XPS真空互联原子层沉积系统

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XPS真空互联原子层沉积系统

基本信息

项目编号中大招（货）[2022]402号
项目名称中山大学测试中心XPS真空互联原子层沉积系统采购项目
项目类型货物采购申购主题XPS真空互联原子层沉积系统采购单位中山大学
项目预算采购开始时间2022-09-13 15:05采购结束时间2022-09-21 10:00是否送货是
期望收货时间合同签订后60天交货经办人王老师经办人电话*-808
送货地址 (略) 海珠区中山大学测试大楼119室
电子签章本项目需要使用CA签字CA操作手册下载
备注1、国内供货请报含税人民币价；境外供货（进口）请报免税人民币价或外币价， (略) 必须有境外人民币收款账户。 2、进口货物中如有国内供货部分，供应商在报价时应分别报价，境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物购销协议和国内采购合同。 3、本项目学校不收取任何费用， 外贸代理费由供应商支付。4、本项目需要使用CA证书，请供应商根据指引（http://**）提前办理CA证书。 5、技术参数中如标注有“★”号的条款必须实质性响应，负偏离（不满足要求）将导致报价无效。

设备列表

采购设备数量参考品牌详细响应要求
XPS真空互联原子层沉积系统1台详情请进入系统查看
"XPS真空互联原子层沉积系统"技术要求
序号技术要求内容评分等级是否需要附件说明
1 1、主机参数：技术指标：★与ESCALAB Xi+型号的XPS系统兼容，采用柔性机械臂，传递旗形样品托，可实现真空样品传递，传样机械臂装载在XPS进样室的快开门上； 非常重要 是
2 2、高真空腔室：100mm（长）×70mm（宽）×140mm（高）；极限真空好于 5×10-7mbar，由SS316耐腐蚀不锈钢制成； 重要 否
3 3、▲高真空腔室的漏率：8×10-10Pam3/s；停泵的情况下，24h后真空至5×10-2mbar；抽气速率：前级泵抽速5m3/h，分子泵抽速84L/s； 非常重要 否
4 4、高真空腔室通过DN40CF闸板阀与XPS进样室连接； 重要 否
5 5、▲搭配耐腐蚀陶瓷加热台，最高加热温度可达500摄氏度，控温精度为±0.1摄氏度； 非常重要 否
6 6、加热样品台带电极功能，可以导入不大于24V/0.5A的直流电流； 重要 否
7 7、带保护盖的熔融石英， 保护盖防止气氛污染视窗（搭配额外的两组石英视窗用于替换和清洗），透过波长范围：200～280nm，透过率85%；280nm~2000nm，透过率90%；直径：37mm；厚度：2.6mm；安装接口：DN40CF； 重要 否
8 8、▲进气系 (略) 进气管道，用毛细管直接导入到样品附近的Chimney设计， 提高气体的使用效率， (略) 都搭配可以独立开闭的VCR的金属角阀； 非常重要 否
