单室高真空电阻式镀膜设备

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单室高真空电阻式镀膜设备

基本信息

项目编号中大招（货）[2023]007号
项目名称中山大学电子与 (略) （ (略) ）单室高真空电阻式镀膜设备
项目类型货物采购申购主题单室高真空电阻式镀膜设备采购单位中山大学
项目预算采购开始时间2023-02-13 08:44采购结束时间2023-02-20 09:00是否送货是
期望收货时间合同签订后90天交货经办人黎老师经办人电话020-*-809
送货地址 (略) 番禺区大学城中山大学纳米楼613
电子签章本项目需要使用CA签字CA操作手册下载
备注1、国内供货请报含税人民币价；境外供货（进口）请报免税人民币价或外币价， (略) 必须有境外人民币收款账户。 2、进口货物中如有国内供货部分，供应商在报价时应分别报价，境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物购销协议和国内采购合同。 3、本项目学校不收取任何费用， 外贸代理费由供应商支付。4、本项目需要使用CA证书，请供应商根据指引（http://**）提前办理CA证书。 5、技术参数中如标注有“★”号的条款必须实质性响应，负偏离（不满足要求）将导致报价无效。

设备列表

采购设备数量参考品牌详细响应要求
单室高真空电阻式镀膜设备1台 【科诚】 【方昇】详情请进入系统查看
"单室高真空电阻式镀膜设备"技术要求
序号技术要求内容评分等级是否需要附件说明
1 1、真空室腔体:1套（真空室内部尺寸D400±5480±5mm），前后门各配视窗1套； 重要 否
2 2、金属蒸发源3套：水冷铜电极3组，配气动挡板，1KW可控硅调压电源3台（数字显示），电流调整精度1A（微调） 重要 否
3 1) 有机蒸发源3套，温控电源3台（温控表显示精度1℃），温度区间：室温-500℃（控温精度±1℃），配气动挡板； 重要 否
4 2) 隔板：蒸发源相互独立，隔板分隔， 重要 否
5 3、样品台系统：1套 重要 否
6 1) 基片旋转：转速0～30转／分连续可调； 重要 否
7 2) 基片升降：电动升降，衬底与蒸发源间距200-300mm通过触摸屏连续可调； 重要 否
8 3) 基片挂架：166±3×166±3mm基片台，可安装25×25mm基片25片； 重要 否
9 4) 基片挡板：气动挡板。 重要 否
10 4、真空泵机组：1套，包含1)风冷复合分子泵1台；2)双级泵1台3)气动超高真空插板阀1台；4)超高真空气动挡板阀1台；5)高真空气动挡板阀2台；6)高真空气动挡板阀1台；7)真空电磁充气阀1台；8)泵阀连接软管2套， 三通1套；9)真空计1台； 重要 否
11 5、极限真空：优于5×10-5Pa，大气至5×10-4Pa时间小于35分钟（充干燥氮气），关机12小时真空度≤10Pa。 非常重要 是
12 6、在上述基片面积范围内，所蒸镀的有机材料薄膜与金属薄膜的均匀性大于95％。 非常重要 是
13 7、膜厚检测系统：1套 重要 否
14 1) 膜厚仪： 四通道石英晶振膜厚监控仪1套（探头输入：4个标准输入；频率范围：4到6 MHz；测量周期0.10秒时，频率分辨率为+/-0.03Hz @ 0.1 Sec；频率稳定度：+/- 2ppm；测量/更新率：1至10 Hz；速率显示精度：0.01Angstrom/秒；流程：100个进程，1000层，50个膜层）； 重要 否
15 2) 膜厚探头：水冷膜厚探头3套。 重要 否
16 8、蒸发速率最低可以均匀的稳定的0.1 nm/s,并保持10分钟以上。 非常重要 是
17 9、设备机架：1套，包含1) 40碳钢方管焊接机架1套， 2) 3英寸万向轮4件3)地脚4件。 重要 否
18 10、其他电控系统：1套（电气控制采用设备机架内置），包含1） 烘烤照明电源：1台；2） 总控制电源（配10英寸触摸屏，PLC控制器，样品台控制器，蒸发电源，泵阀开关、相序检测，以及电缆开关接头等）：1台。 重要 否
19 ★11、匹配米开罗那手套箱，手套箱型号为Universal（2700/750/900），镀膜机高≤2000mm，宽≤1100mm，前后距离≤800mm）。 非常重要 是
20 12、附件参数：配备小型制冷水机一台，小型无油静音气泵，各种无氧铜垫、氟橡胶圈以及各种标准件； 重要 否
21 13、软件及其功能：应至少具有：1.误操作保护，联动互锁以及一键真空启停等功能；2.高真空蒸发镀膜自动控制系统 ；3.高真空自动抽气系统 重要 否

