西安交通大学-竞价公告(CB106982022003316)
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西安交通大学-竞价公告(CB106982022003316)
申购单号:CB*
申购主题:高真空有机/金属蒸发镀膜机
采购单位:西安交通大学
报价要求:
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间:合同签订后15天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址:陕西省/ (略) /碑林区/点击查看>>*
付款方式:1.货到安装、调试、验收合格后，付全款。
备注说明:申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 高真空有机/金属蒸发镀膜机 | 1.0 | 套 |
| 品牌 | 不限（满足参数即可） | ||
| 型号 | 不限（满足参数即可） | ||
| 规格参数 | 主要技术指标：※1.有机/金属镀膜室：镀膜室净尺寸不小于: L400mm×W440mm×H450mm；SUS304不锈钢制作,方箱式，配有前、后门，前门水平滑开式，材质为锻铝，便于手套箱内操作；后门为侧开门，便于设备清理维护；特点：镀膜室配置独立机架，可在脱离手套箱条件下单独调试、使用，与手套箱之间通过镀膜室前门框密封连接，对接方便、密封可靠；※2.真空系统：复合分子泵+直联旋片泵+高真空插板阀高真空系统； 分子泵：抽速不小于700 L/S，机械泵：抽速不小于9L/S；※3.真空指标：极限真空：优于5.0×10-5Pa；(设备和手套箱分离，设备空载抽真空24小时内)抽速：从大气抽至10-4Pa≤40min；(设备空载)设备升压率≤0.8Pa/h;※4.基片台：抽屉式结构，最大承载不小于120×120mm基片； 配有气动基片台挡板；基片 台电机驱动，旋转速度0～20转/分钟可调；基片台水冷温度：10～30℃，需免费提供掩膜板1套；※5.金属蒸发源:3组；蒸发温度：室温～1300℃（真空状态）；金属蒸发电源：功率3000W；2台（1台电源可切换2组蒸发源）；※6.有机蒸发源：控温有机蒸发源（最高温度600°），2套；角度向心可调（提高材料利用率，均匀性好），蒸发速率可控；有机控温蒸发电源：2台（独立PID智能温控蒸发）；7.气动挡板及源间防污隔板5套8.控制方式：需采用PLC+触摸屏半自动控制；9.报警及保护：对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统。※10.膜厚控制系统：需配SQM-160晶振膜厚仪1台，晶振探头1支，原装晶振片1盒，在线监测膜厚及速率，速率显示0.01埃/s；11.冷却循环水机：功率不小于2P，制冷量不小于5.17kW，1台；12.空气压缩机：排气量≥90L/min，储气罐容积≥38L(0.038 m3)，噪音: ≤68dB，1台；13.文档资料：①设备操作、维护使用说明书1套；②设备电气原理图1套；③设备易损件清单1套；④装箱单；⑤设备出厂合格检验证明。※14.其他要求： ①整机质保不低于1年；②代理商需提供生产厂家授权书及售后服务承诺书原件； ③生产厂家需具有完善的售后服务体系保障及用户服务好评；④生产厂家需提供相关工艺参数，设备交付时需现场演示制备。 | ||
| 质保及售后服务 | 按行业标准提供服务，整机免费保修期不少于1年，代理商需提供生产厂家授权书及售后服务承诺书原件；生产厂家需具有完善的售后服务体系保障及用户服务好评；生产厂家需提供相关工艺参数，设备交付时需现场演示制备。 | ||
申购单号:CB*
申购主题:高真空有机/金属蒸发镀膜机
采购单位:西安交通大学
报价要求:
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间:合同签订后15天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址:陕西省/ (略) /碑林区/点击查看>>*
付款方式:1.货到安装、调试、验收合格后，付全款。
备注说明:申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 高真空有机/金属蒸发镀膜机 | 1.0 | 套 |
| 品牌 | 不限（满足参数即可） | ||
| 型号 | 不限（满足参数即可） | ||
| 规格参数 | 主要技术指标：※1.有机/金属镀膜室：镀膜室净尺寸不小于: L400mm×W440mm×H450mm；SUS304不锈钢制作,方箱式，配有前、后门，前门水平滑开式，材质为锻铝，便于手套箱内操作；后门为侧开门，便于设备清理维护；特点：镀膜室配置独立机架，可在脱离手套箱条件下单独调试、使用，与手套箱之间通过镀膜室前门框密封连接，对接方便、密封可靠；※2.真空系统：复合分子泵+直联旋片泵+高真空插板阀高真空系统； 分子泵：抽速不小于700 L/S，机械泵：抽速不小于9L/S；※3.真空指标：极限真空：优于5.0×10-5Pa；(设备和手套箱分离，设备空载抽真空24小时内)抽速：从大气抽至10-4Pa≤40min；(设备空载)设备升压率≤0.8Pa/h;※4.基片台：抽屉式结构，最大承载不小于120×120mm基片； 配有气动基片台挡板；基片 台电机驱动，旋转速度0～20转/分钟可调；基片台水冷温度：10～30℃，需免费提供掩膜板1套；※5.金属蒸发源:3组；蒸发温度：室温～1300℃（真空状态）；金属蒸发电源：功率3000W；2台（1台电源可切换2组蒸发源）；※6.有机蒸发源：控温有机蒸发源（最高温度600°），2套；角度向心可调（提高材料利用率，均匀性好），蒸发速率可控；有机控温蒸发电源：2台（独立PID智能温控蒸发）；7.气动挡板及源间防污隔板5套8.控制方式：需采用PLC+触摸屏半自动控制；9.报警及保护：对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统。※10.膜厚控制系统：需配SQM-160晶振膜厚仪1台，晶振探头1支，原装晶振片1盒，在线监测膜厚及速率，速率显示0.01埃/s；11.冷却循环水机：功率不小于2P，制冷量不小于5.17kW，1台；12.空气压缩机：排气量≥90L/min，储气罐容积≥38L(0.038 m3)，噪音: ≤68dB，1台；13.文档资料：①设备操作、维护使用说明书1套；②设备电气原理图1套；③设备易损件清单1套；④装箱单；⑤设备出厂合格检验证明。※14.其他要求： ①整机质保不低于1年；②代理商需提供生产厂家授权书及售后服务承诺书原件； ③生产厂家需具有完善的售后服务体系保障及用户服务好评；④生产厂家需提供相关工艺参数，设备交付时需现场演示制备。 | ||
| 质保及售后服务 | 按行业标准提供服务，整机免费保修期不少于1年，代理商需提供生产厂家授权书及售后服务承诺书原件；生产厂家需具有完善的售后服务体系保障及用户服务好评；生产厂家需提供相关工艺参数，设备交付时需现场演示制备。 | ||
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