1
采购内容
Experiment-ITCP等离子体实验系统
数量
1套
预算单价
点击查看>>
品牌
宝丰堂
型号
Experiment-ITCP
规格参数
1. 使用宝丰堂专利的标准 ITCP Source,螺旋导体线圈,具有脉冲等离子控制功能,具有屏蔽电磁干扰设计; 2. ITCP Source需要体积小模块化安装; 3. 射频等离子体电源(RF品牌:boffotto)+自动匹配网络; 4. 配备两种气体通道,使用质量流量控制器控制(MFC);(O2:量程0~200ml、Ar:量程0~200ml)精度±0.5%; 5. 使用进口螺杆式干泵; 6. 提供 10 步序等离子参数设定( 包括: RF 功率、 等离子时间、 气体流量、 真空度等等); 7. 具有朗缪尔探针监测接口功能; 8. 观测腔体可以使用航空铝金制作,配备5个朗缪尔探测位,左右侧开矩形视窗法兰为观测区,观测区大小为20*80CM,观测区腔体尺寸大约30*30*100CM,主要保证观测区尺寸,腔体尺寸可适当调整以实际为准; 9. (略) 有腔体门,方便腔体内放置物品并可以准确定位固定; 10. PLC+触摸屏控制; 11. 使用380Vac三相五线制供电; 12. 可集成现有光学台面; 13. 具有拓展湍流等观测平台能力; 14. 具有金属粒子投放装置; 15. 具备粉尘过滤功能.
质保及售后服务
1、免费送货到西 (略) 北校区实验室,并专人上门免费安装(含材料费)。 2、负责培训仪器使用,面授不少于1次,网络培训不少于3次。 3、设备保固期一年并提供终身免费巡检服务。 4、为仪器使用提供后续技术支持。


发布时间:2022-04-26 11:26:08截止时间:2022-04-29 11:36:07
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国产含税

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申购明细:
序号
1
采购内容
Experiment-ITCP等离子体实验系统
数量
1套
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品牌
宝丰堂
型号
Experiment-ITCP
规格参数
1. 使用宝丰堂专利的标准 ITCP Source,螺旋导体线圈,具有脉冲等离子控制功能,具有屏蔽电磁干扰设计; 2. ITCP Source需要体积小模块化安装; 3. 射频等离子体电源(RF品牌:boffotto)+自动匹配网络; 4. 配备两种气体通道,使用质量流量控制器控制(MFC);(O2:量程0~200ml、Ar:量程0~200ml)精度±0.5%; 5. 使用进口螺杆式干泵; 6. 提供 10 步序等离子参数设定( 包括: RF 功率、 等离子时间、 气体流量、 真空度等等); 7. 具有朗缪尔探针监测接口功能; 8. 观测腔体可以使用航空铝金制作,配备5个朗缪尔探测位,左右侧开矩形视窗法兰为观测区,观测区大小为20*80CM,观测区腔体尺寸大约30*30*100CM,主要保证观测区尺寸,腔体尺寸可适当调整以实际为准; 9. (略) 有腔体门,方便腔体内放置物品并可以准确定位固定; 10. PLC+触摸屏控制; 11. 使用380Vac三相五线制供电; 12. 可集成现有光学台面; 13. 具有拓展湍流等观测平台能力; 14. 具有金属粒子投放装置; 15. 具备粉尘过滤功能.
质保及售后服务
1、免费送货到西 (略) 北校区实验室,并专人上门免费安装(含材料费)。 2、负责培训仪器使用,面授不少于1次,网络培训不少于3次。 3、设备保固期一年并提供终身免费巡检服务。 4、为仪器使用提供后续技术支持。
    
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