1

高真空脉冲激光溅射薄膜沉积系统

1套

沈阳科仪

PLD300

一、系统的主要组成及技术指标极限真空度：≤4x10-5 Pa (经烘烤除气后)；达到极限真空后停泵关机12小时真空度优于5Pa。系统短时间暴露大气并充干燥氮气后，再开始抽气，20分钟可达到5x10-4 Pa；激光入射口到地面的距离为1200mm；系统主要由溅射真空室、旋转靶台、抗氧化基片加热台、 (略) 、抽气系统、安装机台、真空测量及 (略) 分组成；1、溅射真空室组件球型真空室尺寸Ф300mm，选用优质不锈钢材料制造，氩弧焊接，表面进行特 (略) 理，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封；真空室组件上焊有各种规格的法兰接口如下：1.1、RF150法兰接口：1个（活开门组件）；1.2、CF150兰接口：3个（基片样品台组件、靶组件,分子泵）；1.3、RF63法兰接口：4个（激光入射窗口、红外测温窗口、观察窗口2个）；1.4、CF16法兰接口：6个（ (略) 、充气阀、高压放点电极、电阻规、备用2个）；1.5、CF50法兰接口：2个（备用）；1.6、CF35法兰接口：4个(电离规管、照明、旁抽、备用)；2、旋转靶台组件 2.1、每次可以装四块靶材，靶材尺寸：Φ20mm；（客户自购靶材，可根据实际尺寸定做过渡环用于放置小靶材）。 2.2、每块靶材可实现自转，转速5～60转/分，连续可调。2.3、靶位公转换位机构，由电机驱动磁耦合机构控制。2.4、靶材屏蔽罩将4块靶材屏蔽，每次只有一个靶材露出溅射成膜，以避免靶材之间的交叉污染；3、抗氧化基片加热台组件 3.1、基片尺寸：可放置φ1″基片；3.2、基片加热炉最高温度 800℃±1℃，由热电偶闭环反馈控制，采用抗氧化电阻丝材料作加热器；3.3、基片可连续回转，转速5～50转/分，电机驱动磁耦合机构控制；3.4、基片与靶台之间距离30～90mm可调，由腔外手动波纹管调节机构控制（在真空的环境下在腔外操作）；3.5、手动控制样品挡板组件：1套；3.6、样品托：2个；（样品托在打开真空室门的时候，手动从样品台上取出）4、窗口 (略) 件4.1、RF150活开门：1套（其上有铰链、锁紧件、RF100观察窗）；4.2、RF63石英玻璃窗口：1块（可透过紫外248nm波段的JGS1石英玻璃，供激光入射使用）；4.3、RF63光学玻璃窗口：1块；4.4、CF35陶瓷封接引线法兰：1个（照明及内烘烤引线）；4.5、CF16单芯陶瓷封接引线法兰：1个（高压放电电极）；4.6、盲法兰：CF16、CF35各1个；CF50，2个；5、 (略) 5.1、100SCCM/50SCCM质量流量控制器、充气阀CF16、针阀（针阀与MFC串联使用）、管路、接头等： (略) 5.2、充气阀DG16、管路、接头等：1路（解除真空充氮气）；6、抽气机组及阀门、管道6.1、复合分子泵及控制电源：1台（抽速600升/秒 北京科仪）（用户自备）；6.2、旋片油真空泵：1台（抽速8升/秒 北京优成）； 6.3、手动插板阀CF150：1台（用于分子泵与真空室隔离）6.4、手动角阀CF35：1台6.5、KF40电磁隔断阀：1台；6.6、KF25电磁压差阀：1台；6.7、分子泵与机械泵软联接金属软管：1套 ；6.8、机械泵与真空室之 (略) ：1套 ；7、安装机台架组件优质方钢型材焊接成，快卸围 (略) 理；机台表面用不锈钢蒙皮装饰；四支脚轮，可固定，可移动。8、真空测量及电控系统8.1、电源机柜：1台（含总控电源，有断电保护功能）；8.2、控制电源：1台（为机械泵、电磁阀等提供电源）；8.3、样品加热控温电源：1套（可实现程序控温）；8.4、电机旋转电源：1套；8.5、加热烘烤及照明电源：1套；8.6、宽量程数显真空计：1套；英福康大气～5X10-9mbar （1×105～5×10-7Pa）8.7、质量流量显示器：1套；北京七星8.8、激光扫描电源：1套； 9、备件9.1无氧铜密 (略) ：CF16：2个；CF35：2个；CF50：2个；CF150：2个；￠6mm卡套：2套；￠6mm不锈钢管：6m；9.2氟橡胶密封圈：￠150mm：1个；￠125mm：1个；￠63mm：1个；9.3烘烤带：2条；（不带控温电源）9.4碘钨灯：5个；9.5样品加热炉丝：1套；9.6￠63mm光学玻璃：1块；9.7小型不锈钢标件M3、M4：各3个；9.8电器相关的保险丝：各10个。9.9测试靶材：4块（钛靶材、铜靶材、铁靶材、铝靶材）仅供测试练习用途。10、计算机控制系统由计算机、硬件卡、软件组成；控制的内容主要有公转换靶、靶自转、样品自转、样品控温等。11、激光器（用户自备）。12、主要 (略) (略) 产地数量1球形真空室非标沈阳科仪1台2四工位转靶组件非标沈阳科仪1套3旋转基片台组件非标沈阳科仪1套4加热控温电源日本产控温表沈阳科仪1台5质量流量控制器100/50SCCM北 (略) 6机械泵TRP-36北京优成1台7插板阀CF150沈阳科仪1台8台架非标沈阳科仪1台9电控柜非标国产1台10真空计MPG400英福康1套 (略) 分国产1套12相关控制电源非标沈阳科仪1套13 (略) 件非标沈阳科仪1套二、技术服务及质量保证1、按ISO9001质量管理体系组织设计、加工、装调、检验、包装、运输；2、提供该设备的技术使用说明书及外购配件仪器仪表说明书；3、在 点击查看>> 方现场验收后，一年内免费维修正常使用出现的故障，非正常的故障维修只核收工本费及差旅费，终身维修只核收工本费及差旅费；三、现场安装具备的条件1、电源380V 50Hz 功率大于10KW，波动范围：小于±6％， (略) 接线插座；2、可靠地线, 对地电阻小于2Ω；3、安装场地面积大于25M2,高度要求高于2.4M；4、要求安装场地的标准温度为20℃～24℃，标准相对湿度为50%～60%；5、要求有普通氮气，压强要在2～3个大气压之间；、外排废气管道；

