西南交通大学-竞价公告(CB106132022000345)
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西南交通大学-竞价公告(CB106132022000345)
申购单号:CB*
申购主题:反应离子刻蚀机
采购单位:西南交通大学
报价要求:
发票类型:增值税普通发票
币种:人民币
预算:
签约时间:发布中标结果后7天内签约合同
送货时间:合同签订后90天内
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址: (略) / (略) /金牛区/点击查看>>*
付款方式:货到经验收合格后付款
备注说明:WSJJ-2022-142申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 反应离子刻蚀机 | 1.0 | 台 |
| 品牌 | 创世威纳 | ||
| 型号 | DISC-RIE-601 | ||
| 规格参数 | 1.设备主要技术指标★1.1腔体尺寸：Φ300mm*H300mm，经氧化处理的铝质桶形卧式结构，上盖自动开闭。1.2极限真空度：≤2*10-4Pa。1.3静态升压：系统停泵关机12小时后，真空度≤5Pa。1.4系统经清洗充干燥N2解除真空，短时暴露大气后抽气抽至5*10-3Pa时间小于20 min，至9*10-4Pa≤40 min。1.5射频阴极尺寸：Φ200mm。1.6刻蚀均匀性：≤±5%（Φ6英寸）1.7主要工艺气体配置：SF6、CHF3、CF4、O2、Ar、N2（视具体刻蚀工艺）。★1.8电源配置：13.56MHz，600W，自动匹配★1.9刻蚀距离自动调节范围：60mm-120mm，调节精度：1mm。1.10水冷工作台温度：<15℃。1.11控制方式：基于PLC及工控机的全自动、半自动控制方式，包含安全报警系统。2. 主要配置2.1真空刻蚀腔体、样品架系统、一体机架、辅助设施1套3.2复合分子泵1台，抽速600L/s2.3真空泵1台，抽速8L/s2.4超高真空电动调节插板阀1台，Φ150mm2.5真空测量真空计1套2.6自动压力控制系统1套，含薄膜真空计2.7射频电源及自动匹配器：600W2.8质量流量控制器：6台2.9工艺气路：6路，SF6、CHF3、CF4、O2、Ar、N22.10可调距离射频阴极及射频引入器1套2.11自动控制系统1套，包含PLC及模块、工控机、显示器。2.12空气压缩机：1台2.13刻蚀台冷却水机：1台2.14系统冷却循环随机：1台 | ||
| 质保及售后服务 | 1、按行业标准提供产品和服务；2、是否要求本地有售后服务网点：（B） A.是B.否 “本地”指采 (略) 级行政区域；有售后服务网点的证明材料包括： (略) 营业执照，当地某公司营 (略) (略) 之间签订的有效合作协议。本地供应商无需上传证明文件；外地供应商需上传当地服务网点证明文件压缩包。3. 设备免费质保期：整机质保1年4. 维修响应时间：修期内，接到报修电话后，4小时内做出维修方案决定并提出解决方案。如8小时内无法电话解决问题，维修人员在2个工作日内到达现场（含节假日），并在2个工作日（含节假日）内解决问题或提出明确解决方案。 | ||
申购单号:CB*
申购主题:反应离子刻蚀机
采购单位:西南交通大学
报价要求:
发票类型:增值税普通发票
币种:人民币
预算:
签约时间:发布中标结果后7天内签约合同
送货时间:合同签订后90天内
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址: (略) / (略) /金牛区/点击查看>>*
付款方式:货到经验收合格后付款
备注说明:WSJJ-2022-142申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 反应离子刻蚀机 | 1.0 | 台 |
| 品牌 | 创世威纳 | ||
| 型号 | DISC-RIE-601 | ||
| 规格参数 | 1.设备主要技术指标★1.1腔体尺寸：Φ300mm*H300mm，经氧化处理的铝质桶形卧式结构，上盖自动开闭。1.2极限真空度：≤2*10-4Pa。1.3静态升压：系统停泵关机12小时后，真空度≤5Pa。1.4系统经清洗充干燥N2解除真空，短时暴露大气后抽气抽至5*10-3Pa时间小于20 min，至9*10-4Pa≤40 min。1.5射频阴极尺寸：Φ200mm。1.6刻蚀均匀性：≤±5%（Φ6英寸）1.7主要工艺气体配置：SF6、CHF3、CF4、O2、Ar、N2（视具体刻蚀工艺）。★1.8电源配置：13.56MHz，600W，自动匹配★1.9刻蚀距离自动调节范围：60mm-120mm，调节精度：1mm。1.10水冷工作台温度：<15℃。1.11控制方式：基于PLC及工控机的全自动、半自动控制方式，包含安全报警系统。2. 主要配置2.1真空刻蚀腔体、样品架系统、一体机架、辅助设施1套3.2复合分子泵1台，抽速600L/s2.3真空泵1台，抽速8L/s2.4超高真空电动调节插板阀1台，Φ150mm2.5真空测量真空计1套2.6自动压力控制系统1套，含薄膜真空计2.7射频电源及自动匹配器：600W2.8质量流量控制器：6台2.9工艺气路：6路，SF6、CHF3、CF4、O2、Ar、N22.10可调距离射频阴极及射频引入器1套2.11自动控制系统1套，包含PLC及模块、工控机、显示器。2.12空气压缩机：1台2.13刻蚀台冷却水机：1台2.14系统冷却循环随机：1台 | ||
| 质保及售后服务 | 1、按行业标准提供产品和服务；2、是否要求本地有售后服务网点：（B） A.是B.否 “本地”指采 (略) 级行政区域；有售后服务网点的证明材料包括： (略) 营业执照，当地某公司营 (略) (略) 之间签订的有效合作协议。本地供应商无需上传证明文件；外地供应商需上传当地服务网点证明文件压缩包。3. 设备免费质保期：整机质保1年4. 维修响应时间：修期内，接到报修电话后，4小时内做出维修方案决定并提出解决方案。如8小时内无法电话解决问题，维修人员在2个工作日内到达现场（含节假日），并在2个工作日（含节假日）内解决问题或提出明确解决方案。 | ||
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