湖南大学-竞价公告(CB105322023000012)
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湖南大学-竞价公告(CB105322023000012)
申购单号:CB*
申购主题:高真空电阻蒸发镀膜设备
采购单位:湖南大学
报价要求:
发票类型:增值税普通发票
币种:人民币
预算:
签约时间:
送货时间:合同签订后15天内到货
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址:两山一湖点击查看>>*
付款方式:详情见备注
备注说明:国产设备：1.供应商在申请验收前，须先把合同总金额的（）%作为质保金交到采购人指定账户，并开具合同金额100%发票；2.货到合同指定地点并安装调试验收合格后，凭验收报告在10个工作日内支付合同总金额的（100）%；3.在验收合格之日起的（）年后无质量问题，经采购人认可，一次性将合同质保金无息退还供应商。申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 高真空电阻蒸发镀膜设备 | 1.0 | 台 |
| 品牌 | 微纳真空 | ||
| 型号 | VZZ-300S | ||
| 规格参数 | 1.真空腔室：净空间尺寸不小于Φ295×H445mm，前门开度尺寸不小于295×445mm，前门观察窗玻璃尺寸不小于Φ95mm，配一套方便拆卸的防污隔板；腔室、法兰、管道、防污隔板等均采用304不锈钢材质；2.真空系统：主泵分子泵抽速不小于2000m3/h，双级旋片泵抽速不小20m3/h，全量程数显复合真空计量程：1×105～1×10-5Pa； 3.★真空极限：3.0×10-5Pa；4.抽速：抽至3.0×10-4Pa≤15min（分子泵完全启动）；5.基片台：根据客户要求定制的基片台和掩膜板，最大可处理基片不小于4英寸，基片台配有气动挡板，随设备提供一块掩膜板；基片台旋转且水冷：旋转速度0-25转/分连续可调； 需要预留基片台加热的真空接口；6.★蒸发源：不少于3组蒸发源，源间配隔离挡板，各源均有水冷且独立，陶瓷绝缘结构，双源上有气动水平打开式挡板，高度可调，要求磁流体密封；7.蒸发电源：不少于2台蒸发电源，电源功率不小于2.2KW，电流显示精度0.1安培，具备粗调微调功能；8.速率和膜厚监控：采用石英晶振膜厚监控仪在蒸镀过程中实时监测蒸发速率，监控膜厚；测量频率范围1.0～6.5MHz，速率显示为0.1A/s，厚度分辨率±0.1A；配置不少于1个探头，10片6MHz原装晶振片；竞价文件需要注明膜厚监控仪品牌；9.操控系统：PLC+触摸屏手自一体操控系统，真空系统的控制分为手动和自动二种模式，自动模式下，根据腔内压强自动执行相关泵，阀的启闭；可远程监控，软件使用期限：永久有效；10.水冷系统：水冷部件有分子泵、蒸发电极、膜厚仪探头、磁流体等，整机配水流报警保护系统；配高精度冷却循环水机1台，控温范围：5～25℃，控温精度±0.1℃；11.其它：配齐该镀膜设备的辅助设备：冷却循环水机1台，静音气泵1台，所需试验蒸镀材料；保证设备就位后即能开展工作；镀膜设备及外围设备（冷水机，空压机等）总占地面积不超过1平米； | ||
| 质保及售后服务 | 整机免费保修期不少于2年 | ||
申购单号:CB*
申购主题:高真空电阻蒸发镀膜设备
采购单位:湖南大学
报价要求:
发票类型:增值税普通发票
币种:人民币
预算:
签约时间:
送货时间:合同签订后15天内到货
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址:两山一湖点击查看>>*
付款方式:详情见备注
备注说明:国产设备：1.供应商在申请验收前，须先把合同总金额的（）%作为质保金交到采购人指定账户，并开具合同金额100%发票；2.货到合同指定地点并安装调试验收合格后，凭验收报告在10个工作日内支付合同总金额的（100）%；3.在验收合格之日起的（）年后无质量问题，经采购人认可，一次性将合同质保金无息退还供应商。申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 高真空电阻蒸发镀膜设备 | 1.0 | 台 |
| 品牌 | 微纳真空 | ||
| 型号 | VZZ-300S | ||
| 规格参数 | 1.真空腔室：净空间尺寸不小于Φ295×H445mm，前门开度尺寸不小于295×445mm，前门观察窗玻璃尺寸不小于Φ95mm，配一套方便拆卸的防污隔板；腔室、法兰、管道、防污隔板等均采用304不锈钢材质；2.真空系统：主泵分子泵抽速不小于2000m3/h，双级旋片泵抽速不小20m3/h，全量程数显复合真空计量程：1×105～1×10-5Pa； 3.★真空极限：3.0×10-5Pa；4.抽速：抽至3.0×10-4Pa≤15min（分子泵完全启动）；5.基片台：根据客户要求定制的基片台和掩膜板，最大可处理基片不小于4英寸，基片台配有气动挡板，随设备提供一块掩膜板；基片台旋转且水冷：旋转速度0-25转/分连续可调； 需要预留基片台加热的真空接口；6.★蒸发源：不少于3组蒸发源，源间配隔离挡板，各源均有水冷且独立，陶瓷绝缘结构，双源上有气动水平打开式挡板，高度可调，要求磁流体密封；7.蒸发电源：不少于2台蒸发电源，电源功率不小于2.2KW，电流显示精度0.1安培，具备粗调微调功能；8.速率和膜厚监控：采用石英晶振膜厚监控仪在蒸镀过程中实时监测蒸发速率，监控膜厚；测量频率范围1.0～6.5MHz，速率显示为0.1A/s，厚度分辨率±0.1A；配置不少于1个探头，10片6MHz原装晶振片；竞价文件需要注明膜厚监控仪品牌；9.操控系统：PLC+触摸屏手自一体操控系统，真空系统的控制分为手动和自动二种模式，自动模式下，根据腔内压强自动执行相关泵，阀的启闭；可远程监控，软件使用期限：永久有效；10.水冷系统：水冷部件有分子泵、蒸发电极、膜厚仪探头、磁流体等，整机配水流报警保护系统；配高精度冷却循环水机1台，控温范围：5～25℃，控温精度±0.1℃；11.其它：配齐该镀膜设备的辅助设备：冷却循环水机1台，静音气泵1台，所需试验蒸镀材料；保证设备就位后即能开展工作；镀膜设备及外围设备（冷水机，空压机等）总占地面积不超过1平米； | ||
| 质保及售后服务 | 整机免费保修期不少于2年 | ||
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