培训1、培训时间：2～3天培训人数：2～3人2、培训内容及要求：1）了解设备的工作原理、 (略) 组件、控制系统的工作原理和使用方法2）熟练掌握整套系统的操作规程3）能够对设备的一般故障进行诊断和简单维修，进行易损件的更换4）对设备能够进行日常的维护和保养。

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高真空脉冲激光溅射薄膜沉积系统

1套

沈阳科仪

PLD300

一、系统的主要组成及技术指标极限真空度：≤4x10-5 Pa (经烘烤除气后)；达到极限真空后停泵关机12小时真空度优于5Pa。系统短时间暴露大气并充干燥氮气后，再开始抽气，20分钟可达到5x10-4 Pa；激光入射口到地面的距离为1200mm；系统主要由溅射真空室、旋转靶台、抗氧化基片加热台、 (略) 、抽气系统、安装机台、真空测量及 (略) 分组成；1、溅射真空室组件球型真空室尺寸Ф300mm，选用优质不锈钢材料制造，氩弧焊接，表面进行特 (略) 理，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封；真空室组件上焊有各种规格的法兰接口如下：1.1、RF150法兰接口：1个（活开门组件）；1.2、CF150兰接口：3个（基片样品台组件、靶组件,分子泵）；1.3、RF63法兰接口：4个（激光入射窗口、红外测温窗口、观察窗口2个）；1.4、CF16法兰接口：6个（ (略) 、充气阀、高压放点电极、电阻规、备用2个）；1.5、CF50法兰接口：2个（备用）；1.6、CF35法兰接口：4个(电离规管、照明、旁抽、备用)；2、旋转靶台组件 2.1、每次可以装四块靶材，靶材尺寸：Φ20mm；（客户自购靶材，可根据实际尺寸定做过渡环用于放置小靶材）。 2.2、每块靶材可实现自转，转速5～60转/分，连续可调。2.3、靶位公转换位机构，由电机驱动磁耦合机构控制。2.4、靶材屏蔽罩将4块靶材屏蔽，每次只有一个靶材露出溅射成膜，以避免靶材之间的交叉污染；3、抗氧化基片加热台组件 3.1、基片尺寸：可放置φ1″基片；3.2、基片加热炉最高温度 800℃±1℃，由热电偶闭环反馈控制，采用抗氧化电阻丝材料作加热器；3.3、基片可连续回转，转速5～50转/分，电机驱动磁耦合机构控制；3.4、基片与靶台之间距离30～90mm可调，由腔外手动波纹管调节机构控制（在真空的环境下在腔外操作）；3.5、手动控制样品挡板组件：1套；3.6、样品托：2个；（样品托在打开真空室门的时候，手动从样品台上取出）4、窗口 (略) 件4.1、RF150活开门：1套（其上有铰链、锁紧件、RF100观察窗）；4.2、RF63石英玻璃窗口：1块（可透过紫外248nm波段的JGS1石英玻璃，供激光入射使用）；4.3、RF63光学玻璃窗口：1块；4.4、CF35陶瓷封接引线法兰：1个（照明及内烘烤引线）；4.5、CF16单芯陶瓷封接引线法兰：1个（高压放电电极）；4.6、盲法兰：CF16、CF35各1个；CF50，2个；5、 (略) 5.1、100SCCM/50SCCM质量流量控制器、充气阀CF16、针阀（针阀与MFC串联使用）、管路、接头等： (略) 5.2、充气阀DG16、管路、接头等：1路（解除真空充氮气）；6、抽气机组及阀门、管道6.1、复合分子泵及控制电源：1台（抽速600升/秒 