热蒸发系统采购

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热蒸发系统采购




发布时间:2022-06-20 09:23:07截止时间:2022-06-23 09:20:00


基本信息:






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国产含税

增值税专用发票

人民币



发布中标结果后7天内签约合同

发布竞价结果后7天内送达

免费上门安装(含材料费)







货到验收合格后付款





申购明细:






序号

1

采购内容

热蒸发系统

数量

1台

预算单价




品牌

(略) 沈阳 (略)


型号

DZ-300


规格参数

1. 真空室:尺寸300mmx300mmX400mm,全不锈钢结构,极限真空度:≤5x10-5Pa(经烘烤除气后)。 2. 基片台:配备专用工装夹具基片台可从基片台组件中抽拉出来,方便安装基片。 3. 样品台可连续自转旋转,转速5~12转/分,步进电机驱动磁力耦合控制,另外手动自动均可实现升降;另配气动挡板组件; 4. 蒸发源:可使用丝状源与舟状源,兼容金属材料蒸发与有机材料蒸发(有机材料蒸发使用钨篮与坩埚组合的蒸发源)。蒸发源材料可采用钨、钼、钽、石英坩埚等。 5. 真空系统:采用“分子泵+涡旋干泵”真空系统;“一低一高”数显复合真空计; (略) 为脂润滑分子泵700L/S,抽速:700 L/S; (略) 为HiScroll 12(普发),抽速:4L/S;真空测量采用数显复合真空计,配备低真空电阻真空规管及高真空电离真空规管,测量范围从 1×10 5 Pa 到 1×10 -5 Pa; 6. 水路系统:给分子泵、蒸发电极配备独立的进、出水,可保证设备长时间稳定运行。膜厚仪探头独立的进、出水。总进水采用水压继电器检测供水及水压状态,执行异常报警。总进、出水采 (略) 接口连接现场供水系统。 7. 电气控制系统:采用 PLC+触摸屏手自动控制系统,以方便进行镀膜工艺参数的摸索;自动记录保存真空度、膜厚、镀膜时间等曲线及数据;控制内容包括:1)机械泵、分子泵、旁抽阀、电磁阀、放气阀、样品自转、样品升降开与关;2)真空计参数显示及通过真空度识别判断泵、阀开关状态控制,可实现一键抽气、一键工艺、一键破真空等操作。 8. 机架:碳钢制作,静电喷塑表面,支撑腔体与真空系统;前后配门,方便使用和维护;底下配脚轮,方便移动、定位。 9. 控制柜:控制柜与机架一体化设计,组装总控制电源、真空系统控制(分子泵电源、机械泵阀开关、复合真空计显示及控制)、蒸发电源电流显示及控制、蒸发电源切换控制等。 10. 配备4套金属掩膜板。


质保及售后服务

1、 产品免费质保期为 1 年(整机)。 2、 质保期内设备的维修免费(人为损坏因素除外)。 3、 承担质保期内由于设备本身原因而引起的零配件(易损件除外) (略) 造成的费用。 4、 建立设备信息档案,随时跟踪设备运行及维护,保证设备正常运行。 5、 对于质保期以外设备的维护,只收取成本费。 6、 所有配件、备件质保期外可长期按成本价及时提供。 7、 按ISO9001质量管理体系组织设计、加工、装调、检验、包装、运输; 8、提供该设备的技术使用说明书及外购配件仪器仪表说明书; 9、在设备验收后,一年内免费维修正常使用出现的故障,非正常的故障维修只核收工本费,终身维修只核收工本费。 10、提供设备培训服务,培训内容包括:1)了解设备的工作原理、 (略) 组件、控制系统的工作原理和使用方法;2)熟练掌握整套系统的操作规程;3)能够对设备的一般故障进行诊断和简单维修,进行易损件的更换;4)对设备能够进行日常的维护和保养



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1台

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品牌

(略) 沈阳 (略)


型号

DZ-300


规格参数

1. 真空室:尺寸300mmx300mmX400mm,全不锈钢结构,极限真空度:≤5x10-5Pa(经烘烤除气后)。 2. 基片台:配备专用工装夹具基片台可从基片台组件中抽拉出来,方便安装基片。 3. 样品台可连续自转旋转,转速5~12转/分,步进电机驱动磁力耦合控制,另外手动自动均可实现升降;另配气动挡板组件; 4. 蒸发源:可使用丝状源与舟状源,兼容金属材料蒸发与有机材料蒸发(有机材料蒸发使用钨篮与坩埚组合的蒸发源)。蒸发源材料可采用钨、钼、钽、石英坩埚等。 5. 真空系统:采用“分子泵+涡旋干泵”真空系统;“一低一高”数显复合真空计; (略) 为脂润滑分子泵700L/S,抽速:700 L/S; (略) 为HiScroll 12(普发),抽速:4L/S;真空测量采用数显复合真空计,配备低真空电阻真空规管及高真空电离真空规管,测量范围从 1×10 5 Pa 到 1×10 -5 Pa; 6. 水路系统:给分子泵、蒸发电极配备独立的进、出水,可保证设备长时间稳定运行。膜厚仪探头独立的进、出水。总进水采用水压继电器检测供水及水压状态,执行异常报警。总进、出水采 (略) 接口连接现场供水系统。 7. 电气控制系统:采用 PLC+触摸屏手自动控制系统,以方便进行镀膜工艺参数的摸索;自动记录保存真空度、膜厚、镀膜时间等曲线及数据;控制内容包括:1)机械泵、分子泵、旁抽阀、电磁阀、放气阀、样品自转、样品升降开与关;2)真空计参数显示及通过真空度识别判断泵、阀开关状态控制,可实现一键抽气、一键工艺、一键破真空等操作。 8. 机架:碳钢制作,静电喷塑表面,支撑腔体与真空系统;前后配门,方便使用和维护;底下配脚轮,方便移动、定位。 9. 控制柜:控制柜与机架一体化设计,组装总控制电源、真空系统控制(分子泵电源、机械泵阀开关、复合真空计显示及控制)、蒸发电源电流显示及控制、蒸发电源切换控制等。 10. 配备4套金属掩膜板。


质保及售后服务

1、 产品免费质保期为 1 年(整机)。 2、 质保期内设备的维修免费(人为损坏因素除外)。 3、 承担质保期内由于设备本身原因而引起的零配件(易损件除外) (略) 造成的费用。 4、 建立设备信息档案,随时跟踪设备运行及维护,保证设备正常运行。 5、 对于质保期以外设备的维护,只收取成本费。 6、 所有配件、备件质保期外可长期按成本价及时提供。 7、 按ISO9001质量管理体系组织设计、加工、装调、检验、包装、运输; 8、提供该设备的技术使用说明书及外购配件仪器仪表说明书; 9、在设备验收后,一年内免费维修正常使用出现的故障,非正常的故障维修只核收工本费,终身维修只核收工本费。 10、提供设备培训服务,培训内容包括:1)了解设备的工作原理、 (略) 组件、控制系统的工作原理和使用方法;2)熟练掌握整套系统的操作规程;3)能够对设备的一般故障进行诊断和简单维修,进行易损件的更换;4)对设备能够进行日常的维护和保养
    
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