天津大学-竞价公告(CB100562022001429)
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天津大学-竞价公告(CB100562022001429)
申购单号:CB*
申购主题:半自动单面光刻机
采购单位:天津大学
报价要求:
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间:合同签订后180天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址: (略) /市辖区/津南区/点击查看>>*
付款方式:合同签订后预付全款 或货到验收合格后付全款。
备注说明:申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 半自动单面光刻机 | 1.0 | 台 |
| 品牌 | 鸿源鼎芯 | ||
| 型号 | H19-43型 | ||
| 规格参数 | 1．工作方式：人工将晶圆片放至对准工作台，经过计算机图像识别及自动对准系统的调节，实现掩模版上图形与晶圆片上的图形的自动对准，也可以不用对位图形完成一次曝光，经过曝光系统的自动曝光后，再人工取下晶圆。 2．曝光面积：110×110mm；3．曝光照度不均匀性：≤3%；4．曝光强度：0～≥50mw/cm2可调（光束角度2°）；5．分离量：0～≥1000um可调；6．对准精度：≤1μm；7.曝光精度：1μm8．曝光方式：真空、硬接触、软接触及接近式曝光；9. 基片定位：切边定位；10．掩模版尺寸：3″×3″.4″×4″.5″×5″；11．晶圆尺寸：2″.3″.4″；12．找平方式：气悬浮自动找平；13. 镜头倍数：4倍；14．对位台升降：Z≥±16mm；15．曝光定时：0～999.9秒可调；16. 对位方式：可选自动/手动； | ||
| 质保及售后服务 | 按行业标准提供服务（提供本地化安装调试及售后服务） | ||
申购单号:CB*
申购主题:半自动单面光刻机
采购单位:天津大学
报价要求:
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间:合同签订后180天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址: (略) /市辖区/津南区/点击查看>>*
付款方式:合同签订后预付全款 或货到验收合格后付全款。
备注说明:申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 半自动单面光刻机 | 1.0 | 台 |
| 品牌 | 鸿源鼎芯 | ||
| 型号 | H19-43型 | ||
| 规格参数 | 1．工作方式：人工将晶圆片放至对准工作台，经过计算机图像识别及自动对准系统的调节，实现掩模版上图形与晶圆片上的图形的自动对准，也可以不用对位图形完成一次曝光，经过曝光系统的自动曝光后，再人工取下晶圆。 2．曝光面积：110×110mm；3．曝光照度不均匀性：≤3%；4．曝光强度：0～≥50mw/cm2可调（光束角度2°）；5．分离量：0～≥1000um可调；6．对准精度：≤1μm；7.曝光精度：1μm8．曝光方式：真空、硬接触、软接触及接近式曝光；9. 基片定位：切边定位；10．掩模版尺寸：3″×3″.4″×4″.5″×5″；11．晶圆尺寸：2″.3″.4″；12．找平方式：气悬浮自动找平；13. 镜头倍数：4倍；14．对位台升降：Z≥±16mm；15．曝光定时：0～999.9秒可调；16. 对位方式：可选自动/手动； | ||
| 质保及售后服务 | 按行业标准提供服务（提供本地化安装调试及售后服务） | ||
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