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电子束蒸镀真空系统

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微纳真空

定制

品牌：微纳真空，或者英文：VNANO；型号：定制1. 真空腔室：要求采用304不锈钢材质，尺寸小于800×800×900mm，前、后双开门，前门不少于2个观察窗，观察窗玻璃尺寸不小于Φ95mm，配一套方便拆卸的防污板；腔体部分水冷；2. 真空系统：主泵采用具有不低于5500m3/h抽吸能力的高性能分子泵，前级泵采用不低于50m3/h抽吸能力的直联双级旋片泵，需配备旁抽； 3. 真空极限：2.6×10-7Torr；4. 抽速：抽至10-6Torr≤20min；5. 腔体漏率：保压12小时，真空腔室压强小于5Pa；★6. 基片台：尺寸不小于6英寸方片，配一体式全尺寸挡板，挡板需要磁流体密封；基片台旋转且水冷，转速0-25转/分连续可调，需要磁流体密封；结构根据客户要求特殊设计，预留升级基片台加热、原位电学监测的所有真空标准接口；★7. 电子束蒸发源：e型电子枪一支，枪功率不小于8Kw，电子枪高压稳定性：±1%；束流稳定性：±2%；抑弧反应时间＜10ms；配6穴直冷式坩埚，坩埚配有电动防污挡板，具有高压灭弧自动复位功能；投标响应文件需注明电子枪品牌；★1、提供书面承诺，可以与学校已有的“电子束蒸镀系统”和“手套箱”系统、“嘉课堂”实训系统进行无缝对接，并提供实物到学校进校对接测试，如果无法对接成功，愿按虚假应标承担全部责任。2、整机免费保修期2年，需提供加盖制造商公章的售后服务承诺函编入响应文件。

按行业标准提供服务

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电子束蒸镀真空系统

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微纳真空

定制

品牌：微纳真空，或者英文：VNANO；型号：定制1. 真空腔室：要求采用304不锈钢材质，尺寸小于800×800×900mm，前、后双开门，前门不少于2个观察窗，观察窗玻璃尺寸不小于Φ95mm，配一套方便拆卸的防污板；腔体部分水冷；2. 真空系统：主泵采用具有不低于5500m3/h抽吸能力的高性能分子泵，前级泵采用不低于50m3/h抽吸能力的直联双级旋片泵，需配备旁抽； 3. 真空极限：2.6×10-7Torr；4. 抽速：抽至10-6Torr≤20min；5. 腔体漏率：保压12小时，真空腔室压强小于5Pa；★6. 基片台：尺寸不小于6英寸方片，配一体式全尺寸挡板，挡板需要磁流体密封；基片台旋转且水冷，转速0-25转/分连续可调，需要磁流体密封；结构根据客户要求特殊设计，预留升级基片台加热、原位电学监测的所有真空标准接口；★7. 电子束蒸发源：e型电子枪一支，枪功率不小于8Kw，电子枪高压稳定性：±1%；束流稳定性：±2%；抑弧反应时间＜10ms；配6穴直冷式坩埚，坩埚配有电动防污挡板，具有高压灭弧自动复位功能；投标响应文件需注明电子枪品牌；★1、提供书面承诺，可以与学校已有的“电子束蒸镀系统”和“手套箱”系统、“嘉课堂”实训系统进行无缝对接，并提供实物到学校进校对接测试，如果无法对接成功，愿按虚假应标承担全部责任。2、整机免费保修期2年，需提供加盖制造商公章的售后服务承诺函编入响应文件。

按行业标准提供服务