北京大学深圳研究生院-竞价公告(CB10001SZ2022000016)
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北京大学深圳研究生院-竞价公告(CB10001SZ2022000016)
申购单号:CB10001SZ*
申购主题:等离子体系统
采购单位:北京大学 (略)
报价要求:
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:43.0
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间:合同签订后150天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址: (略) / (略) /南山区/点击查看>>*
付款方式:收到订单后30 天内支付 50%；在工厂验收测试完成合格同意后30 天内支付40%；货到验收合格后付款30 天内支付 10%。
备注说明:申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 等离子体系统 | 1.0 | 台43.0 |
| 品牌 | SUPERALD | ||
| 型号 | *-00 | ||
| 规格参数 | 1、技术参数1.1 采用电感耦合（ICP）远程等离子体激发源。1.2 配备射频电源，频率13.56MHz，功率不小于1000W，冷却方式为风冷。功率输出稳定度及功率调节精度不大于10W，功率转化效率不小于65%，杂散功率抑制不小于-60dBc，谐波抑制不小于-50dBc。1.3 配备自动匹配器，可自动进行阻抗匹配，缩短匹配时间。1.4 配备自动匹配器集成步进马达和驱动器，集成VI传感器，传感器具备检测射频功率输出端参数功能，匹配时间不大于3s。1.5 配备2路气体管路。1.6 每路气体管路配备1个进口阀门和1个质量流量控制器。1.7 等离子体工艺启辉窗口，功率范围30-1000W，压力范围0.05-1.0Torr。 | ||
| 质保及售后服务 | 卖方拥有完善的售后服务团队和专业技术人员，并承诺： ⑴卖方所售出的产品，均由卖方负责所有产品的安装、调试，工程验收合格后由技术人员进行有关设备的使用、维护培训，时间为期1-2天，食宿费自理； ⑵售出的仪器设备从使用人验收合格之日起*年内，用户正常使用而引起的故障及其他事项，卖方负责免费联络原厂进行维护、修理的；所提供的设备、零部件均符合国家相应质量标准。 ⑶定期巡检，由卖方售出的仪器设备承诺将在保修期内为用户提供每年一次上门免费保养服务；⑷对于用户的报修，卖方承诺自接到用户报修时起，4小时内响应，24小时内提出解决方案，如方案仍不能解决问题，保证在72小时内到达现场解决问题. ⑸超过免费保修期限的产品维修，卖方将提供有偿的技术、维修服务；按行业标准提供服务 | ||
申购单号:CB10001SZ*
申购主题:等离子体系统
采购单位:北京大学 (略)
报价要求:
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:43.0
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间:合同签订后150天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址: (略) / (略) /南山区/点击查看>>*
付款方式:收到订单后30 天内支付 50%；在工厂验收测试完成合格同意后30 天内支付40%；货到验收合格后付款30 天内支付 10%。
备注说明:申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 等离子体系统 | 1.0 | 台43.0 |
| 品牌 | SUPERALD | ||
| 型号 | *-00 | ||
| 规格参数 | 1、技术参数1.1 采用电感耦合（ICP）远程等离子体激发源。1.2 配备射频电源，频率13.56MHz，功率不小于1000W，冷却方式为风冷。功率输出稳定度及功率调节精度不大于10W，功率转化效率不小于65%，杂散功率抑制不小于-60dBc，谐波抑制不小于-50dBc。1.3 配备自动匹配器，可自动进行阻抗匹配，缩短匹配时间。1.4 配备自动匹配器集成步进马达和驱动器，集成VI传感器，传感器具备检测射频功率输出端参数功能，匹配时间不大于3s。1.5 配备2路气体管路。1.6 每路气体管路配备1个进口阀门和1个质量流量控制器。1.7 等离子体工艺启辉窗口，功率范围30-1000W，压力范围0.05-1.0Torr。 | ||
| 质保及售后服务 | 卖方拥有完善的售后服务团队和专业技术人员，并承诺： ⑴卖方所售出的产品，均由卖方负责所有产品的安装、调试，工程验收合格后由技术人员进行有关设备的使用、维护培训，时间为期1-2天，食宿费自理； ⑵售出的仪器设备从使用人验收合格之日起*年内，用户正常使用而引起的故障及其他事项，卖方负责免费联络原厂进行维护、修理的；所提供的设备、零部件均符合国家相应质量标准。 ⑶定期巡检，由卖方售出的仪器设备承诺将在保修期内为用户提供每年一次上门免费保养服务；⑷对于用户的报修，卖方承诺自接到用户报修时起，4小时内响应，24小时内提出解决方案，如方案仍不能解决问题，保证在72小时内到达现场解决问题. ⑸超过免费保修期限的产品维修，卖方将提供有偿的技术、维修服务；按行业标准提供服务 | ||
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