快速退火炉

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快速退火炉

基本信息

项目编号中大招(货)[2022]1707号
项目名称中山大学 (略) 快速退火炉采购项目
项目类型货物采购申购主题快速退火炉采购单位中山大学
项目预算采购开始时间** 23:52采购结束时间** 12:00是否送货
期望收货时间合同签订后180天交货经办人王老师经办人电话*-808
送货地址 (略) 光明新区公常路66号中山大学深圳校区理学园
电子签章本项目需要使用CA签字CA操作手册下载
备注1、本项目国内货物部分:含税人民币报价的付款方式按“ 中山大学国内采购合同(通用货物类)-适用于设备改造专项”的“4.付款及结算方式 4.1.3 分期结算(适用于货物总金额在学校分散采购限额标准以上)”;境外供货部分:付款方式按《中山大学进口货物采购合同》的“1.3付款方式 (2)通过中山大学网上竞价系统以外方式采购的进口货物”,加征关税及进口代理费用由*方支付。 (略) 必须有境外人民币收款账户。2、进口货物中如有国内供货部分,供应商在报价时应分别报价,境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条,并分别签订进口货物购销协议和国内采购合同。3、本项目学校不收取任何费用。4、本项目采用数字证书,请供应商根据指引 http://**)提前办理CA证书。5、“★”标注的技术参数为废标条款,如响应为负偏离将作为非实质性响应处理。

设备列表

采购设备数量参考品牌详细响应要求
快速退火炉1台详情请进入系统查看
"快速退火炉"技术要求
序号技术要求内容评分等级是否需要附件说明
1 ★温度范围:RT~1250℃ 非常重要
2 温控方式/精度:定点控温精度≤±1℃ 重要
3 最大升温速率:≥100 ℃/s,最大降温速率 :≥600℃/min 重要
4 ★温度均匀性:≤1.5%,出具TC-wafer验证报告及数据图谱 非常重要
5 ★重复性:相同工艺下同一晶圆的位置,温差不超过2℃;出具TC-wafer重复性报告及图谱,至少5个位置 非常重要
6 原位测量:动态法原位测量泽贝克系数并提供相关数据图(提供动态法相关证明材料) 非常重要
7 退火效果检测模块:配备独立的检测系统,对样品退火前后均匀性提供检测依据 重要
8 功能拓展:测试薄膜材料的相变温度、尺寸效应、结晶动力学和热膨胀系数等(提供相关证明材料) 重要
9 安全模块:三重安全模块保障操作人员和设备安全(提供详细证明文件) 重要
10 至少支持真空、少量氧气、惰性气体的工艺气氛,最多支持≥4路气体(MFC自动控制) 非常重要
11 样品尺寸:最大样品尺寸≥8英寸(Φ200mm) ;可定制石墨(镀碳化硅)、石英托盘 重要
12 额定功率≥72 KW~380 V 重要
13 电流监测保护:电流异常保护,监测每根灯管电流;超出设定值时,设备停止加热并报警 重要
14 极限真空度:≤1E-3Pa(分子泵) 重要
15 温度分区控制:提供≥10个温度控制区,每个区域可根据不同温度调整系数,以保证温度均匀性 非常重要
16 洁净腔室:非电阻炉加热,无绝热保温材料 重要
17 处理尾气可通过回收口回收,无有毒有害气体溢出问题 重要
18 温度传感器:标准K型热电偶,数目≥1套 重要
19 全自动程序控制,控制内容至少包括:真空、气体流量、通气时间、冷却。能自动化运行和获取数据,计算机软件调控测试参数,可实时显示运行数据,处理完后可查看数据记录。配置工艺专用软件,工艺配方可保存及调用 重要
20 配置清单:1.快速退火炉1台 ;2.真空维持系统1套 ;3.冷却系统1套 ;4.电源1套 ;5.热电偶1套 ;6.说明书1套 重要

基本信息

项目编号中大招(货)[2022]1707号
项目名称中山大学 (略) 快速退火炉采购项目
项目类型货物采购申购主题快速退火炉采购单位中山大学
项目预算采购开始时间** 23:52采购结束时间** 12:00是否送货
期望收货时间合同签订后180天交货经办人王老师经办人电话*-808
送货地址 (略) 光明新区公常路66号中山大学深圳校区理学园
电子签章本项目需要使用CA签字CA操作手册下载
备注1、本项目国内货物部分:含税人民币报价的付款方式按“ 中山大学国内采购合同(通用货物类)-适用于设备改造专项”的“4.付款及结算方式 4.1.3 分期结算(适用于货物总金额在学校分散采购限额标准以上)”;境外供货部分:付款方式按《中山大学进口货物采购合同》的“1.3付款方式 (2)通过中山大学网上竞价系统以外方式采购的进口货物”,加征关税及进口代理费用由*方支付。 (略) 必须有境外人民币收款账户。2、进口货物中如有国内供货部分,供应商在报价时应分别报价,境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条,并分别签订进口货物购销协议和国内采购合同。3、本项目学校不收取任何费用。4、本项目采用数字证书,请供应商根据指引 http://**)提前办理CA证书。5、“★”标注的技术参数为废标条款,如响应为负偏离将作为非实质性响应处理。

设备列表

采购设备数量参考品牌详细响应要求
快速退火炉1台详情请进入系统查看
"快速退火炉"技术要求
序号技术要求内容评分等级是否需要附件说明
1 ★温度范围:RT~1250℃ 非常重要
2 温控方式/精度:定点控温精度≤±1℃ 重要
3 最大升温速率:≥100 ℃/s,最大降温速率 :≥600℃/min 重要
4 ★温度均匀性:≤1.5%,出具TC-wafer验证报告及数据图谱 非常重要
5 ★重复性:相同工艺下同一晶圆的位置,温差不超过2℃;出具TC-wafer重复性报告及图谱,至少5个位置 非常重要
6 原位测量:动态法原位测量泽贝克系数并提供相关数据图(提供动态法相关证明材料) 非常重要
7 退火效果检测模块:配备独立的检测系统,对样品退火前后均匀性提供检测依据 重要
8 功能拓展:测试薄膜材料的相变温度、尺寸效应、结晶动力学和热膨胀系数等(提供相关证明材料) 重要
9 安全模块:三重安全模块保障操作人员和设备安全(提供详细证明文件) 重要
10 至少支持真空、少量氧气、惰性气体的工艺气氛,最多支持≥4路气体(MFC自动控制) 非常重要
11 样品尺寸:最大样品尺寸≥8英寸(Φ200mm) ;可定制石墨(镀碳化硅)、石英托盘 重要
12 额定功率≥72 KW~380 V 重要
13 电流监测保护:电流异常保护,监测每根灯管电流;超出设定值时,设备停止加热并报警 重要
14 极限真空度:≤1E-3Pa(分子泵) 重要
15 温度分区控制:提供≥10个温度控制区,每个区域可根据不同温度调整系数,以保证温度均匀性 非常重要
16 洁净腔室:非电阻炉加热,无绝热保温材料 重要
17 处理尾气可通过回收口回收,无有毒有害气体溢出问题 重要
18 温度传感器:标准K型热电偶,数目≥1套 重要
19 全自动程序控制,控制内容至少包括:真空、气体流量、通气时间、冷却。能自动化运行和获取数据,计算机软件调控测试参数,可实时显示运行数据,处理完后可查看数据记录。配置工艺专用软件,工艺配方可保存及调用 重要
20 配置清单:1.快速退火炉1台 ;2.真空维持系统1套 ;3.冷却系统1套 ;4.电源1套 ;5.热电偶1套 ;6.说明书1套 重要

    
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