基本信息

项目编号中大招（货）[2023]007号
项目名称中山大学电子与 (略) （ (略) ）单室高真空电阻式镀膜设备
项目类型货物采购申购主题单室高真空电阻式镀膜设备采购单位中山大学
项目预算采购开始时间2023-02-13 08:44采购结束时间2023-02-20 09:00是否送货是
期望收货时间合同签订后90天交货经办人黎老师经办人电话020-*-809
送货地址 (略) 番禺区大学城中山大学纳米楼613
电子签章本项目需要使用CA签字CA操作手册下载
备注1、国内供货请报含税人民币价；境外供货（进口）请报免税人民币价或外币价， (略) 必须有境外人民币收款账户。 2、进口货物中如有国内供货部分，供应商在报价时应分别报价，境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物购销协议和国内采购合同。 3、本项目学校不收取任何费用， 外贸代理费由供应商支付。4、本项目需要使用CA证书，请供应商根据指引（http://**）提前办理CA证书。 5、技术参数中如标注有“★”号的条款必须实质性响应，负偏离（不满足要求）将导致报价无效。

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采购设备数量参考品牌详细响应要求
单室高真空电阻式镀膜设备1台 【科诚】 【方昇】详情请进入系统查看
"单室高真空电阻式镀膜设备"技术要求
序号技术要求内容评分等级是否需要附件说明
1 1、真空室腔体:1套（真空室内部尺寸D400±5480±5mm），前后门各配视窗1套； 重要 否
2 2、金属蒸发源3套：水冷铜电极3组，配气动挡板，1KW可控硅调压电源3台（数字显示），电流调整精度1A（微调） 重要 否
3 1) 有机蒸发源3套，温控电源3台（温控表显示精度1℃），温度区间：室温-500℃（控温精度±1℃），配气动挡板； 重要 否
4 2) 隔板：蒸发源相互独立，隔板分隔， 重要 否
5 3、样品台系统：1套 重要 否
6 1) 基片旋转：转速0～30转／分连续可调； 重要 否
7 2) 基片升降：电动升降，衬底与蒸发源间距200-300mm通过触摸屏连续可调； 重要 否
8 3) 基片挂架：166±3×166±3mm基片台，可安装25×25mm基片25片； 重要 否
9 4) 基片挡板：气动挡板。 重要 否
10 4、真空泵机组：1套，包含1)风冷复合分子泵1台；2)双级泵1台3)气动超高真空插板阀1台；4)超高真空气动挡板阀1台；5)高真空气动挡板阀2台；6)高真空气动挡板阀1台；7)真空电磁充气阀1台；8)泵阀连接软管2套， 三通1套；9)真空计1台； 重要 否
11 5、极限真空：优于5×10-5Pa，大气至5×10-4Pa时间小于35分钟（充干燥氮气），关机12小时真空度≤10Pa。 非常重要 是
12 6、在上述基片面积范围内，所蒸镀的有机材料薄膜与金属薄膜的均匀性大于95％。 非常重要 是
13 7、膜厚检测系统：1套 重要 否
14 1) 膜厚仪： 四通道石英晶振膜厚监控仪1套（探头输入：4个标准输入；频率范围：4到6 MHz；测量周期0.10秒时，频率分辨率为+/-0.03Hz @ 0.1 Sec；频率稳定度：+/- 2ppm；测量/更新率：1至10 Hz；速率显示精度：0.01Angstrom/秒；流程：100个进程，1000层，50个膜层）； 重要 否
15 2) 膜厚探头：水冷膜厚探头3套。 重要 否
16 8、蒸发速率最低可以均匀的稳定的0.1 nm/s,并保持10分钟以上。 非常重要 是
17 9、设备机架：1套，包含1) 40碳钢方管焊接机架1套， 2) 3英寸万向轮4件3)地脚4件。 重要 否
18 10、其他电控系统：1套（电气控制采用设备机架内置），包含1） 烘烤照明电源：1台；2） 总控制电源（配10英寸触摸屏，PLC控制器，样品台控制器，蒸发电源，泵阀开关、相序检测，以及电缆开关接头等）：1台。 重要 否
19 ★11、匹配米开罗那手套箱，手套箱型号为Universal（2700/750/900），镀膜机高≤2000mm，宽≤1100mm，前后距离≤800mm）。 非常重要 是
20 12、附件参数：配备小型制冷水机一台，小型无油静音气泵，各种无氧铜垫、氟橡胶圈以及各种标准件； 重要 否
21 13、软件及其功能：应至少具有：1.误操作保护，联动互锁以及一键真空启停等功能；2.高真空蒸发镀膜自动控制系统 ；3.高真空自动抽气系统 重要 否

    
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