天津大学-竞价公告(CB100562022001449)
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天津大学-竞价公告(CB100562022001449)
申购单号:CB*
申购主题:高真空电阻蒸发镀膜设备
采购单位:天津大学
报价要求:
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间:合同签订后7天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址: (略) /市辖区/津南区/点击查看>>*
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:22DK*申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 高真空电阻蒸发镀膜设备 | 1.0 | |
| 品牌 | 无 | ||
| 型号 | VZZ-400 | ||
| 规格参数 | 型号：VZZ-400真空腔室：净空间尺寸不小于Φ400×H450mm，前门开度尺寸不小于400×450mm，前门观察窗玻璃尺寸不小于Φ95mm，配一套方便拆卸的防污隔板；腔室、法兰、管道、防污隔板等均采用304不锈钢材质；真空系统：主泵采用具有不低于4300m3/h抽吸能力的高性能分子泵，前级泵采用不低于30m3/h抽吸能力的直联双级旋片泵，需配备旁抽；真空极限：优于2.5×10-5Pa；抽速：抽至4.0×10-4Pa≤15min；基片台：根据客户要求定制的基片台和掩膜板，最大可处理基片不小于112*112mm方片，基片台配一体式全尺寸挡板，随设备提供一块掩膜板；基片台需要设计旋转，旋转速度0-25转/分连续可调；基片台和挡板均需要磁流体密封；蒸发源：不少于4组蒸发源，源间有隔板，源上有气动水平打开式挡板，高度可调，要求磁流体密封；各源均有水冷且独立，需采用陶瓷绝缘结构；蒸发电源：蒸发电源功率不小于2.2KW，电流显示精度0.1安培，具备粗调微调功能；蒸镀过程控制：采用膜厚监控仪在线监测蒸镀速率和膜厚，控制器膜厚仪速率显示精度优于±0.1ā/s，厚度显示精度±0.1ā，可自控膜厚；操控系统：PLC+触摸屏手自一体操控系统，真空系统的控制分为手动和自动二种模式，自动模式下，根据腔内压强自动执行相关泵，阀的启闭；可远程监控，软件使用期限：永久有效；辅件配置：冷却循环水机1台，制冷量不小于600w，控温±0.1℃；静音气泵1台，额定压力0.7MPa，最大流量115L/min；所需试验蒸镀材料高纯铝颗粒，纯度99.999%。 | ||
| 质保及售后服务 | 按行业标准提供服务（提供本地化安装调试及售后服务） | ||
申购单号:CB*
申购主题:高真空电阻蒸发镀膜设备
采购单位:天津大学
报价要求:
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间:合同签订后7天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址: (略) /市辖区/津南区/点击查看>>*
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:22DK*申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 高真空电阻蒸发镀膜设备 | 1.0 | |
| 品牌 | 无 | ||
| 型号 | VZZ-400 | ||
| 规格参数 | 型号：VZZ-400真空腔室：净空间尺寸不小于Φ400×H450mm，前门开度尺寸不小于400×450mm，前门观察窗玻璃尺寸不小于Φ95mm，配一套方便拆卸的防污隔板；腔室、法兰、管道、防污隔板等均采用304不锈钢材质；真空系统：主泵采用具有不低于4300m3/h抽吸能力的高性能分子泵，前级泵采用不低于30m3/h抽吸能力的直联双级旋片泵，需配备旁抽；真空极限：优于2.5×10-5Pa；抽速：抽至4.0×10-4Pa≤15min；基片台：根据客户要求定制的基片台和掩膜板，最大可处理基片不小于112*112mm方片，基片台配一体式全尺寸挡板，随设备提供一块掩膜板；基片台需要设计旋转，旋转速度0-25转/分连续可调；基片台和挡板均需要磁流体密封；蒸发源：不少于4组蒸发源，源间有隔板，源上有气动水平打开式挡板，高度可调，要求磁流体密封；各源均有水冷且独立，需采用陶瓷绝缘结构；蒸发电源：蒸发电源功率不小于2.2KW，电流显示精度0.1安培，具备粗调微调功能；蒸镀过程控制：采用膜厚监控仪在线监测蒸镀速率和膜厚，控制器膜厚仪速率显示精度优于±0.1ā/s，厚度显示精度±0.1ā，可自控膜厚；操控系统：PLC+触摸屏手自一体操控系统，真空系统的控制分为手动和自动二种模式，自动模式下，根据腔内压强自动执行相关泵，阀的启闭；可远程监控，软件使用期限：永久有效；辅件配置：冷却循环水机1台，制冷量不小于600w，控温±0.1℃；静音气泵1台，额定压力0.7MPa，最大流量115L/min；所需试验蒸镀材料高纯铝颗粒，纯度99.999%。 | ||
| 质保及售后服务 | 按行业标准提供服务（提供本地化安装调试及售后服务） | ||
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