电子科技大学-竞价公告(CB106142022000069)
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电子科技大学-竞价公告(CB106142022000069)
申购单号:CB*
申购主题:SG*有机-金属真空热蒸镀系统
采购单位:电子科技大学
报价要求:
发票类型:增值税普通发票
币种:人民币
预算:*.0
签约时间:
送货时间:合同签订后120天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址:四川省/ (略) /郫都区/点击查看>>*
付款方式:预付30%，发货前付50%，验收合格后支付20%尾款
备注说明:申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | SG*有机-金属真空热蒸镀系统 | 1.0 | *.0 |
| 品牌 | 方昇光电 | ||
| 型号 | * | ||
| 规格参数 | 1.样品架系统：(1) 标准的样品盘可以容纳160mm×160mm的样品托。(2) 样品盘通过电机以标称30rpm的转速（5-60rpm可调）旋转时发生沉淀，这样可以使基础结构的一致性达到最大。(3) 掩膜板到基片的距离小于0.2mm。(4) 靠近基片盘附近有温度检测装置，可实时检测蒸镀过程中基片附近区域的温度。(5) 在基片掩模盘装置下方提供一套挡板装置（气缸驱动挡板开合）。2.蒸发沉积系统：（1）有6组热阻蒸发源，用于材料蒸发。有机、金属通用，距基片大约35cm。6组蒸发源的位置按照R-D-matin-ME系列舟蒸发源设计。（2）源与源之间配备隔板，可有效隔绝一定的温度，并避免源与源之间相互污染。（3）1台低电压大电流的TDK电源（1×2.4 *)，通过大电流直流继电器切换6组蒸发源，可以蒸发不同源的材料。（4）TDK电源，最高升温温度可达1500℃，电流驱动加热形式，电流可精确到0.1 A，实现蒸镀速率0.01 ?/s的精度显示。（5）蒸镀速度、厚度和蒸镀工序控制都依据定制的软件完成，调节TDK电源功率的百分比，来控制蒸镀速率。（6）带有3个晶振探头，放置在蒸发源的上方。（7）采用1台Inficon SQC-310 膜厚仪，可显示集成在电脑控制系统内，膜厚速率显示精度在 0.01 ?/s。（8）蒸镀图案边缘宽度：掩模板图案尺寸±0.1mm。3.真空系统：（1）真空室由SUS304不锈钢制成，内部尺寸大致为500mm×500mm×620mm，装有基础结构和挡板的固定装置，以及电极、真空泵、样品盘等装置。（2）真空室内部电解抛光处理，减少表面放气。（3）真空室有两个可以完全打开的门，前面的是推拉门，配备1个观察窗，可以接附加的手套箱。后门是旋转门，打开后门可以对腔体内部进行维护，也可以展开让腔体内部接触大气，配置2个观察窗。（4）极限真空度：系统洁净、空置时低于3.5×10-5 Pa；从常压到5×10-4 Pa不超过15min（充氮气保护，从手套箱内操作）。（5）带有旁抽系统，可以在不关闭分子泵的条件下，进行样品及材料的更换。（6）观察窗上配有可金属挡板,可从腔体外面打开或关闭。（7）腔体装有一盏LED灯，方便观察内部状况。（8）腔体内表面安装金属防污挡板,后期可通过更换金属防污挡板。（9）真空系统具有电脑控 (略) 反馈装置，并包括如下构件：@KYKY FF-200/1300 分子泵（水冷），排气速度（N2）：1300L/s，极限真空：10-6 Pa。@复合真空计，测量范围大气—1.0×10-5 Pa。@机械真空泵，抽速约为：25 m3/h。@真空插板阀及角阀：气动，可使用不少于100,000次。@电磁充气阀：腔体充氮气破空。4.电控系统及其他：（1）登*软件需要用户名和密码，不同的用户名对应不同的操作权限，确保操作人员不会误操作到设备的参数设置。（2）速率控制模式可以设定蒸发材料的速率值，与膜厚仪中探头检测的实际值比较，通过速率控制PID模块调节加热电源的输出。（3）腔体的真空系统可以单独操作，也具有两种模式可以切换：手动模式和半自动模式。 在手动模式下，可以手动控制机械泵、气动阀、插板阀、分子泵的启动和停止，软件中含有各个电气设备的软件互锁和状态反馈，确保设备的安全。在半自动模式下，可以从当前状态自动抽取运行，达到实验要求的真空环境，各个状态会在软件中显示。（4）在普通操作员的正常操作过程中，仅仅只需要对伺服电机的位置和参数进行简单的选择，即可满足设备运行需要。（5）通过膜厚仪与工控机串口通讯，将蒸发速率、蒸镀膜厚和输出功率一同在软件中实时显示，方便操作人员监测实验过程。（6）该系统建立在铝合金型材框架上，框架上装有真空室，真空构件，电控，电脑界面。框架和盖板的饰面为铝阳极氧化，非无尘室同样适用。框架配有水准调节脚。 | ||
