天津大学-竞价公告(CB100562022001448)
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天津大学-竞价公告(CB100562022001448)
申购单号:CB*
申购主题:RIE反应离子刻蚀机
采购单位:天津大学
报价要求:
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间:合同签订后7天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址: (略) /市辖区/津南区/点击查看>>*
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:22DK*申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | RIE反应离子刻蚀机 | 1.0 | |
| 品牌 | 无 | ||
| 型号 | RIE200plus | ||
| 规格参数 | 型号：RIE200plusPLC工控机控制，7寸彩色触摸屏互动操作界面，图形化操作界面显示，自动监测工艺参数状态，0~99配方程序，可存储、输出、追溯工艺数据，机器运行、停止提示。手动、自动两种工作模式。全真空管路系统采用316不锈钢材质。采用防腐数字流量计控制，标配双路气体输送系统，可选多气路气体输送系统，可输入氧气、氩气、氮气、四氟化碳、氢气或混合气等气体。具备HEPA高效过滤气体返填吹扫功能。人体功能学的60度倾角操作界面设计，操作方便，界面友好。316不锈钢、航空铝真空仓选择。采用顶置真空仓，上开盖设计，下压式铰链开关方式。上置式360度水平取放样品设计。最大处理直径200mm晶元硅片。安全保护，仓门打开，自动关闭电源。舱体内尺寸：H38xΦ260mm。舱体容积：2L。射频电源：13.56MHz，射频功率10-300W无极可调。电极：不锈钢气浴RIE电极，Φ200mm。自动匹配器。RIE刻蚀方式。气体控制：质量流量计（MFC）（标配双路，可选多路）流量范围0-500SCCM（可调）。工艺气体选择：Ar、N?、O?、H?、CF4、CF4+ H2、CHF3或其他混合气体等（可选）。时间设定1-99分59秒。真空泵：Edwards爱德华真空泵 RV3双级旋片泵，抽速：8m3/h，极限真空≤1Pa。气体稳定时间：1分钟 | ||
| 质保及售后服务 | 按行业标准提供服务（提供本地化安装调试及售后服务） | ||
申购单号:CB*
申购主题:RIE反应离子刻蚀机
采购单位:天津大学
报价要求:
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间:合同签订后7天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址: (略) /市辖区/津南区/点击查看>>*
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:22DK*申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | RIE反应离子刻蚀机 | 1.0 | |
| 品牌 | 无 | ||
| 型号 | RIE200plus | ||
| 规格参数 | 型号：RIE200plusPLC工控机控制，7寸彩色触摸屏互动操作界面，图形化操作界面显示，自动监测工艺参数状态，0~99配方程序，可存储、输出、追溯工艺数据，机器运行、停止提示。手动、自动两种工作模式。全真空管路系统采用316不锈钢材质。采用防腐数字流量计控制，标配双路气体输送系统，可选多气路气体输送系统，可输入氧气、氩气、氮气、四氟化碳、氢气或混合气等气体。具备HEPA高效过滤气体返填吹扫功能。人体功能学的60度倾角操作界面设计，操作方便，界面友好。316不锈钢、航空铝真空仓选择。采用顶置真空仓，上开盖设计，下压式铰链开关方式。上置式360度水平取放样品设计。最大处理直径200mm晶元硅片。安全保护，仓门打开，自动关闭电源。舱体内尺寸：H38xΦ260mm。舱体容积：2L。射频电源：13.56MHz，射频功率10-300W无极可调。电极：不锈钢气浴RIE电极，Φ200mm。自动匹配器。RIE刻蚀方式。气体控制：质量流量计（MFC）（标配双路，可选多路）流量范围0-500SCCM（可调）。工艺气体选择：Ar、N?、O?、H?、CF4、CF4+ H2、CHF3或其他混合气体等（可选）。时间设定1-99分59秒。真空泵：Edwards爱德华真空泵 RV3双级旋片泵，抽速：8m3/h，极限真空≤1Pa。气体稳定时间：1分钟 | ||
| 质保及售后服务 | 按行业标准提供服务（提供本地化安装调试及售后服务） | ||
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