高真空磁控溅射镀膜机采购

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高真空磁控溅射镀膜机采购




发布时间：2022-06-09 14:35:12截止时间：2022-06-15 00:00:00


基本信息：






CB 点击查看>>





国产含税

增值税普通发票

人民币





合同签订后15天内送达

免费上门安装（含材料费）







货到验收合格后付款





申购明细：






序号

1

采购内容

高真空磁控溅射镀膜机

数量

1台

预算单价




品牌

泰科诺


型号

JCP200


规格参数

1.真空腔室： Ф220×H300mm，不锈钢上开盖结构； 2.真空系统： 涡轮分子泵+直联旋片泵,电动真空阀门，数显复合真空计； 3.真空度≤8.0×10-5Pa； 4.抽速： 从大气抽至6.0×10-3Pa≤15min； 5.漏率： 设备升压率≤0.8Pa/h； 6.可镀膜尺寸：2英寸1片，散片若干； 7.基片加热与旋转 衬底加热：室温～500℃，自动控温；基片旋转：0-20转/分钟，可调可控； 8.溅射靶规格：2英寸圆形平面靶1只； 9.膜厚不均匀性： ≤±5%(Ф50mm范围内)； 10.循环水机：制冷量2.8kW；


质保及售后服务

按行业标准提供服务



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高真空磁控溅射镀膜机

数量

1台

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品牌

泰科诺


型号

JCP200


规格参数

1.真空腔室： Ф220×H300mm，不锈钢上开盖结构； 2.真空系统： 涡轮分子泵+直联旋片泵,电动真空阀门，数显复合真空计； 3.真空度≤8.0×10-5Pa； 4.抽速： 从大气抽至6.0×10-3Pa≤15min； 5.漏率： 设备升压率≤0.8Pa/h； 6.可镀膜尺寸：2英寸1片，散片若干； 7.基片加热与旋转 衬底加热：室温～500℃，自动控温；基片旋转：0-20转/分钟，可调可控； 8.溅射靶规格：2英寸圆形平面靶1只； 9.膜厚不均匀性： ≤±5%(Ф50mm范围内)； 10.循环水机：制冷量2.8kW；


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