江苏大学-竞价公告(CB102992022000343)
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江苏大学-竞价公告(CB102992022000343)
申购单号:CB*
申购主题:双靶磁控溅射镀膜机
采购单位:江苏大学
报价要求:
发票类型:增值税普通发票
币种:人民币
预算:*.0
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间:合同签订后7天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址:江苏省/ (略) /京口区/点击查看>>*
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:进口设备请务必填写原产地，否则视为无效报价。申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 双靶磁控溅射镀膜机 | 1.0 | *.0 |
| 品牌 | 双靶磁控溅射镀膜机 | ||
| 型号 | 双靶磁控溅射镀膜机 | ||
| 规格参数 | 总体要求，双靶磁控溅射镀膜机，可实现金属薄膜制备、化合物薄膜制备以及复合薄膜的制备。具体要求如下。1.主要技术参数：溅射膜厚均匀性±3%。配备自动恒压控制系统及镀膜过程可编程，全自动执行。样品台最高可加热至 600 ℃，由热电偶闭环反馈控制，可控可调，精度±1℃；温度均匀性在衬底上的偏差约≤ 2%；样品台可兼容2英寸和4英寸样品的安装，一套放置3个直径50.8mm样品，一套放置一个直径100mm样品；样品台可施加偏压，在镀膜前对样品进行等离子体清洗。样品台可旋转，速率在0-50转/分钟可调。通过调整样品台可实现靶基距地调整（60-80mm可调）。极限真空优于6.67E-5Pa，抽空至5E-4Pa小于40分钟。2.主要配置真空系统：8L 机械泵+KYKY FF-160/620 分子泵,配备超高真空插板阀；U 型真空室,真空室尺寸大于 300mm ×300mm× 350 mm，U 型结构，正面开门结构，选用优质不锈钢材料制造，氩弧焊接，表面进行特殊工艺抛光处理，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封；真空室组件上焊有各种规格的法兰。带一套数显真空测量仪，可实现高低真空的测量。溅射靶2套：一套射频溅射靶，一套直流溅射靶。靶材表面磁场分别均匀， 有效提高靶材利用率；溅射靶角度可调，高度可调，自带挡板。可以采用垂直或共焦溅射的方法在该靶对应的基片位置制备薄膜。窗口及法兰接口部件：直径大于 100 玻璃窗口：1 块； 陶瓷封接引线法兰：2 个；此外预留功能拓展接口。 (略) ：100 SCCM（Ar气标定）、20SCCM（氮气标定） 质量流量控制器各一套、配截止阀及混气装置。 电源：加热温控电源一套直流溅射电源一套：功率 500W；射频电源一套：功率 500W，含自动匹配器，可切换输出；安装机台架组件：型材框架，快卸围板表面喷塑处理；机台表面用不锈钢蒙皮装饰；四只脚轮，可固定，可移动；水冷系统：配备冷水机，满足系统长时间工作要求。 控制系统：带触摸屏控制，控制的内容主要有电源切换、样品自转、样品控温、质量流量控制器等，系统配备进口膜厚测量仪，含原装水冷探头，在线监测镀膜速率。说明书及图纸：设备操作、维护手册（1本）；全套外购部件的使用、维护说明书（1套）；设备结构原理图及关键部件结构图（1套）；电控系统原理图（1套）；装箱单（1套）；合格检验证明（一套）。配件：除设备自带的全部配件外，额外提供如下配件：观察窗玻璃1快，腔门密封圈2套，四寸和两寸载片夹具各一套，其他易耗的小配件。 | ||
| 质保及售后服务 | 按行业保质期：2年，设备验收合格后算起。培训：时间：1天，培训人数10人，培训内容：1）了解多功能系统的工作原理、组成及各组成部分的使用方法；2）熟练掌握整机系统及各零部件的操作使用方法；3）了解并掌握设备一般故障的诊断方法，并能进行日常维护。标准提供服务 | ||
申购单号:CB*
申购主题:双靶磁控溅射镀膜机
采购单位:江苏大学
报价要求:
发票类型:增值税普通发票
币种:人民币
预算:*.0
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间:合同签订后7天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址:江苏省/ (略) /京口区/点击查看>>*
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:进口设备请务必填写原产地，否则视为无效报价。申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 双靶磁控溅射镀膜机 | 1.0 | *.0 |
| 品牌 | 双靶磁控溅射镀膜机 | ||
| 型号 | 双靶磁控溅射镀膜机 | ||
| 规格参数 | 总体要求，双靶磁控溅射镀膜机，可实现金属薄膜制备、化合物薄膜制备以及复合薄膜的制备。具体要求如下。1.主要技术参数：溅射膜厚均匀性±3%。配备自动恒压控制系统及镀膜过程可编程，全自动执行。样品台最高可加热至 600 ℃，由热电偶闭环反馈控制，可控可调，精度±1℃；温度均匀性在衬底上的偏差约≤ 2%；样品台可兼容2英寸和4英寸样品的安装，一套放置3个直径50.8mm样品，一套放置一个直径100mm样品；样品台可施加偏压，在镀膜前对样品进行等离子体清洗。样品台可旋转，速率在0-50转/分钟可调。通过调整样品台可实现靶基距地调整（60-80mm可调）。极限真空优于6.67E-5Pa，抽空至5E-4Pa小于40分钟。2.主要配置真空系统：8L 机械泵+KYKY FF-160/620 分子泵,配备超高真空插板阀；U 型真空室,真空室尺寸大于 300mm ×300mm× 350 mm，U 型结构，正面开门结构，选用优质不锈钢材料制造，氩弧焊接，表面进行特殊工艺抛光处理，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封；真空室组件上焊有各种规格的法兰。带一套数显真空测量仪，可实现高低真空的测量。溅射靶2套：一套射频溅射靶，一套直流溅射靶。靶材表面磁场分别均匀， 有效提高靶材利用率；溅射靶角度可调，高度可调，自带挡板。可以采用垂直或共焦溅射的方法在该靶对应的基片位置制备薄膜。窗口及法兰接口部件：直径大于 100 玻璃窗口：1 块； 陶瓷封接引线法兰：2 个；此外预留功能拓展接口。 (略) ：100 SCCM（Ar气标定）、20SCCM（氮气标定） 质量流量控制器各一套、配截止阀及混气装置。 电源：加热温控电源一套直流溅射电源一套：功率 500W；射频电源一套：功率 500W，含自动匹配器，可切换输出；安装机台架组件：型材框架，快卸围板表面喷塑处理；机台表面用不锈钢蒙皮装饰；四只脚轮，可固定，可移动；水冷系统：配备冷水机，满足系统长时间工作要求。 控制系统：带触摸屏控制，控制的内容主要有电源切换、样品自转、样品控温、质量流量控制器等，系统配备进口膜厚测量仪，含原装水冷探头，在线监测镀膜速率。说明书及图纸：设备操作、维护手册（1本）；全套外购部件的使用、维护说明书（1套）；设备结构原理图及关键部件结构图（1套）；电控系统原理图（1套）；装箱单（1套）；合格检验证明（一套）。配件：除设备自带的全部配件外，额外提供如下配件：观察窗玻璃1快，腔门密封圈2套，四寸和两寸载片夹具各一套，其他易耗的小配件。 | ||
| 质保及售后服务 | 按行业保质期：2年，设备验收合格后算起。培训：时间：1天，培训人数10人，培训内容：1）了解多功能系统的工作原理、组成及各组成部分的使用方法；2）熟练掌握整机系统及各零部件的操作使用方法；3）了解并掌握设备一般故障的诊断方法，并能进行日常维护。标准提供服务 | ||
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