深圳大学-竞价公告(CB105902023000070)
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深圳大学-竞价公告(CB105902023000070)
申购单号:CB*
申购主题:高真空三源无机蒸发镀膜机
采购单位:深圳大学
报价要求:
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:*.0
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间:合同签订后25天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址: (略) / (略) /南山区/点击查看>>*
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 高真空三源无机蒸发镀膜机 | 1.0 | 套*.0 |
| 品牌 | 沈阳鹏程 | ||
| 型号 | PCZF500 | ||
| 规格参数 | 1、系统采用单室筒型上开盖结构。2、样品台可以施加掩模。3、样品尺寸：4英寸基片1片，基片台电机驱动磁力耦合密封驱动，转速0～30转/分可调；蒸发距离400mm,基片台水冷结构通过电机驱动的磁力耦合密封实现转动，样品水冷盘温度可以调节温度范围室温-28度。4、生长室预留2个可采用国产石英晶振膜厚监测仪进行薄膜厚度控制，配备单个石英晶振探头。5、生长室放置3个热阻蒸发舟，配备蒸发电源1套，蒸发电源带转接功能即一个蒸发电源可以通过转接控制两个热阻蒸发舟6、生长室真空获得系统采用国产扩散泵（FF150 600L/S）+机械泵（4L/S）进行抽气；7、真空室组件及配备零部件全部采用优质不锈钢材料制造，氩弧焊接，表面处理采用国内最先进电化学抛光钝化处理工艺。8、生长室极限真空度≤5.0×10-5 Pa；9、真空获得采用FF150/600分子泵和优质机械泵（4L/S）10、系统从大气开始抽气：溅射室25分钟可达到6.6x10-4 Pa；11、系统停泵关机12小时后真空度：≤5Pa设备配置：真空室腔体组件1套，尺寸约为Φ330×H550，热阻蒸发电极接口：3套，蒸发源挡板接口：3个，热阻蒸发舟及电源3套，样品台1套（手动控制)，真空本底抽气与真空测量1套，真空室照明装置1套，真空室预留检漏口和预留备用口若干1套 | ||
| 质保及售后服务 | 5年内免费维修正常使用出现的故障及相关维修培训 | ||
申购单号:CB*
申购主题:高真空三源无机蒸发镀膜机
采购单位:深圳大学
报价要求:
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:*.0
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间:合同签订后25天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址: (略) / (略) /南山区/点击查看>>*
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 高真空三源无机蒸发镀膜机 | 1.0 | 套*.0 |
| 品牌 | 沈阳鹏程 | ||
| 型号 | PCZF500 | ||
| 规格参数 | 1、系统采用单室筒型上开盖结构。2、样品台可以施加掩模。3、样品尺寸：4英寸基片1片，基片台电机驱动磁力耦合密封驱动，转速0～30转/分可调；蒸发距离400mm,基片台水冷结构通过电机驱动的磁力耦合密封实现转动，样品水冷盘温度可以调节温度范围室温-28度。4、生长室预留2个可采用国产石英晶振膜厚监测仪进行薄膜厚度控制，配备单个石英晶振探头。5、生长室放置3个热阻蒸发舟，配备蒸发电源1套，蒸发电源带转接功能即一个蒸发电源可以通过转接控制两个热阻蒸发舟6、生长室真空获得系统采用国产扩散泵（FF150 600L/S）+机械泵（4L/S）进行抽气；7、真空室组件及配备零部件全部采用优质不锈钢材料制造，氩弧焊接，表面处理采用国内最先进电化学抛光钝化处理工艺。8、生长室极限真空度≤5.0×10-5 Pa；9、真空获得采用FF150/600分子泵和优质机械泵（4L/S）10、系统从大气开始抽气：溅射室25分钟可达到6.6x10-4 Pa；11、系统停泵关机12小时后真空度：≤5Pa设备配置：真空室腔体组件1套，尺寸约为Φ330×H550，热阻蒸发电极接口：3套，蒸发源挡板接口：3个，热阻蒸发舟及电源3套，样品台1套（手动控制)，真空本底抽气与真空测量1套，真空室照明装置1套，真空室预留检漏口和预留备用口若干1套 | ||
| 质保及售后服务 | 5年内免费维修正常使用出现的故障及相关维修培训 | ||
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