北京科仪）（用户自备）；6.2、旋片油真空泵：1台（抽速8升/秒 北京优成）； 6.3、手动插板阀CF150：1台（用于分子泵与真空室隔离）6.4、手动角阀CF35：1台6.5、KF40电磁隔断阀：1台；6.6、KF25电磁压差阀：1台；6.7、分子泵与机械泵软联接金属软管：1套 ；6.8、机械泵与真空室之 (略) ：1套 ；7、安装机台架组件优质方钢型材焊接成，快卸围 (略) 理；机台表面用不锈钢蒙皮装饰；四支脚轮，可固定，可移动。8、真空测量及电控系统8.1、电源机柜：1台（含总控电源，有断电保护功能）；8.2、控制电源：1台（为机械泵、电磁阀等提供电源）；8.3、样品加热控温电源：1套（可实现程序控温）；8.4、电机旋转电源：1套；8.5、加热烘烤及照明电源：1套；8.6、宽量程数显真空计：1套；英福康大气～5X10-9mbar （1×105～5×10-7Pa）8.7、质量流量显示器：1套；北京七星8.8、激光扫描电源：1套； 9、备件9.1无氧铜密 (略) ：CF16：2个；CF35：2个；CF50：2个；CF150：2个；￠6mm卡套：2套；￠6mm不锈钢管：6m；9.2氟橡胶密封圈：￠150mm：1个；￠125mm：1个；￠63mm：1个；9.3烘烤带：2条；（不带控温电源）9.4碘钨灯：5个；9.5样品加热炉丝：1套；9.6￠63mm光学玻璃：1块；9.7小型不锈钢标件M3、M4：各3个；9.8电器相关的保险丝：各10个。9.9测试靶材：4块（钛靶材、铜靶材、铁靶材、铝靶材）仅供测试练习用途。10、计算机控制系统由计算机、硬件卡、软件组成；控制的内容主要有公转换靶、靶自转、样品自转、样品控温等。11、激光器（用户自备）。12、主要 (略) (略) 产地数量1球形真空室非标沈阳科仪1台2四工位转靶组件非标沈阳科仪1套3旋转基片台组件非标沈阳科仪1套4加热控温电源日本产控温表沈阳科仪1台5质量流量控制器100/50SCCM北 (略) 6机械泵TRP-36北京优成1台7插板阀CF150沈阳科仪1台8台架非标沈阳科仪1台9电控柜非标国产1台10真空计MPG400英福康1套 (略) 分国产1套12相关控制电源非标沈阳科仪1套13 (略) 件非标沈阳科仪1套二、技术服务及质量保证1、按ISO9001质量管理体系组织设计、加工、装调、检验、包装、运输；2、提供该设备的技术使用说明书及外购配件仪器仪表说明书；3、在 点击查看>> 方现场验收后，一年内免费维修正常使用出现的故障，非正常的故障维修只核收工本费及差旅费，终身维修只核收工本费及差旅费；三、现场安装具备的条件1、电源380V 50Hz 功率大于10KW，波动范围：小于±6％， (略) 接线插座；2、可靠地线, 对地电阻小于2Ω；3、安装场地面积大于25M2,高度要求高于2.4M；4、要求安装场地的标准温度为20℃～24℃，标准相对湿度为50%～60%；5、要求有普通氮气，压强要在2～3个大气压之间；、外排废气管道；

培训1、培训时间：2～3天培训人数：2～3人2、培训内容及要求：1）了解设备的工作原理、 (略) 组件、控制系统的工作原理和使用方法2）熟练掌握整套系统的操作规程3）能够对设备的一般故障进行诊断和简单维修，进行易损件的更换4）对设备能够进行日常的维护和保养。