椭圆偏光仪

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椭圆偏光仪

基本信息

(略) 中大招（货）[2022] (略)
项目名称 (略) (略) 椭圆偏光仪采购项目
项目类型货物采购申购主题椭圆偏光仪采购单位 (略)
项目预算采购开始时间2022-07-07 18:24采购结束时间2022-07-13 09:00是否送货是
期望收货时间合同签订后30天交货经办人黎老师经办人电话020- 点击查看>>
送货地址深圳市 (略) (略) (略) (略) 工学园
电子签章本项目需要使用CA签字CA操作手册下载
备注1、国内供货请报含税人民币价；境外供货（进口）请报免税人民币价或外币价， (略) 必须有境外人民币收款账户。 2、进口货物中如 (略) 分，供应商在报价时应分别报价， (略) 分、 (略) 分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物购销协议和国内采购合同。 3、 (略) 不收取任何费用。4、技术参数中标注有“★”号的条款必须实质性响应，负偏离（不满足要求）将导致报价无效。

设备列表

采购设备数量参考品牌详细响应要求
椭圆偏光仪1台详情请进入系统查看
"椭圆偏光仪"技术要求
序号技术要求内容评分等级是否需要附件说明
1 1、主机参数：1、功能1.1可在反射、透射、散射模式下对样品进行光谱测量；可测量得到样品的透射率、反射率、散射率；可测量得到样品的椭偏角（ψ，Δ）； 非常重要 否
2 1.2可测量得到样品的Muell (略) 16个元素； 重要 否
3 ★1.3可检测单层和多层纳米薄膜的层构参数（如，厚度）和物理参数（如折射率n、消光系数k，或介电函数ε1和ε2）； （附件材料：多层纳米薄膜结构测量案例说明） 非常重要 是
4 1.4 可检测块状材料的物理参数（如折射率n、消光系数k，或介电函数ε1和ε2）；各向异性样品的性质，包括波片相位延迟差和快轴方位角、旋光片的旋光角等。 重要 否
5 2、技术参数★2.1 光谱范围：245-1000 nm；（附件材料：光谱图） 非常重要 是
6 2.2 波长间隔：不大于1 nm； 重要 否
7 2.3 光源：氘灯和卤钨灯，寿命大于2000小时； 重要 否
8 2.4 入射角度：角度范围为45－90°，精度 0.02°； 重要 否
9 2.5 测量重复性：针对Si上的100nm的SiO2膜厚的标片，测量20次，膜厚重复性≤0.01 nm，折射率重复性≤0.0005； 非常重要 否
10 2.6 准确度：90°透射模式下测量空气时：（1）椭偏角ψ=45°±0.05°，Δ=±0.1°；（2）Mueller矩阵对角元素m = 1±0.005，非对角元素m = ±0.005； 非常重要 否
