高温化学气相沉积系统
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高温化学气相沉积系统
| 竞价编号：JJ* | |
| 项目名称：高温化学气相沉积系统 | |
| 项目预算(元)：55,000.00 | 报价方式：总价报价 |
| 采购单位：华南师范大学 | 联系人：采购用户 |
| 最少报价家数：3 | 联系电话：* |
| 联系手机：无 | 电子邮箱：*@*q.com |
| 异议反馈：020-*；*@*q.com | |
| 开始时间：2023-02-16 16:05:00 | 截止时间：2023-02-19 16:05:00 |
| 资格条件：无 |
| 付款方式：对公转账，按下列程序在 30 天 内付款： 设备安装调试结束并验收合格后，提交全部报告材料和发票，支付至合同金额的 100 %。 | |
| 交付时间：签订合同后5天送货。 | |
| 交付地址： (略) 番禺区广州大学城华南师范大学理2栋。 | |
| 质保期及售后要求：质保期：所有货物提供至少 * 年免费质保，质保期内提供免费上门服务（含部件、人力、上门等），质保期自货物验收之日起计算，保修费用计入投标报价。并承诺质保期满后供应商继续提供维修服务，并优惠收费。 | |
| 其他要求：无 |
| 序号 | 标的名称 | 数量 | 单位 | 品牌 | 是否限定品牌 | 技术要求 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 高温化学气相沉积系统 | 1.00 | 台 | 合肥科晶/CVD-GZKX-17SL | 是 | 包括炉体、气路通道和真空系统；炉体结构：采用双层壳体结构，并带有风冷系统，炉膛采用高纯多晶氧化铝纤维，最大程度的减少能量损失。炉膛尺寸：290mm*220mm*160mm。最高温度可达1700度（≤30min）。可实现多段温控程序精准控温。额定功率：5.5KW；额定电压：AC220V;使用温度：1650°。建议升温速率：1400℃以下：≤10℃/min ；1400℃到1600℃：≤5℃/min ；1600℃以后：≤2℃/min 。加热元件：硅钼棒。热电偶：B型。加热区长度：290mm。▲标配直径80mm一根刚玉管；标配有两个不锈钢真空法兰。进气端法兰安装有一根4空的陶瓷管，可以将进气穿过管堵，直接进入高温区。配套的两个管堵直接固定在法兰上面，方便客户每一次装取物料。在炉体上面安装有一套法兰支撑架，用于客户每次拆装法兰之后，放置法兰用。尾气处理：法兰出气端安装气体收集和燃烧装置，以便可收集或处理特殊气体。温控系统：包含一款YD518P型温度控制器 ，PID自动控温系统，智能化30段可编程控制，控温精度：±1℃，默认DB9 PC通信连接端口 ，通过MET认证。 通过安装软件实现控制升温曲线和导出数据。气路通道3通道，气路流量控制器：采用浮子流量计控制 标准量程10-100ml/min 16-160ml/min 25-250ml/min 接口Φ6.35,1/4"" 工作环境温度5~45高纯气体 不锈钢管Φ6（外）X Φ4（内） 压力真空表－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 截止阀Φ6.35 混气罐Φ80×140mm真空系统：600*600mm的承重台面，可配合管式炉使用，移动架带有四个滚轮；真空泵抽气速率：3L/S,极限真空10-1Pa,双层立式油雾过滤器（PE材质）与真空泵连接，含有电阻硅真空计，可精准的测量真空度；法兰材质采用316不锈钢，出气口接头为1/8"宝塔气嘴接头，抽气接口为KF25接口，通过远程控制达到人机分离控制。设备外形：1410mmL*510mmW*780mmH。▲配置：真空泵1台、气路系统1台，真空系统1套、测温系统1套、尾气处理装置1套、高温手套1副、刚玉管1支、氧化铝炉塞2对、高温密封圈8个、炉勾1把，进气管1/4英寸1套； |
| 序号 | 附件名称 | 上传时间 | 大小 | 操作 |
