采购项目

微波辅助电源

采购项目

负责人

刘金龙

拟采购货物或服务的

详细说明

为满足课题任务要求，拟购置1台功率6kW、频率2.45GHz的微波辅助电源，用于大功率微波等离子体的辅助激活，满足大尺寸、高热导率金刚石膜的制备。微波辅助电源的基本要求为：电源为开关电源，功率6kW，波动率小于1%，效率>97%，30天24小时不停机连续工作。

单一来源

采购原因

及

相关说明

大功率微波等离子体CVD系统是生长大尺寸高质量金刚石的主要手段，要想获得高质量金刚石生长就必须保证高功率密度等离子体环境。大尺寸高质量金刚石生长速度缓慢，一般只有数个微米，要满足CVD金刚石实际应用获得大厚度金刚石就必须连续不间断稳定生长数百小时。这不仅要求稳定的工艺，同时也必须有一个能够长时间稳定输入的等离子体产生系统。微波等离子体CVD系统的稳定性决定于腔体的设计和微波等离子体发生器系统的输入稳定。微波频率与功率的波动均会造成金刚石外延生长环境中扰动，从而在晶体外延中形成缺陷。

针对大功率微波化学气相沉积装置，通常除本身75kW电源工作外，为实现更佳稳定的性能，还需要配置辅助活化电源。 (略) 场调研，提出微波辅助电源设备指标要求：功率6kW，频率2450MHZ +/- 20MHz；波动率<1%，效率>97%；30天24小时不停机连续工作；磁控管寿命：≥4000小时。

对比国内外相关厂家，国内单位生产的微波发生器均存在高功率下频率波动大、无法满足长时工作等问题。国外厂家, (略) (略) 场占有率低，。德国Muegge电源目前是国内用户最多的电源,每年约有200台左右，市场占有率高，其工作稳定性好，寿命长，应用相对成熟。

德国Muegge (略) 场可以满足功率6kW，频率：2450MHZ +/- 20MHz，波动率<1%，效率>97%，30天24小时不停机连续工作，磁控管寿命：≥4000小时技术指标要求的产品。

北京杰 (略) 是德国Muegge电源的国内唯一代理商。

拟成交

供应商

名称：

北京杰 (略)

地址：

(略) 房山区 (略) 绿地启航社14号楼1705

公示期限

2022年11月15 日 至2022年11月19日（不少于5个日历日）

招采中心

联系方式

联系地址： (略) (略) 路30号北京科技大学招标与采购管理中心货物与服务采购科（办公楼106室）

联 系 人：秦老师

联系电话：010-*

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微波辅助电源

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负责人

刘金龙

拟采购货物或服务的

详细说明

为满足课题任务要求，拟购置1台功率6kW、频率2.45GHz的微波辅助电源，用于大功率微波等离子体的辅助激活，满足大尺寸、高热导率金刚石膜的制备。微波辅助电源的基本要求为：电源为开关电源，功率6kW，波动率小于1%，效率>97%，30天24小时不停机连续工作。

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及

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大功率微波等离子体CVD系统是生长大尺寸高质量金刚石的主要手段，要想获得高质量金刚石生长就必须保证高功率密度等离子体环境。大尺寸高质量金刚石生长速度缓慢，一般只有数个微米，要满足CVD金刚石实际应用获得大厚度金刚石就必须连续不间断稳定生长数百小时。这不仅要求稳定的工艺，同时也必须有一个能够长时间稳定输入的等离子体产生系统。微波等离子体CVD系统的稳定性决定于腔体的设计和微波等离子体发生器系统的输入稳定。微波频率与功率的波动均会造成金刚石外延生长环境中扰动，从而在晶体外延中形成缺陷。

针对大功率微波化学气相沉积装置，通常除本身75kW电源工作外，为实现更佳稳定的性能，还需要配置辅助活化电源。 (略) 场调研，提出微波辅助电源设备指标要求：功率6kW，频率2450MHZ +/- 20MHz；波动率<1%，效率>97%；30天24小时不停机连续工作；磁控管寿命：≥4000小时。

对比国内外相关厂家，国内单位生产的微波发生器均存在高功率下频率波动大、无法满足长时工作等问题。国外厂家, (略) (略) 场占有率低，。德国Muegge电源目前是国内用户最多的电源,每年约有200台左右，市场占有率高，其工作稳定性好，寿命长，应用相对成熟。

德国Muegge (略) 场可以满足功率6kW，频率：2450MHZ +/- 20MHz，波动率<1%，效率>97%，30天24小时不停机连续工作，磁控管寿命：≥4000小时技术指标要求的产品。

北京杰 (略) 是德国Muegge电源的国内唯一代理商。

拟成交

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北京杰 (略)

地址：

(略) 房山区 (略) 绿地启航社14号楼1705

公示期限

2022年11月15 日 至2022年11月19日（不少于5个日历日）

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联系地址： (略) (略) 路30号北京科技大学招标与采购管理中心货物与服务采购科（办公楼106室）

联 系 人：秦老师

联系电话：010-*