11 2.7 测量时间：全光谱测量Mueller和椭偏角（ψ、Δ）典型测量时间10秒； 重要 否
12 2.8 检测原理：双补偿器旋转； 重要 否
13 2.9 样件台支持对样品进行高低和俯仰对准； 重要 否
14 2.10 光源调节方式：多挡位滤轮自适应调节，根据样件反射信息自动变档到最优探测光强； 非常重要 否
15 2.11 偏振测量范围：Psi：0-90°，Delta：-90-270°，360°无死角； 重要 否
16 3、软件及其功能：配备主机配套软件：（1）可输出椭偏角和，Mueller矩阵元素，NCS，介电函数，折射率和消光系数；（2）能够拟合多层结构（单层膜、复合膜、超晶格等）； （3）易于使用、用户可扩展的材料数据库；（4）丰富的材料光学常数列表，200种以上；（5）丰富的材料色散模型：包括Cauchy, Sellmeier，Lorentz，Drude，F-B，Tauc-Lorentz等多种材料色散模型；（6）EMA有效介质近似；（7）可处理各向异性样品。 重要 否
17 配置清单：1、主机，1套，包括角度结构、光源、光学器件、样品对准等组件；2、计算机，1套，CPU为i7，8G内存，512G硬盘，21吋液晶显示屏，Windows 10 x64位操作系统；3、控制箱，1套，用于仪器的运动控制等；4、配套软件，1套，用于仪器的设置、操作、测量，数据分析等；5、晶圆样品，1个，晶体硅上镀氧化硅（SiO2/Si），直径4”，膜厚100nm。 重要 否
18 保修范围：1、保修期内的保修内容与范围：（1）在保修期内出现属于合同设备原因的故障，卖方负责无偿修理及免费提供备件（除耗材外）。（2）保修期内若合同设备出现确实属于买方原因造成的非正常损坏（即：人为错误而导致的损坏），则由买方承担受 (略) 费用，卖方负责修理。2、超过保修期后的保修内容与范围：保修期外 (略) 件出现故障， (略) 门鉴定属于寿命异常问题，厂方应无偿负责更换；除此之外，厂家需按不高于成本价加必要的人工等其他费用提供优惠报价。提供软件永久免费升级以及数据建模终身无偿支持服务。 重要 否
19 售后服务要求：1、在保修期内，当设备发生故障、买方不能自行解决时，卖方在接到买方的通知后：（1）在2小时内响应；（2）72小时内到达现场，并尽快予以解决；（3）一般故障1天内解决，重大故障3天内解决。2、超过保修期后，如合同设备发生故障，买方要求卖方对设备进行检查、维修时，卖方在接到买方的通知后：（1）在2小时内响应；（2）在72小时内到达现场，并尽快予以解决；（3） (略) 发生的费用由买方承担。 重要 否
20 培训要求：1、卖方负责对仪器进行安装调试，并对仪器操作人员进行技术培训。2、培训人员：不少于2人；3、培训时间：不少于4小时；4、培训内容：仪器的测量原理、基本性能和用途、仪器操作、仪器维护等。 重要 否


