超高精度纳米压印系统

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超高精度纳米压印系统

基本信息

项目编号中大招（货）[2022]1385号
项目名称中山 (略) 超高精度纳米压印系统采购项目
项目类型货物采购申购主题超高精度纳米压印系统采购单位中山大学
项目预算采购开始时间** 20:51采购结束时间** 09:00是否送货是
期望收货时间合同签订后30天交货经办人卢老师经办人电话020-*-803
送货地址 (略) 海珠区新港西路135号中山 (略)
电子签章本项目需要使用CA签字CA操作手册下载
备注1、本项目国内货物部分：含税人民币报价的付款方式按“ 中山大学国内采购合同（通用货物类）-适用于设备改造专项”的“4.付款及结算方式 4.1.3 分期结算（适用于货物总金额在学校分散采购限额标准以上）”；境外供货部分：付款方式按《中山大学进口货物采购合同》的“1.3付款方式 （2）通过中山大学网上竞价系统以外方式采购的进口货物”，加征关税及进口代理费用由*方支付。 (略) 必须有境外人民币收款账户。 2、进口货物中如有国内供货部分，供应商在报价时应分别报价，境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物购销协议和国内采购合同。 3、本项目学校不收取任何费用。 4、本项目采用数字证书，请供应商根据指引 http://**）提前办理CA证书。 5、技术参数中标注有“★”号的条款必须实质性响应，负偏离（不满足要求）将导致报价无效。

设备列表

采购设备数量参考品牌详细响应要求
超高精度纳米压印系统1套详情请进入系统查看
"超高精度纳米压印系统"技术要求
序号技术要求内容评分等级是否需要附件说明
1 该设备用于纳米压印工艺过程，可实现高精度纳米结构复制，包含工作模具复制和纳米压印功能； 重要 否
2 ▲1.2 可实现100mm、2英寸晶圆的压印工艺； 非常重要 否
3 ▲手动上下料，在设备内可实现工作模具自动复制，自动纳米压印及脱模，压印结构完整； 非常重要 否
4 母版材质可为硅片、石英、玻璃、金属或者聚合物，尺寸兼容100mm、2英寸圆形模具，厚度范围0.1mm-5mm。 重要 否
5 ★压印精度≤50纳米； 非常重要 是
6 ★结构深宽比≥7.5:1 非常重要 是
7 ▲ 压印残余层≤20纳米； 非常重要 否
8 ▲结构转印精度：压印结构与原始模具对比优于±5%，不包含材料收缩因素，转印结构精度误差＜±5%。（通过选取压印片中9个点位，测量点位中相同的结构与原始模具结构比较差异最大不超过5%） 非常重要 否
9 基底托盘采用铝合金材质，表面精密研磨加阳极氧化处理，对晶元吸附面无划伤，不同尺寸基底边缘有溢胶槽用于接收溢胶。 重要 否
10 基底加热单元温度范围：室温~70℃，设置精度±1℃； 重要 否
11 面板热均匀值≤±3%（面板热均匀性:在面板有效区域上随机选取 15 个测温点，测算出温度均匀性，公式如下：±（最大值-最小值）/平均值/2100%））。 重要 否
12 365nm LED紫外曝光固化系统，曝光面积大于100mm直径； 重要 否
13 光强范围：最大光强300mW／cm2 ，曝光强度可调，内置UV能量计读取实际辐射强度 重要 否
14 曝光均匀性：100mW~300mW/cm范围内优于80%，计算公式：（1-（测量最大值-测量最小值）/（测量最大值+测量最小值））%。 重要 否
15 聚*烯材质及配备单口以及纯水水龙头。 重要 否
16 1、PLC逻辑控制，自动运行 重要 否

基本信息

项目编号中大招（货）[2022]1385号
项目名称中山 (略) 超高精度纳米压印系统采购项目
项目类型货物采购申购主题超高精度纳米压印系统采购单位中山大学
项目预算采购开始时间** 20:51采购结束时间** 09:00是否送货是
期望收货时间合同签订后30天交货经办人卢老师经办人电话020-*-803
送货地址 (略) 海珠区新港西路135号中山 (略)
电子签章本项目需要使用CA签字CA操作手册下载
备注1、本项目国内货物部分：含税人民币报价的付款方式按“ 中山大学国内采购合同（通用货物类）-适用于设备改造专项”的“4.付款及结算方式 4.1.3 分期结算（适用于货物总金额在学校分散采购限额标准以上）”；境外供货部分：付款方式按《中山大学进口货物采购合同》的“1.3付款方式 （2）通过中山大学网上竞价系统以外方式采购的进口货物”，加征关税及进口代理费用由*方支付。 (略) 必须有境外人民币收款账户。 2、进口货物中如有国内供货部分，供应商在报价时应分别报价，境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物购销协议和国内采购合同。 3、本项目学校不收取任何费用。 4、本项目采用数字证书，请供应商根据指引 http://**）提前办理CA证书。 5、技术参数中标注有“★”号的条款必须实质性响应，负偏离（不满足要求）将导致报价无效。

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"超高精度纳米压印系统"技术要求
序号技术要求内容评分等级是否需要附件说明
1 该设备用于纳米压印工艺过程，可实现高精度纳米结构复制，包含工作模具复制和纳米压印功能； 重要 否
2 ▲1.2 可实现100mm、2英寸晶圆的压印工艺； 非常重要 否
3 ▲手动上下料，在设备内可实现工作模具自动复制，自动纳米压印及脱模，压印结构完整； 非常重要 否
4 母版材质可为硅片、石英、玻璃、金属或者聚合物，尺寸兼容100mm、2英寸圆形模具，厚度范围0.1mm-5mm。 重要 否
5 ★压印精度≤50纳米； 非常重要 是
6 ★结构深宽比≥7.5:1 非常重要 是
7 ▲ 压印残余层≤20纳米； 非常重要 否
8 ▲结构转印精度：压印结构与原始模具对比优于±5%，不包含材料收缩因素，转印结构精度误差＜±5%。（通过选取压印片中9个点位，测量点位中相同的结构与原始模具结构比较差异最大不超过5%） 非常重要 否
9 基底托盘采用铝合金材质，表面精密研磨加阳极氧化处理，对晶元吸附面无划伤，不同尺寸基底边缘有溢胶槽用于接收溢胶。 重要 否
10 基底加热单元温度范围：室温~70℃，设置精度±1℃； 重要 否
11 面板热均匀值≤±3%（面板热均匀性:在面板有效区域上随机选取 15 个测温点，测算出温度均匀性，公式如下：±（最大值-最小值）/平均值/2100%））。 重要 否
12 365nm LED紫外曝光固化系统，曝光面积大于100mm直径； 重要 否
13 光强范围：最大光强300mW／cm2 ，曝光强度可调，内置UV能量计读取实际辐射强度 重要 否
14 曝光均匀性：100mW~300mW/cm范围内优于80%，计算公式：（1-（测量最大值-测量最小值）/（测量最大值+测量最小值））%。 重要 否
15 聚*烯材质及配备单口以及纯水水龙头。 重要 否
16 1、PLC逻辑控制，自动运行 重要 否

    
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