CVD自动化控制系统采购

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CVD自动化控制系统采购




发布时间:2022-05-17 08:14:11截止时间:2022-05-30 09:00:00


基本信息:






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国产含税

增值税普通发票

人民币



发布竞价结果后7天内签约合同

发布竞价结果后7天内送达

免费上门安装(含材料费)







货到验收合格后付款





申购明细:






序号

1

采购内容

CVD自动化控制系统

数量

1台

预算单价




品牌

定制


型号

定制


规格参数

CVD自动化控制系统要求: 针对管式炉TF 点击查看>> C-1和合肥科晶,OTF-1200X-5S管式炉设计,体积小巧集温度控制进气控制和检测的CVD自动化控制系统。( (略) 商主动联系和满足设计要求) (略) 分 本次招标装置采用先进的控制系统。数据采集准确、及时,数据库功能强大。装置中的气体进料流量、系统压力、加热温度均可实现自动控制和自动检测记录, (略) 有流量、压力、温度等具有超限报警功能。 (1)控制系统实现的主要功能 具有装置流程图画面、报警画面、事件画面、趋势画面、回路调整画面、数据汇总画面等人机接口画面显示功能。 具有装置工艺参数的监测功能。 具有装置流程图中不同介质的管线、设备和仪表的运行状态颜色区分功能。 *具有对温度、压力、流量等工艺参数的PID调节、参数设置、参数整定和手动、自动等功能。 温度具有程序升温功能。 具有各种设备运行状态的监视及联锁保护功能。 具有显示实时趋势曲线和历史曲线,生成报表打印等功能。 具有灵 (略) 和操作员权限的功能。 *除现场操作外,还需具有远程移动终端浏览和操作功能。 (2)自动报表程序 采用自动报表程序,满足各类应用的实际需要,并能显 (略) 理能力和自动化水平: 提供报表模板,并按预制的EXCEL规范模板可自动生成报表; 可以直接实时动态读取实时数据、历史数据、其他关系数据库; 报表文件名称可以按预先设定的规则自动生成; 提供事后数据查询、分类、整理、统计等功能; 可以生成EXCEL文件。 (3)装置低压元器件和电缆采用知名品牌,装置需具备较高的安全保障措施。 (略) 分 1) 四路气体,分别为碳源气(如CH4)最大流量200SCCM、氢气最大流量300 SCCM、氨气最大流量500 SCCM、其它类气体(Ar/He)最大流量300 SCCM。 2) 四路气体分别采用氮气进行吹扫。 3) 四路气体灵活配比注入。 4) 特制结构石英管反应器。采用特殊结构的连接。反应器放置于电加热炉内。电炉温度:/℃,电炉设置程序升温。反应压力为微正常。并配置排气洗气功能。 5) 仪表箱式集中布置模式,结构紧凑,标识清晰。便于移动和搬运。 6) 管线及管件采用进口优质品牌,材质316SS,进口MKS流量计。


质保及售后服务

按行业标准提供服务



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