快速退火炉

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快速退火炉

基本信息

项目编号中大招(货)[2022]723号
项目名称中山大学电子与 (略) ( (略) )快速退火炉采购项目
项目类型货物采购申购主题快速退火炉采购单位中山大学
项目预算采购开始时间2022-11-09 19:06采购结束时间2022-11-15 09:00是否送货
期望收货时间合同签订后42天交货经办人刘老师经办人电话*
送货地址 (略) 番禺 (略) 132号中山大学东校区纳米楼
电子签章本项目需要使用CA签字CA操作手册下载
备注1、本项目国内货物部分:含税人民币报价的付款方式按“ 中山大学国内采购合同(通用货物类)-适用于设备改造专项”的“4.付款及结算方式 4.1.3 分期结算(适用于货物总金额在学校分散采购限额标准以上)”;境外供货部分:付款方式按《中山大学进口货物采购合同》的“1.3付款方式 (2)通过 (略) 上竞价系统以外方式采购的进口货物”,加征关税及进口代理费用由*方支付。 (略) 必须有境外人民币收款账户。2、进口货物中如有国内供货部分,供应商在报价时应分别报价,境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条,并分别签订进口货物购销协议和国内采购合同。3、本项目学校不收取任何费用。4、本项目采用数字证书,请供应商根据指引 http://**)提前办理CA证书。5、技术参数中标注有“★”号的条款必须实质性响应,负偏离(不满足要求)将导致报价无效。

设备列表

采购设备数量参考品牌详细响应要求
快速退火炉1台详情请进入系统查看
"快速退火炉"技术要求
序号技术要求内容评分等级是否需要附件说明
1 设备最大工艺片尺寸:≤6寸晶圆 重要
2 ★典型工艺温度范围:300度-1150度 非常重要
3 升温速率:硅衬底10-100度/秒(可编程),降温速率:硅衬底 10-100度/秒(不可编程) 重要
4 温度控制重复性:≤±1℃(在温度为1150℃,测量5片) 非常重要
5 温度测量计包括高温计和热电偶的精确度:±1℃(100度-1150度) 非常重要
6 温度控制均匀性:≤5% 通过5点RS测量 非常重要
7 不能有过冲和下冲的现象,温度过冲和下冲:≤±1℃ 重要
8 加热源由成排的上下钨卤素灯组成,采用保护气氛的可拆洗的独立石英腔体 重要
9 闭环温度控制系统,需要6个以上(包括)温度控制区,灵活地调整均匀度 非常重要
10 气路控制系统, (略) 工艺气体和MFC控制。 重要
11 测温系统: 专业K型热电偶测温和双红外线感应器的测温 重要
12 系统故障诊断,有可拆洗的晶圆承载,金属腔体内部所有面需要镀“金”金属层 重要
13 包含配置:1、设备本体:1台2、热电偶:5根3、用于高温计校正需要的冷却机: 1台4、用于高温计校正需要的单点热电偶晶圆测温工具 :1个5、用于高温计校正需要的温度读数器:1台 重要
14 售后服务范围:1.提供一年的非消耗品的备件2.*方保证本合同项下的货物在按说明书正确安装、正常使用和维修的情况下,自合同货物验收合格之日起提供≥1年的包含配件和售后服务的技术保修售后服务要求:1.卖方提供终身免费设备软件升级更新、设备技术咨询和技术支持。卖方需对买方开放相关软件协议,不得对设备及软件进行加密绑定。2.保修期内的维护保养 需有至少1名资深维修工程师,提供7 X 24小时设备维护工作。3.若设备发生故障,卖方在接到买方的设备故障通知后,1小时内做出反应,48小时内赶到现场,24小时复机完成。4.在设备保修期内,若买方技术人员对设备有其它使用技术上的要求,卖方应通过电话/传真等方式及时对技术人员提供所需的技术指导。 重要

基本信息

项目编号中大招(货)[2022]723号
项目名称中山大学电子与 (略) ( (略) )快速退火炉采购项目
项目类型货物采购申购主题快速退火炉采购单位中山大学
项目预算采购开始时间2022-11-09 19:06采购结束时间2022-11-15 09:00是否送货
期望收货时间合同签订后42天交货经办人刘老师经办人电话*
送货地址 (略) 番禺 (略) 132号中山大学东校区纳米楼
电子签章本项目需要使用CA签字CA操作手册下载
备注1、本项目国内货物部分:含税人民币报价的付款方式按“ 中山大学国内采购合同(通用货物类)-适用于设备改造专项”的“4.付款及结算方式 4.1.3 分期结算(适用于货物总金额在学校分散采购限额标准以上)”;境外供货部分:付款方式按《中山大学进口货物采购合同》的“1.3付款方式 (2)通过 (略) 上竞价系统以外方式采购的进口货物”,加征关税及进口代理费用由*方支付。 (略) 必须有境外人民币收款账户。2、进口货物中如有国内供货部分,供应商在报价时应分别报价,境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条,并分别签订进口货物购销协议和国内采购合同。3、本项目学校不收取任何费用。4、本项目采用数字证书,请供应商根据指引 http://**)提前办理CA证书。5、技术参数中标注有“★”号的条款必须实质性响应,负偏离(不满足要求)将导致报价无效。

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采购设备数量参考品牌详细响应要求
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"快速退火炉"技术要求
序号技术要求内容评分等级是否需要附件说明
1 设备最大工艺片尺寸:≤6寸晶圆 重要
2 ★典型工艺温度范围:300度-1150度 非常重要
3 升温速率:硅衬底10-100度/秒(可编程),降温速率:硅衬底 10-100度/秒(不可编程) 重要
4 温度控制重复性:≤±1℃(在温度为1150℃,测量5片) 非常重要
5 温度测量计包括高温计和热电偶的精确度:±1℃(100度-1150度) 非常重要
6 温度控制均匀性:≤5% 通过5点RS测量 非常重要
7 不能有过冲和下冲的现象,温度过冲和下冲:≤±1℃ 重要
8 加热源由成排的上下钨卤素灯组成,采用保护气氛的可拆洗的独立石英腔体 重要
9 闭环温度控制系统,需要6个以上(包括)温度控制区,灵活地调整均匀度 非常重要
10 气路控制系统, (略) 工艺气体和MFC控制。 重要
11 测温系统: 专业K型热电偶测温和双红外线感应器的测温 重要
12 系统故障诊断,有可拆洗的晶圆承载,金属腔体内部所有面需要镀“金”金属层 重要
13 包含配置:1、设备本体:1台2、热电偶:5根3、用于高温计校正需要的冷却机: 1台4、用于高温计校正需要的单点热电偶晶圆测温工具 :1个5、用于高温计校正需要的温度读数器:1台 重要
14 售后服务范围:1.提供一年的非消耗品的备件2.*方保证本合同项下的货物在按说明书正确安装、正常使用和维修的情况下,自合同货物验收合格之日起提供≥1年的包含配件和售后服务的技术保修售后服务要求:1.卖方提供终身免费设备软件升级更新、设备技术咨询和技术支持。卖方需对买方开放相关软件协议,不得对设备及软件进行加密绑定。2.保修期内的维护保养 需有至少1名资深维修工程师,提供7 X 24小时设备维护工作。3.若设备发生故障,卖方在接到买方的设备故障通知后,1小时内做出反应,48小时内赶到现场,24小时复机完成。4.在设备保修期内,若买方技术人员对设备有其它使用技术上的要求,卖方应通过电话/传真等方式及时对技术人员提供所需的技术指导。 重要

    
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