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| 竞价编号：JJ* | |
| 项目名称：高温化学气相沉积系统 | |
| 项目预算(元)：55,000.00 | 报价方式：总价报价 |
| 采购单位：华南师范大学 | 联系人：采购用户 |
| 最少报价家数：3 | 联系电话：* |
| 联系手机：无 | 电子邮箱：*@*q.com |
| 异议反馈：020-*；*@*q.com | |
| 开始时间：2023-02-16 16:05:00 | 截止时间：2023-02-19 16:05:00 |
| 资格条件：无 |
| 付款方式：对公转账，按下列程序在 30 天 内付款： 设备安装调试结束并验收合格后，提交全部报告材料和发票，支付至合同金额的 100 %。 | |
| 交付时间：签订合同后5天送货。 | |
| 交付地址： (略) 番禺区广州大学城华南师范大学理2栋。 | |
| 质保期及售后要求：质保期：所有货物提供至少 * 年免费质保，质保期内提供免费上门服务（含部件、人力、上门等），质保期自货物验收之日起计算，保修费用计入投标报价。并承诺质保期满后供应商继续提供维修服务，并优惠收费。 | |
| 其他要求：无 |
| 序号 | 标的名称 | 数量 | 单位 | 品牌 | 是否限定品牌 | 技术要求 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 高温化学气相沉积系统 | 1.00 | 台 | 合肥科晶/CVD-GZKX-17SL | 是 | 包括炉体、气路通道和真空系统；炉体结构：采用双层壳体结构，并带有风冷系统，炉膛采用高纯多晶氧化铝纤维，最大程度的减少能量损失。炉膛尺寸：290mm*220mm*160mm。最高温度可达1700度（≤30min）。可实现多段温控程序精准控温。额定功率：5.5KW；额定电压：AC220V;使用温度：1650°。建议升温速率：1400℃以下：≤10℃/min ；1400℃到1600℃：≤5℃/min ；1600℃以后：≤2℃/min 。加热元件：硅钼棒。热电偶：B型。加热区长度：290mm。▲标配直径80mm一根刚玉管；标配有两个不锈钢真空法兰。进气端法兰安装有一根4空的陶瓷管，可以将进气穿过管堵，直接进入高温区。配套的两个管堵直接固定在法兰上面，方便客户每一次装取物料。在炉体上面安装有一套法兰支撑架，用于客户每次拆装法兰之后，放置法兰用。尾气处理：法兰出气端安装气体收集和燃烧装置，以便可收集或处理特殊气体。温控系统：包含一款YD518P型温度控制器 ，PID自动控温系统，智能化30段可编程控制，控温精度：±1℃，默认DB9 PC通信连接端口 ，通过MET认证。 通过安装软件实现控制升温曲线和导出数据。气路通道3通道，气路流量控制器：采用浮子流量计控制 标准量程10-100ml/min 16-160ml/min 25-250ml/min 接口Φ6.35,1/4"" 工作环境温度5~45高纯气体 不锈钢管Φ6（外）X Φ4（内） 压力真空表－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 截止阀Φ6.35 混气罐Φ80×140mm真空系统：600*600mm的承重台面，可配合管式炉使用，移动架带有四个滚轮；真空泵抽气速率：3L/S,极限真空10-1Pa,双层立式油雾过滤器（PE材质）与真空泵连接，含有电阻硅真空计，可精准的测量真空度；法兰材质采用316不锈钢，出气口接头为1/8"宝塔气嘴接头，抽气接口为KF25接口，通过远程控制达到人机分离控制。设备外形：1410mmL*510mmW*780mmH。▲配置：真空泵1台、气路系统1台，真空系统1套、测温系统1套、尾气处理装置1套、高温手套1副、刚玉管1支、氧化铝炉塞2对、高温密封圈8个、炉勾1把，进气管1/4英寸1套； |
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