| 质保及售后服务 | 按行业标准提供服务 | ||
申购单号:CB*
申购主题:SG*有机-金属真空热蒸镀系统
采购单位:电子科技大学
报价要求:
发票类型:增值税普通发票
币种:人民币
预算:*.0
签约时间:
送货时间:合同签订后120天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址:四川省/ (略) /郫都区/点击查看>>*
付款方式:预付30%，发货前付50%，验收合格后支付20%尾款
备注说明:申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | SG*有机-金属真空热蒸镀系统 | 1.0 | *.0 |
| 品牌 | 方昇光电 | ||
| 型号 | * | ||
| 规格参数 | 1.样品架系统：(1) 标准的样品盘可以容纳160mm×160mm的样品托。(2) 样品盘通过电机以标称30rpm的转速（5-60rpm可调）旋转时发生沉淀，这样可以使基础结构的一致性达到最大。(3) 掩膜板到基片的距离小于0.2mm。(4) 靠近基片盘附近有温度检测装置，可实时检测蒸镀过程中基片附近区域的温度。(5) 在基片掩模盘装置下方提供一套挡板装置（气缸驱动挡板开合）。2.蒸发沉积系统：（1）有6组热阻蒸发源，用于材料蒸发。有机、金属通用，距基片大约35cm。6组蒸发源的位置按照R-D-matin-ME系列舟蒸发源设计。（2）源与源之间配备隔板，可有效隔绝一定的温度，并避免源与源之间相互污染。（3）1台低电压大电流的TDK电源（1×2.4 *)，通过大电流直流继电器切换6组蒸发源，可以蒸发不同源的材料。（4）TDK电源，最高升温温度可达1500℃，电流驱动加热形式，电流可精确到0.1 A，实现蒸镀速率0.01 ?/s的精度显示。（5）蒸镀速度、厚度和蒸镀工序控制都依据定制的软件完成，调节TDK电源功率的百分比，来控制蒸镀速率。（6）带有3个晶振探头，放置在蒸发源的上方。（7）采用1台Inficon SQC-310 膜厚仪，可显示集成在电脑控制系统内，膜厚速率显示精度在 0.01 ?/s。（8）蒸镀图案边缘宽度：掩模板图案尺寸±0.1mm。3.真空系统：（1）真空室由SUS304不锈钢制成，内部尺寸大致为500mm×500mm×620mm，装有基础结构和挡板的固定装置，以及电极、真空泵、样品盘等装置。（2）真空室内部电解抛光处理，减少表面放气。（3）真空室有两个可以完全打开的门，前面的是推拉门，配备1个观察窗，可以接附加的手套箱。后门是旋转门，打开后门可以对腔体内部进行维护，也可以展开让腔体内部接触大气，配置2个观察窗。（4）极限真空度：系统洁净、空置时低于3.5×10-5 Pa；从常压到5×10-4 Pa不超过15min（充氮气保护，从手套箱内操作）。（5）带有旁抽系统，可以在不关闭分子泵的条件下，进行样品及材料的更换。（6）观察窗上配有可金属挡板,可从腔体外面打开或关闭。（7）腔体装有一盏LED灯，方便观察内部状况。（8）腔体内表面安装金属防污挡板,后期可通过更换金属防污挡板。（9）真空系统具有电脑控 (略) 反馈装置，并包括如下构件：@KYKY FF-200/1300 分子泵（水冷），排气速度（N2）：1300L/s，极限真空：10-6 Pa。@复合真空计，测量范围大气—1.0×10-5 Pa。@机械真空泵，抽速约为：25 m3/h。@真空插板阀及角阀：气动，可使用不少于100,000次。@电磁充气阀：腔体充氮气破空。4.电控系统及其他：（1）登*软件需要用户名和密码，不同的用户名对应不同的操作权限，确保操作人员不会误操作到设备的参数设置。（2）速率控制模式可以设定蒸发材料的速率值，与膜厚仪中探头检测的实际值比较，通过速率控制PID模块调节加热电源的输出。（3）腔体的真空系统可以单独操作，也具有两种模式可以切换：手动模式和半自动模式。 在手动模式下，可以手动控制机械泵、气动阀、插板阀、分子泵的启动和停止，软件中含有各个电气设备的软件互锁和状态反馈，确保设备的安全。在半自动模式下，可以从当前状态自动抽取运行，达到实验要求的真空环境，各个状态会在软件中显示。（4）在普通操作员的正常操作过程中，仅仅只需要对伺服电机的位置和参数进行简单的选择，即可满足设备运行需要。（5）通过膜厚仪与工控机串口通讯，将蒸发速率、蒸镀膜厚和输出功率一同在软件中实时显示，方便操作人员监测实验过程。（6）该系统建立在铝合金型材框架上，框架上装有真空室，真空构件，电控，电脑界面。框架和盖板的饰面为铝阳极氧化，非无尘室同样适用。框架配有水准调节脚。 | ||
| 质保及售后服务 | 按行业标准提供服务 | ||
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