离子溅射仪(高真空版)
离子溅射仪(高真空版)
基本信息: | |
申购单主题: | 离子溅射仪(高真空版) |
申购单类型: | 竞价类 |
设备类别: | 仪器设备 |
使用币种: | 人民币 |
小额采购开始时间: | 2023-03-21 17:56 |
小额采购结束时间: | 2023-03-28 14:33 我要报价 |
申购备注: | |
申购设备详情: |
设备名称 | 数量 | 单位 | 品牌 | 型号 | 是否标配 (免费送货上门安装及调试) | 售后服务 | 规格配置 | 附件 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
离子溅射仪(高真空版) | 1 | 套 | 速普 | ISC150T+RTSS75 | 是 | 按行业标准提供服务 | 1.采用磁控溅射方式进行常温溅射,以确保工作过程中样品不会发生热损伤;2.采用单片机作为处理器,全自主知识产权3.7英寸触摸式液晶显示屏,分辨率为*,全数字显示;3.1可设定:工作气压,溅射功率,溅射时长,进气流量等参数;3.2可显示:实时真空度,设备运行时间,溅射时间,溅射功率,泵组运转实时温度,实时进气流量等参数;4. 溅射电源:恒功率磁控 DC 溅射电源 1~30W可调,最小步长1W;5.溅射时长:1~600s连续可调,最小步长1s;6.溅射靶材:标配为高纯钨靶,纯度(4N9),规格为φ500.1~2mm;7.真空腔室:采用耐热玻璃腔体,尺寸φ*mm,可选配自动旋转偏转样品台;8.真空泵组:无油干泵+分子泵组;9.泵组抽速:>0.3 m3/h隔膜泵+25 L/S分子泵;10.极限真空:<10E-3 Pa;11.工作气压:0.5-2 Pa;12.抽真空时间:<5 min;13.真空规:皮拉尼真空计,测量范围大气压到10E-3 Pa;14.气体控制:MFC气体质量流量控制器(50 SCCM Ar);15.磁控溅射源:带手动挡板,支持溅射贵金属Au/Pt等,也可溅射Cr、Ag、W等常规金属(通Ar气),同样支持喷C;16.功耗:<500 W;17.冷却方式:风冷旋转偏转样品台1.全铝材料腔体结构设计,有可视窗2.腔体尺寸 φ*~120mm 3.主要功能:公自转旋转-倾斜可调旋转样品台4.控制方式:旋钮5.转台直径:~75mm6.公转速度:10~60RPM 7.偏转角度:-40°~+40° | 无 |
基本信息: | |
申购单主题: | 离子溅射仪(高真空版) |
申购单类型: | 竞价类 |
设备类别: | 仪器设备 |
使用币种: | 人民币 |
小额采购开始时间: | 2023-03-21 17:56 |
小额采购结束时间: | 2023-03-28 14:33 我要报价 |
申购备注: | |
申购设备详情: |
设备名称 | 数量 | 单位 | 品牌 | 型号 | 是否标配 (免费送货上门安装及调试) | 售后服务 | 规格配置 | 附件 |
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离子溅射仪(高真空版) | 1 | 套 | 速普 | ISC150T+RTSS75 | 是 | 按行业标准提供服务 | 1.采用磁控溅射方式进行常温溅射,以确保工作过程中样品不会发生热损伤;2.采用单片机作为处理器,全自主知识产权3.7英寸触摸式液晶显示屏,分辨率为*,全数字显示;3.1可设定:工作气压,溅射功率,溅射时长,进气流量等参数;3.2可显示:实时真空度,设备运行时间,溅射时间,溅射功率,泵组运转实时温度,实时进气流量等参数;4. 溅射电源:恒功率磁控 DC 溅射电源 1~30W可调,最小步长1W;5.溅射时长:1~600s连续可调,最小步长1s;6.溅射靶材:标配为高纯钨靶,纯度(4N9),规格为φ500.1~2mm;7.真空腔室:采用耐热玻璃腔体,尺寸φ*mm,可选配自动旋转偏转样品台;8.真空泵组:无油干泵+分子泵组;9.泵组抽速:>0.3 m3/h隔膜泵+25 L/S分子泵;10.极限真空:<10E-3 Pa;11.工作气压:0.5-2 Pa;12.抽真空时间:<5 min;13.真空规:皮拉尼真空计,测量范围大气压到10E-3 Pa;14.气体控制:MFC气体质量流量控制器(50 SCCM Ar);15.磁控溅射源:带手动挡板,支持溅射贵金属Au/Pt等,也可溅射Cr、Ag、W等常规金属(通Ar气),同样支持喷C;16.功耗:<500 W;17.冷却方式:风冷旋转偏转样品台1.全铝材料腔体结构设计,有可视窗2.腔体尺寸 φ*~120mm 3.主要功能:公自转旋转-倾斜可调旋转样品台4.控制方式:旋钮5.转台直径:~75mm6.公转速度:10~60RPM 7.偏转角度:-40°~+40° | 无 |
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