天津大学-竞价公告(CB100562022001419)
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天津大学-竞价公告(CB100562022001419)
申购单号:CB*
申购主题:紫外光刻机
采购单位:天津大学
报价要求:
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间:合同签订后7天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址: (略) /市辖区/津南区/点击查看>>*
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:22DK*申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 紫外光刻机 | 1.0 | |
| 品牌 | 无 | ||
| 型号 | URE-2000/35 | ||
| 规格参数 | 型号：URE-2000/35曝光面积: 4 英寸；曝光波长: 365nm；分辨力: 1um；对准精度: +0.8um掩模样片整体运动范围: X: 优于 15mm;Y:优于 15mm掩模尺寸:2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸(标准配置，其他尺寸可定做)样片尺寸: 直径 Φ15mm-- Φ100mm，厚度 0.1mm -6mm(最大可扩展为 15mm)曝光方式:定时(倒计时方式)具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能照明不均匀性: 3% (Φ100mm 范围)双目双视场对准显微镜或者光管物镜+CCD+显示器:既可通过目镜目视对准，也可通过CCD+显示器对准，光学合像，光学最大倍数 400 倍，光学+电子放大 800 倍。物镜三对:4倍、10 倍、20 倍；目镜三对: 10 倍、16 倍、20 倍调平接触压力通过传感器保证重复数字设定对准间隙和曝光间隙具备压印模块接口，也具备接近模块接口掩模相对于样片运动行程:X:优于±5mm; Y:优于±5mm;θ:优于±6°最大焦厚: 400um (SU8 胶，用户提供检测条件)；光源平行性:3°曝光能量密度:>35mW/cm2，照明面温度<35°单层曝光一键完成，采用球气浮自动找平，汞灯功率: 350W(直流，进口汞灯) | ||
| 质保及售后服务 | 按行业标准提供服务（提供本地化安装调试及售后服务） | ||
申购单号:CB*
申购主题:紫外光刻机
采购单位:天津大学
报价要求:
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间:合同签订后7天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址: (略) /市辖区/津南区/点击查看>>*
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:22DK*申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 紫外光刻机 | 1.0 | |
| 品牌 | 无 | ||
| 型号 | URE-2000/35 | ||
| 规格参数 | 型号：URE-2000/35曝光面积: 4 英寸；曝光波长: 365nm；分辨力: 1um；对准精度: +0.8um掩模样片整体运动范围: X: 优于 15mm;Y:优于 15mm掩模尺寸:2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸(标准配置，其他尺寸可定做)样片尺寸: 直径 Φ15mm-- Φ100mm，厚度 0.1mm -6mm(最大可扩展为 15mm)曝光方式:定时(倒计时方式)具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能照明不均匀性: 3% (Φ100mm 范围)双目双视场对准显微镜或者光管物镜+CCD+显示器:既可通过目镜目视对准，也可通过CCD+显示器对准，光学合像，光学最大倍数 400 倍，光学+电子放大 800 倍。物镜三对:4倍、10 倍、20 倍；目镜三对: 10 倍、16 倍、20 倍调平接触压力通过传感器保证重复数字设定对准间隙和曝光间隙具备压印模块接口，也具备接近模块接口掩模相对于样片运动行程:X:优于±5mm; Y:优于±5mm;θ:优于±6°最大焦厚: 400um (SU8 胶，用户提供检测条件)；光源平行性:3°曝光能量密度:>35mW/cm2，照明面温度<35°单层曝光一键完成，采用球气浮自动找平，汞灯功率: 350W(直流，进口汞灯) | ||
| 质保及售后服务 | 按行业标准提供服务（提供本地化安装调试及售后服务） | ||
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