高真空热CVD系统

内容
 
发送至邮箱

高真空热CVD系统

基本信息

项目编号中大招（货）[2023]001号
项目名称中山大学材料科 (略) 高真空热CVD系统采购项目
项目类型货物采购申购主题高真空热CVD系统采购单位中山大学
项目预算采购开始时间2023-01-05 16:32采购结束时间2023-01-12 09:00是否送货是
期望收货时间合同签订后120天交货经办人黎老师经办人电话020-*-809
送货地址 (略) 番禺区大学城 中山大学 化学材料大楼 606
电子签章本项目需要使用CA签字CA操作手册下载
备注1、国内供货请报含税人民币价；境外供货（进口）请报免税人民币价或外币价， (略) 必须有境外人民币收款账户。 2、进口货物中如有国内供货部分，供应商在报价时应分别报价，境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物购销协议和国内采购合同。 3、本项目学校不收取任何费用， 外贸代理费由供应商支付。4、本项目需要使用CA证书，请供应商根据指引（http://**）提前办理CA证书。 5、技术参数中如标注有“★”号的条款必须实质性响应，负偏离（不满足要求）将导致报价无效。

设备列表

采购设备数量参考品牌详细响应要求
高真空热CVD系统1台详情请进入系统查看
"高真空热CVD系统"技术要求
序号技术要求内容评分等级是否需要附件说明
1 主机参数：设备组成：真空室、热CVD炉、气路系统、真空与测量系统、电源与控制系统等组成。 重要 否
2 1、真空室（加热体，传感探头等均置于真空室内）：1.1不锈钢材质（圆柱外形，直径300-350 mm，长度400-500 mm）； 重要 否
3 1.2两侧双开门； 重要 否
4 1.3循环水冷 (配备水泵与水箱) ； 重要 否
5 1.4铜圈密封法兰； 重要 否
6 2、热CVD炉：2.1高纯石墨加热体； 重要 是
7 2.2炉体采用钼-石墨多层结构隔热屏； 重要 是
8 ★2.3长时间工作温度≥1350 ℃，短时间（1小时）支持工作温度至少1500 ℃。 重要 是
9 3、真空系统：★3.1冷态极限压强≤6.6×10-4 Pa；24小时冷态漏气气压3 Pa内； 重要 是
10 3.2复合真空计可测量该真空度到常压整个范围； 重要 否
11 4、气路系统：至少3路进气气路分别由质量流量计控制，流量量程分别为500/100/50 sccm，通过小型混气灌（1L）进入真空腔体. 重要 否
12 5、电源与控制系统：5.1 380 V/50 Hz三相五线制供电；设备总控制电源对系统进行供电， 重要 否
13 5.2有断水欠压报警和切断加热电源保护功能； 重要 否
14 5.3 温控表设置工艺升降温曲线，控温精度±1℃。 非常重要 是
15 培训要求：远程沟通，指导客户解决，如无法自行解决，工程师7个工作日上门维修。 重要 否
16 培训要求：除一般性操作外，培训客户安装、拆卸、更换加热体，更换法兰密封圈以及易发生故障的处理办法 重要 否

基本信息

项目编号中大招（货）[2023]001号
项目名称中山大学材料科 (略) 高真空热CVD系统采购项目
项目类型货物采购申购主题高真空热CVD系统采购单位中山大学
项目预算采购开始时间2023-01-05 16:32采购结束时间2023-01-12 09:00是否送货是
期望收货时间合同签订后120天交货经办人黎老师经办人电话020-*-809
送货地址 (略) 番禺区大学城 中山大学 化学材料大楼 606
电子签章本项目需要使用CA签字CA操作手册下载
备注1、国内供货请报含税人民币价；境外供货（进口）请报免税人民币价或外币价， (略) 必须有境外人民币收款账户。 2、进口货物中如有国内供货部分，供应商在报价时应分别报价，境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物购销协议和国内采购合同。 3、本项目学校不收取任何费用， 外贸代理费由供应商支付。4、本项目需要使用CA证书，请供应商根据指引（http://**）提前办理CA证书。 5、技术参数中如标注有“★”号的条款必须实质性响应，负偏离（不满足要求）将导致报价无效。

设备列表

采购设备数量参考品牌详细响应要求
高真空热CVD系统1台详情请进入系统查看
"高真空热CVD系统"技术要求
序号技术要求内容评分等级是否需要附件说明
1 主机参数：设备组成：真空室、热CVD炉、气路系统、真空与测量系统、电源与控制系统等组成。 重要 否
2 1、真空室（加热体，传感探头等均置于真空室内）：1.1不锈钢材质（圆柱外形，直径300-350 mm，长度400-500 mm）； 重要 否
3 1.2两侧双开门； 重要 否
4 1.3循环水冷 (配备水泵与水箱) ； 重要 否
5 1.4铜圈密封法兰； 重要 否
6 2、热CVD炉：2.1高纯石墨加热体； 重要 是
7 2.2炉体采用钼-石墨多层结构隔热屏； 重要 是
8 ★2.3长时间工作温度≥1350 ℃，短时间（1小时）支持工作温度至少1500 ℃。 重要 是
9 3、真空系统：★3.1冷态极限压强≤6.6×10-4 Pa；24小时冷态漏气气压3 Pa内； 重要 是
10 3.2复合真空计可测量该真空度到常压整个范围； 重要 否
11 4、气路系统：至少3路进气气路分别由质量流量计控制，流量量程分别为500/100/50 sccm，通过小型混气灌（1L）进入真空腔体. 重要 否
12 5、电源与控制系统：5.1 380 V/50 Hz三相五线制供电；设备总控制电源对系统进行供电， 重要 否
13 5.2有断水欠压报警和切断加热电源保护功能； 重要 否
14 5.3 温控表设置工艺升降温曲线，控温精度±1℃。 非常重要 是
15 培训要求：远程沟通，指导客户解决，如无法自行解决，工程师7个工作日上门维修。 重要 否
16 培训要求：除一般性操作外，培训客户安装、拆卸、更换加热体，更换法兰密封圈以及易发生故障的处理办法 重要 否

    
查看详情》
相关推荐
 

招投标大数据

查看详情

附件

收藏

首页

搜索

最近搜索

无

热门搜索

无