MRO平台招标ww—INFICON氦检仪维修-常州厂071204(机台编号,故障描述见附件)-氦检仪分子泵维修,维修要求:氦检最小可检漏率≤1*10-12mbar.升/秒;粗检泵抽速:15立方米/小时;氦检时在进气口泵抽速:GROSS8升/秒
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