本设备为气缸槽宽板规专用检测设备，能实现快速检 (略) 理

板规自身厚度公差要求±0.5μm，平面度及平行度要求≤0.8μm。设备测量精度应满足如下要求：

A、重复精度≤0.5μm；

B、测量精度≤0.5μm；

设备寿命要求：整机寿命≥5年，精密传感器寿命≥1年或一千万次；

能够同时显示5个测量点的测量数据，并自动计算5个测量结果平均值、最大值和最小值之差得出平行度，并根据设置的判断标准进行自动判断；

检测时，有两种方式进行数据记录，一是手动方式按下记录功能键，二是自动方式根据预设的记录时间进行自动记录，每个工件的检测数据能够自动记录到指定表格中，检测完成后可直接打印；

测量操作方便、测量效率高，一件板规的整个检测过程要求在1min内；

检测时，不能导致工件的表面出现刮伤或打痕；

本设备为气缸槽宽板规专用检测设备，能实现快速检 (略) 理

板规自身厚度公差要求±0.5μm，平面度及平行度要求≤0.8μm。设备测量精度应满足如下要求：

A、重复精度≤0.5μm；

B、测量精度≤0.5μm；

设备寿命要求：整机寿命≥5年，精密传感器寿命≥1年或一千万次；

能够同时显示5个测量点的测量数据，并自动计算5个测量结果平均值、最大值和最小值之差得出平行度，并根据设置的判断标准进行自动判断；

检测时，有两种方式进行数据记录，一是手动方式按下记录功能键，二是自动方式根据预设的记录时间进行自动记录，每个工件的检测数据能够自动记录到指定表格中，检测完成后可直接打印；

测量操作方便、测量效率高，一件板规的整个检测过程要求在1min内；

检测时，不能导致工件的表面出现刮伤或打痕；