广西大学-竞价公告(CB105932022000431)
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广西大学-竞价公告(CB105932022000431)
申购单号:CB*
申购主题:离子束刻蚀机
采购单位:广西大学
报价要求:
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:*.0
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间:合同签订后7天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址:广西壮族自治区/ (略) /西乡塘区/点击查看>>*
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 离子源及其电源 | 1.0 | 台*.0 |
| 品牌 | 麦科诺科技 | ||
| 型号 | IBE400 | ||
| 规格参数 | 溅射室极限真空度：≤6.6x10-5Pa (经烘烤除气后)；真空获得采用FF160/600分子泵和优质机械泵（9L/S）+CF150气动插班阀，此配置具有抽速快，可获得高真空环境，提供薄膜的洁净度。 系统真空检漏漏率：≤5.0x10-7Pa.l/S； 系统从大气开始抽气：溅射室30分钟可达到5.0x10-3 Pa； 系统停泵关机12小时后真空度：≤5Pa 3. 刻蚀室中配有1套80mm考夫曼离子源。 4. 样品台布置在真空室下部，可放置最大Ф150mm样品1片。 5. 真空测量采用国产复合真空计进行测量。 6. 系 (略) 国产MFC控制进气系统（Ar），流量分别为50SCCM。 7. 系统配有1台数字式考夫曼离子源电源。 | ||
| 质保及售后服务 | 1、供应商投标时必须提供所报设备的品牌和型号（品牌和型号均需提供），如不填写视为不满足；2、所有设备要求免费送货上门、免费安装调试、保修期内免费上门保修；3、设备必须原厂包装，必须当用户面拆封；4、原则上不接受物流和快递送货。如采用物流和快递送货的必须在报价说明中注明，申购用户认可的，方可成交；5、其他按行业标准提供服务； | ||
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 2 | 离子束刻蚀机 | 1.0 | 台*.0 |
| 品牌 | 麦科诺科技 | ||
| 型号 | IBE400 | ||
| 规格参数 | 溅射室极限真空度：≤6.6x10-5Pa (经烘烤除气后)；真空获得采用FF160/600分子泵和优质机械泵（9L/S）+CF150气动插班阀，此配置具有抽速快，可获得高真空环境，提供薄膜的洁净度。 系统真空检漏漏率：≤5.0x10-7Pa.l/S； 系统从大气开始抽气：溅射室30分钟可达到5.0x10-3 Pa； 系统停泵关机12小时后真空度：≤5Pa 3. 刻蚀室中配有1套80mm考夫曼离子源。 4. 样品台布置在真空室下部，可放置最大Ф150mm样品1片。 5. 真空测量采用国产复合真空计进行测量。 6. 系 (略) 国产MFC控制进气系统（Ar），流量分别为50SCCM。 7. 系统配有1台数字式考夫曼离子源电源。 | ||
| 质保及售后服务 | 1、供应商投标时必须提供所报设备的品牌和型号（品牌和型号均需提供），如不填写视为不满足；2、所有设备要求免费送货上门、免费安装调试、保修期内免费上门保修；3、设备必须原厂包装，必须当用户面拆封；4、原则上不接受物流和快递送货。如采用物流和快递送货的必须在报价说明中注明，申购用户认可的，方可成交；5、其他按行业标准提供服务； | ||
申购单号:CB*
申购主题:离子束刻蚀机
采购单位:广西大学
报价要求:
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:*.0
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间:合同签订后7天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址:广西壮族自治区/ (略) /西乡塘区/点击查看>>*
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 离子源及其电源 | 1.0 | 台*.0 |
| 品牌 | 麦科诺科技 | ||
| 型号 | IBE400 | ||
| 规格参数 | 溅射室极限真空度：≤6.6x10-5Pa (经烘烤除气后)；真空获得采用FF160/600分子泵和优质机械泵（9L/S）+CF150气动插班阀，此配置具有抽速快，可获得高真空环境，提供薄膜的洁净度。 系统真空检漏漏率：≤5.0x10-7Pa.l/S； 系统从大气开始抽气：溅射室30分钟可达到5.0x10-3 Pa； 系统停泵关机12小时后真空度：≤5Pa 3. 刻蚀室中配有1套80mm考夫曼离子源。 4. 样品台布置在真空室下部，可放置最大Ф150mm样品1片。 5. 真空测量采用国产复合真空计进行测量。 6. 系 (略) 国产MFC控制进气系统（Ar），流量分别为50SCCM。 7. 系统配有1台数字式考夫曼离子源电源。 | ||
| 质保及售后服务 | 1、供应商投标时必须提供所报设备的品牌和型号（品牌和型号均需提供），如不填写视为不满足；2、所有设备要求免费送货上门、免费安装调试、保修期内免费上门保修；3、设备必须原厂包装，必须当用户面拆封；4、原则上不接受物流和快递送货。如采用物流和快递送货的必须在报价说明中注明，申购用户认可的，方可成交；5、其他按行业标准提供服务； | ||
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 2 | 离子束刻蚀机 | 1.0 | 台*.0 |
| 品牌 | 麦科诺科技 | ||
| 型号 | IBE400 | ||
| 规格参数 | 溅射室极限真空度：≤6.6x10-5Pa (经烘烤除气后)；真空获得采用FF160/600分子泵和优质机械泵（9L/S）+CF150气动插班阀，此配置具有抽速快，可获得高真空环境，提供薄膜的洁净度。 系统真空检漏漏率：≤5.0x10-7Pa.l/S； 系统从大气开始抽气：溅射室30分钟可达到5.0x10-3 Pa； 系统停泵关机12小时后真空度：≤5Pa 3. 刻蚀室中配有1套80mm考夫曼离子源。 4. 样品台布置在真空室下部，可放置最大Ф150mm样品1片。 5. 真空测量采用国产复合真空计进行测量。 6. 系 (略) 国产MFC控制进气系统（Ar），流量分别为50SCCM。 7. 系统配有1台数字式考夫曼离子源电源。 | ||
| 质保及售后服务 | 1、供应商投标时必须提供所报设备的品牌和型号（品牌和型号均需提供），如不填写视为不满足；2、所有设备要求免费送货上门、免费安装调试、保修期内免费上门保修；3、设备必须原厂包装，必须当用户面拆封；4、原则上不接受物流和快递送货。如采用物流和快递送货的必须在报价说明中注明，申购用户认可的，方可成交；5、其他按行业标准提供服务； | ||
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