天津大学-竞价公告(CB100562022001370)
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天津大学-竞价公告(CB100562022001370)
申购单号:CB*
申购主题:矩形靶磁控溅射系统
采购单位:天津大学
报价要求:
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间:合同签订后7天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址: (略) /点击查看>>*
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 矩形靶磁控溅射系统 | 1.0 | |
| 品牌 | 沈阳科仪 | ||
| 型号 | JGP800 | ||
| 规格参数 | 1、磁控溅射系统，靶材尺寸：400x80mm；靶材厚6mm. （非铁钴镍材料），永磁靶,射频溅射与直流溅射兼容，靶内水冷，配置靶挡板组件，磁控靶与基片的距离约80mm。 2、基片往复摆台1套，基片尺寸和数量：可放置250x300mm基片1片，真空室里面有一台样品小车，小车可以在真空室的轨道上带着样品一起往复运动，小车通过链轮链条驱动下运动，运动速度可调，最快速度为1.5米/分钟，基片可加热，加热温度400℃（固定加热工位，不随小车移动），采用进口控温表进行温度控制，控温精度±1℃。 3、100SCCM、200SCCM质量流量控制器（北京）、Dg16电动截止阀、管路、接头等共2路；经过混气室，由Dg16气动进气阀往真空室内充入工作气体。 4、Dg16手动放气阀、管路、接头等：1路（解除真空充入氮气）。 5、安装机台架组件1套，优质方钢型材焊接成，快卸围板表面喷塑处理；机台表面用不锈钢蒙皮装饰；四个脚轮，可固定，可移动。 6、系统配有水路系统，用来对分子泵、真空室、磁控靶等进行冷却，在水路上安装有水流继电器，一旦缺水或水压不足，将进行报警并切断相应电源，以防止损坏设备。 7、1500W全自动匹配射频电源1台，功率稳定度≤±0.5%，输出频率13.56MHz，频率信号为标准正弦波，输出阻抗50欧姆，承受驻波比＞3.0，通讯口RS232\RS485\标准Modebus。 8、2000W直流溅射电源1台，输入电压AC180-240V，50Hz，输出电压 : 0 - 800 V，数字通讯: RS485，标准Modbus协议，针对磁控溅射和偏压电源专门设计，功率、电压、电流三种控制方式任选，具有抗打火和灭弧设计。 9、进口薄膜规1台，使用温度0～50℃，零点压力温度影响测量误差为满量程的0.002%,显示压力温度影响测量误差为压力显示示数的0.005%。 | ||
| 质保及售后服务 | 按行业标准提供服务（提供本地化安装调试及售后服务） | ||
申购单号:CB*
申购主题:矩形靶磁控溅射系统
采购单位:天津大学
报价要求:
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间:合同签订后7天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址: (略) /点击查看>>*
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 矩形靶磁控溅射系统 | 1.0 | |
| 品牌 | 沈阳科仪 | ||
| 型号 | JGP800 | ||
| 规格参数 | 1、磁控溅射系统，靶材尺寸：400x80mm；靶材厚6mm. （非铁钴镍材料），永磁靶,射频溅射与直流溅射兼容，靶内水冷，配置靶挡板组件，磁控靶与基片的距离约80mm。 2、基片往复摆台1套，基片尺寸和数量：可放置250x300mm基片1片，真空室里面有一台样品小车，小车可以在真空室的轨道上带着样品一起往复运动，小车通过链轮链条驱动下运动，运动速度可调，最快速度为1.5米/分钟，基片可加热，加热温度400℃（固定加热工位，不随小车移动），采用进口控温表进行温度控制，控温精度±1℃。 3、100SCCM、200SCCM质量流量控制器（北京）、Dg16电动截止阀、管路、接头等共2路；经过混气室，由Dg16气动进气阀往真空室内充入工作气体。 4、Dg16手动放气阀、管路、接头等：1路（解除真空充入氮气）。 5、安装机台架组件1套，优质方钢型材焊接成，快卸围板表面喷塑处理；机台表面用不锈钢蒙皮装饰；四个脚轮，可固定，可移动。 6、系统配有水路系统，用来对分子泵、真空室、磁控靶等进行冷却，在水路上安装有水流继电器，一旦缺水或水压不足，将进行报警并切断相应电源，以防止损坏设备。 7、1500W全自动匹配射频电源1台，功率稳定度≤±0.5%，输出频率13.56MHz，频率信号为标准正弦波，输出阻抗50欧姆，承受驻波比＞3.0，通讯口RS232\RS485\标准Modebus。 8、2000W直流溅射电源1台，输入电压AC180-240V，50Hz，输出电压 : 0 - 800 V，数字通讯: RS485，标准Modbus协议，针对磁控溅射和偏压电源专门设计，功率、电压、电流三种控制方式任选，具有抗打火和灭弧设计。 9、进口薄膜规1台，使用温度0～50℃，零点压力温度影响测量误差为满量程的0.002%,显示压力温度影响测量误差为压力显示示数的0.005%。 | ||
| 质保及售后服务 | 按行业标准提供服务（提供本地化安装调试及售后服务） | ||
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