9 9、系统可以承受最高180摄氏度的高温烘烤，搭配具有PID控温程序的烘烤罩，可以设定烘烤温度和时间等参数，用于去除腔体污染； 重要 否
10 10、真空系 (略) ：采用 28L机械泵用于抽取反应气体（Fomblin Oil），采用耐烘烤的气动阀与系统连接； 重要 否
11 11、真空系统 (略) ：采用DN40CF手动全金属角阀与反应池做连接，搭配分子泵/机械泵的泵组作为抽气组件，使高真空腔室极限真空好于 5×10-7mbar； 重要 否
12 12、真空量测：耐腐蚀的应力真空规（对气体无选择性），量程 10mbar~1×10-2mbar；耐腐蚀的全量程真空规，量程 1atm~5×10-9mbar； 重要 否
13 13、等离子清洗装置：远程等离子体清洁装置，可以实现原位清洁和长程扩散式清洁；低温等离子体；安装法兰 DN40CF；内置的流量调节阀；工作气压 5~20Pa；可兼容O2,H2和H2O形成非局域的等离子体用于清洁腔壁或者样品；80~600W功率可调；常规工作200秒即可有效减轻腔体的有机背景污染； 重要 否
14 14、系统支架及多功能反应池与XPS制备室隔断保护装置（在ALD腔室的后侧做一高度为90cm宽的隔热挡板）， (略) 等； 重要 否
15 15、★ALD成膜均匀性：1cm2基片上Al2O3镀膜不均匀性≦±2%； 非常重要 是
16 16、▲二通高速ALD专用阀门：最短吸合时间为10 ms； 非常重要 否
17 17、▲三通高速ALD专用阀门：最短吸合时间为10 ms； 非常重要 否
18 18、ALD专用手动阀门：适合高温环境要求，耐腐蚀，操作可靠； 重要 否
19 19、ALD专用气动阀门：适合高温环境要求，耐腐蚀，操作可靠； 重要 否
20 20、▲PLC自动控制系统：全自动工艺控制单元，10英寸外挂式LED触控显示屏，沉积控制软件系统：自主研发，具有配方储存和提取功能、压力和温度在线图形显示；可方便地设置和调节温度、流量、时间等参数；可实现操作单元手动单独控制和全自动电脑控制选择，可长时间稳定运行； 非常重要 否
21 21、气体质量流量计：N2标定惰性载气流量控制MFC，300 SCCM； 重要 否
22 22、气路系统： (略) 采用316L材质1/4’不锈钢管，内抛光处理；接口均为VCR卡套密封连接； 重要 否
23 23、加热带：加热管道，加热温度200度； 重要 否
24 24、加热套：材质为保温棉，加热单体瓶，加热温度200度； 重要 否
25 25、单体瓶：50 ml，采用316L不锈钢管，接口均为VCR卡套密封连接，可拆卸清洗； 重要 否
26 26、空气压缩机：无油，大于0.5 MPa外输压力，噪音值小于45dB，排气量大于50L/min，储气大于10L； 重要 否
27 27、▲提供详细的设计图纸。 非常重要 是
28 28、设备发生故障后24小时积极响应；72小时内安排工程师上门解决。 重要 否