基本信息

(略) 中大招（货）[2022] (略)
项目名称 (略) (略) 椭圆偏光仪采购项目
项目类型货物采购申购主题椭圆偏光仪采购单位 (略)
项目预算采购开始时间2022-07-07 18:24采购结束时间2022-07-13 09:00是否送货是
期望收货时间合同签订后30天交货经办人黎老师经办人电话020- 点击查看>>
送货地址深圳市 (略) (略) (略) (略) 工学园
电子签章本项目需要使用CA签字CA操作手册下载
备注1、国内供货请报含税人民币价；境外供货（进口）请报免税人民币价或外币价， (略) 必须有境外人民币收款账户。 2、进口货物中如 (略) 分，供应商在报价时应分别报价， (略) 分、 (略) 分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物购销协议和国内采购合同。 3、 (略) 不收取任何费用。4、技术参数中标注有“★”号的条款必须实质性响应，负偏离（不满足要求）将导致报价无效。

设备列表

采购设备数量参考品牌详细响应要求
椭圆偏光仪1台详情请进入系统查看
"椭圆偏光仪"技术要求
序号技术要求内容评分等级是否需要附件说明
1 1、主机参数：1、功能1.1可在反射、透射、散射模式下对样品进行光谱测量；可测量得到样品的透射率、反射率、散射率；可测量得到样品的椭偏角（ψ，Δ）； 非常重要 否
2 1.2可测量得到样品的Muell (略) 16个元素； 重要 否
3 ★1.3可检测单层和多层纳米薄膜的层构参数（如，厚度）和物理参数（如折射率n、消光系数k，或介电函数ε1和ε2）； （附件材料：多层纳米薄膜结构测量案例说明） 非常重要 是
4 1.4 可检测块状材料的物理参数（如折射率n、消光系数k，或介电函数ε1和ε2）；各向异性样品的性质，包括波片相位延迟差和快轴方位角、旋光片的旋光角等。 重要 否
5 2、技术参数★2.1 光谱范围：245-1000 nm；（附件材料：光谱图） 非常重要 是
6 2.2 波长间隔：不大于1 nm； 重要 否
7 2.3 光源：氘灯和卤钨灯，寿命大于2000小时； 重要 否
8 2.4 入射角度：角度范围为45－90°，精度 0.02°； 重要 否
9 2.5 测量重复性：针对Si上的100nm的SiO2膜厚的标片，测量20次，膜厚重复性≤0.01 nm，折射率重复性≤0.0005； 非常重要 否
10 2.6 准确度：90°透射模式下测量空气时：（1）椭偏角ψ=45°±0.05°，Δ=±0.1°；（2）Mueller矩阵对角元素m = 1±0.005，非对角元素m = ±0.005； 非常重要 否
11 2.7 测量时间：全光谱测量Mueller和椭偏角（ψ、Δ）典型测量时间10秒； 重要 否
12 2.8 检测原理：双补偿器旋转； 重要 否
13 2.9 样件台支持对样品进行高低和俯仰对准； 重要 否
14 2.10 光源调节方式：多挡位滤轮自适应调节，根据样件反射信息自动变档到最优探测光强； 非常重要 否
15 2.11 偏振测量范围：Psi：0-90°，Delta：-90-270°，360°无死角； 重要 否
16 3、软件及其功能：配备主机配套软件：（1）可输出椭偏角和，Mueller矩阵元素，NCS，介电函数，折射率和消光系数；（2）能够拟合多层结构（单层膜、复合膜、超晶格等）； （3）易于使用、用户可扩展的材料数据库；（4）丰富的材料光学常数列表，200种以上；（5）丰富的材料色散模型：包括Cauchy, Sellmeier，Lorentz，Drude，F-B，Tauc-Lorentz等多种材料色散模型；（6）EMA有效介质近似；（7）可处理各向异性样品。 重要 否
17 配置清单：1、主机，1套，包括角度结构、光源、光学器件、样品对准等组件；2、计算机，1套，CPU为i7，8G内存，512G硬盘，21吋液晶显示屏，Windows 10 x64位操作系统；3、控制箱，1套，用于仪器的运动控制等；4、配套软件，1套，用于仪器的设置、操作、测量，数据分析等；5、晶圆样品，1个，晶体硅上镀氧化硅（SiO2/Si），直径4”，膜厚100nm。 重要 否
18 保修范围：1、保修期内的保修内容与范围：（1）在保修期内出现属于合同设备原因的故障，卖方负责无偿修理及免费提供备件（除耗材外）。（2）保修期内若合同设备出现确实属于买方原因造成的非正常损坏（即：人为错误而导致的损坏），则由买方承担受 (略) 费用，卖方负责修理。2、超过保修期后的保修内容与范围：保修期外 (略) 件出现故障， (略) 门鉴定属于寿命异常问题，厂方应无偿负责更换；除此之外，厂家需按不高于成本价加必要的人工等其他费用提供优惠报价。提供软件永久免费升级以及数据建模终身无偿支持服务。 重要 否
19 售后服务要求：1、在保修期内，当设备发生故障、买方不能自行解决时，卖方在接到买方的通知后：（1）在2小时内响应；（2）72小时内到达现场，并尽快予以解决；（3）一般故障1天内解决，重大故障3天内解决。2、超过保修期后，如合同设备发生故障，买方要求卖方对设备进行检查、维修时，卖方在接到买方的通知后：（1）在2小时内响应；（2）在72小时内到达现场，并尽快予以解决；（3） (略) 发生的费用由买方承担。 重要 否
20 培训要求：1、卖方负责对仪器进行安装调试，并对仪器操作人员进行技术培训。2、培训人员：不少于2人；3、培训时间：不少于4小时；4、培训内容：仪器的测量原理、基本性能和用途、仪器操作、仪器维护等。 重要 否


    
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