基本信息

项目编号中大招（货）[2022]402号
项目名称中山大学测试中心XPS真空互联原子层沉积系统采购项目
项目类型货物采购申购主题XPS真空互联原子层沉积系统采购单位中山大学
项目预算采购开始时间2022-09-13 15:05采购结束时间2022-09-21 10:00是否送货是
期望收货时间合同签订后60天交货经办人王老师经办人电话*-808
送货地址 (略) 海珠区中山大学测试大楼119室
电子签章本项目需要使用CA签字CA操作手册下载
备注1、国内供货请报含税人民币价；境外供货（进口）请报免税人民币价或外币价， (略) 必须有境外人民币收款账户。 2、进口货物中如有国内供货部分，供应商在报价时应分别报价，境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物购销协议和国内采购合同。 3、本项目学校不收取任何费用， 外贸代理费由供应商支付。4、本项目需要使用CA证书，请供应商根据指引（http://**）提前办理CA证书。 5、技术参数中如标注有“★”号的条款必须实质性响应，负偏离（不满足要求）将导致报价无效。

设备列表

采购设备数量参考品牌详细响应要求
XPS真空互联原子层沉积系统1台详情请进入系统查看
"XPS真空互联原子层沉积系统"技术要求
序号技术要求内容评分等级是否需要附件说明
1 1、主机参数：技术指标：★与ESCALAB Xi+型号的XPS系统兼容，采用柔性机械臂，传递旗形样品托，可实现真空样品传递，传样机械臂装载在XPS进样室的快开门上； 非常重要 是
2 2、高真空腔室：100mm（长）×70mm（宽）×140mm（高）；极限真空好于 5×10-7mbar，由SS316耐腐蚀不锈钢制成； 重要 否
3 3、▲高真空腔室的漏率：8×10-10Pam3/s；停泵的情况下，24h后真空至5×10-2mbar；抽气速率：前级泵抽速5m3/h，分子泵抽速84L/s； 非常重要 否
4 4、高真空腔室通过DN40CF闸板阀与XPS进样室连接； 重要 否
5 5、▲搭配耐腐蚀陶瓷加热台，最高加热温度可达500摄氏度，控温精度为±0.1摄氏度； 非常重要 否
6 6、加热样品台带电极功能，可以导入不大于24V/0.5A的直流电流； 重要 否
7 7、带保护盖的熔融石英， 保护盖防止气氛污染视窗（搭配额外的两组石英视窗用于替换和清洗），透过波长范围：200～280nm，透过率85%；280nm~2000nm，透过率90%；直径：37mm；厚度：2.6mm；安装接口：DN40CF； 重要 否
8 8、▲进气系 (略) 进气管道，用毛细管直接导入到样品附近的Chimney设计， 提高气体的使用效率， (略) 都搭配可以独立开闭的VCR的金属角阀； 非常重要 否
9 9、系统可以承受最高180摄氏度的高温烘烤，搭配具有PID控温程序的烘烤罩，可以设定烘烤温度和时间等参数，用于去除腔体污染； 重要 否
10 10、真空系 (略) ：采用 28L机械泵用于抽取反应气体（Fomblin Oil），采用耐烘烤的气动阀与系统连接； 重要 否
11 11、真空系统 (略) ：采用DN40CF手动全金属角阀与反应池做连接，搭配分子泵/机械泵的泵组作为抽气组件，使高真空腔室极限真空好于 5×10-7mbar； 重要 否
12 12、真空量测：耐腐蚀的应力真空规（对气体无选择性），量程 10mbar~1×10-2mbar；耐腐蚀的全量程真空规，量程 1atm~5×10-9mbar； 重要 否
13 13、等离子清洗装置：远程等离子体清洁装置，可以实现原位清洁和长程扩散式清洁；低温等离子体；安装法兰 DN40CF；内置的流量调节阀；工作气压 5~20Pa；可兼容O2,H2和H2O形成非局域的等离子体用于清洁腔壁或者样品；80~600W功率可调；常规工作200秒即可有效减轻腔体的有机背景污染； 重要 否
14 14、系统支架及多功能反应池与XPS制备室隔断保护装置（在ALD腔室的后侧做一高度为90cm宽的隔热挡板）， (略) 等； 重要 否
15 15、★ALD成膜均匀性：1cm2基片上Al2O3镀膜不均匀性≦±2%； 非常重要 是
16 16、▲二通高速ALD专用阀门：最短吸合时间为10 ms； 非常重要 否
17 17、▲三通高速ALD专用阀门：最短吸合时间为10 ms； 非常重要 否
18 18、ALD专用手动阀门：适合高温环境要求，耐腐蚀，操作可靠； 重要 否
19 19、ALD专用气动阀门：适合高温环境要求，耐腐蚀，操作可靠； 重要 否
20 20、▲PLC自动控制系统：全自动工艺控制单元，10英寸外挂式LED触控显示屏，沉积控制软件系统：自主研发，具有配方储存和提取功能、压力和温度在线图形显示；可方便地设置和调节温度、流量、时间等参数；可实现操作单元手动单独控制和全自动电脑控制选择，可长时间稳定运行； 非常重要 否
21 21、气体质量流量计：N2标定惰性载气流量控制MFC，300 SCCM； 重要 否
22 22、气路系统： (略) 采用316L材质1/4’不锈钢管，内抛光处理；接口均为VCR卡套密封连接； 重要 否
23 23、加热带：加热管道，加热温度200度； 重要 否
24 24、加热套：材质为保温棉，加热单体瓶，加热温度200度； 重要 否
25 25、单体瓶：50 ml，采用316L不锈钢管，接口均为VCR卡套密封连接，可拆卸清洗； 重要 否
26 26、空气压缩机：无油，大于0.5 MPa外输压力，噪音值小于45dB，排气量大于50L/min，储气大于10L； 重要 否
27 27、▲提供详细的设计图纸。 非常重要 是
28 28、设备发生故障后24小时积极响应；72小时内安排工程师上门解决。 重要 否

    
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