光刻机

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光刻机

基本信息

项目编号中大招（货）[2023]058号
项目名称中山大学电子与 (略) （ (略) ）光刻机采购项目
项目类型货物采购申购主题光刻机采购单位中山大学
项目预算采购开始时间2023-05-10 16:34采购结束时间2023-05-19 09:00是否送货是
期望收货时间合同签订后45天交货经办人黎老师经办人电话020-*
送货地址广州大学城中山大学南实验楼F103
电子签章本项目需要使用CA签字CA操作手册下载
备注1、国内供货请报含税人民币价；境外供货（进口）请报免税人民币价或外币价， (略) 必须有境外人民币收款账户。 2、进口货物中如有国内供货部分，供应商在报价时应分别报价，境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物采购合同和国内采购合同。 3、本项目学校不收取任何费用， 外贸代理费由供应商支付。4、本项目需要使用CA证书，请供应商根据指引（http://**）提前办理CA证书。 5、技术参数中如标注有“★”号的条款必须实质性响应，负偏离（不满足要求）将导致报价无效。

设备列表

采购设备数量参考品牌详细响应要求
光刻机1台详情请进入系统查看
"光刻机"技术要求
序号技术要求内容评分等级是否需要附件说明
1 1、主机参数：★1、接触式紫外曝光，曝光波长：365nm，曝光面积：160mm×160mm 重要 是
2 2、分辨力：≤0.8μm 重要 否
3 ▲3、对准精度：±1 μm 非常重要 是
4 4、对准系统扫描台运动范围至少满足： Y:10mm；X:±40mm（数字设定） 重要 否
5 5、双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过CCD+显示器对准，光学合像，光学最大倍数400倍，光学+电子放大800倍，物镜三对：4倍、10倍、20倍，目镜三对：10倍、16倍、20倍 重要 否
6 6、掩模尺寸2.5寸，3寸，4寸，5寸 （其他尺寸可定制） 重要 否
7 7、样片尺寸：碎片，2寸， 3寸，4寸（其他尺寸可定制） 重要 否
8 8、适应样品厚度：0.5-6mm，最大可支持20mm的样片 重要 否
9 9、掩模相对于样片运动行程至少满足：X: ±5mm; Y: ±5mm;q: ±6° 重要 否
10 ▲10、曝光光源UVLED灯，曝光能量密度：＞30mW/cm2，光源曝光不均匀性:＜1.5% 非常重要 是
11 ▲11、对准位和曝光位双工位工作，双工位伺服电机自动切换 非常重要 否
12 12、具备纳米压印接口，也具备接近式接口 重要 否
13 配置清单：1、主机1台；2、触摸屏1台；3、机械泵1台；4、压缩泵1台 重要 否
14 到货后由厂家提供设备使用培训和日常保养培训。保修期内，由供货商免费提供上门服务，如需返回原厂维修，由供货商办理（进口货物由代理商办理进出口事宜）。 重要 否

基本信息

项目编号中大招（货）[2023]058号
项目名称中山大学电子与 (略) （ (略) ）光刻机采购项目
项目类型货物采购申购主题光刻机采购单位中山大学
项目预算采购开始时间2023-05-10 16:34采购结束时间2023-05-19 09:00是否送货是
期望收货时间合同签订后45天交货经办人黎老师经办人电话020-*
送货地址广州大学城中山大学南实验楼F103
电子签章本项目需要使用CA签字CA操作手册下载
备注1、国内供货请报含税人民币价；境外供货（进口）请报免税人民币价或外币价， (略) 必须有境外人民币收款账户。 2、进口货物中如有国内供货部分，供应商在报价时应分别报价，境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物采购合同和国内采购合同。 3、本项目学校不收取任何费用， 外贸代理费由供应商支付。4、本项目需要使用CA证书，请供应商根据指引（http://**）提前办理CA证书。 5、技术参数中如标注有“★”号的条款必须实质性响应，负偏离（不满足要求）将导致报价无效。

设备列表

采购设备数量参考品牌详细响应要求
光刻机1台详情请进入系统查看
"光刻机"技术要求
序号技术要求内容评分等级是否需要附件说明
1 1、主机参数：★1、接触式紫外曝光，曝光波长：365nm，曝光面积：160mm×160mm 重要 是
2 2、分辨力：≤0.8μm 重要 否
3 ▲3、对准精度：±1 μm 非常重要 是
4 4、对准系统扫描台运动范围至少满足： Y:10mm；X:±40mm（数字设定） 重要 否
5 5、双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过CCD+显示器对准，光学合像，光学最大倍数400倍，光学+电子放大800倍，物镜三对：4倍、10倍、20倍，目镜三对：10倍、16倍、20倍 重要 否
6 6、掩模尺寸2.5寸，3寸，4寸，5寸 （其他尺寸可定制） 重要 否
7 7、样片尺寸：碎片，2寸， 3寸，4寸（其他尺寸可定制） 重要 否
8 8、适应样品厚度：0.5-6mm，最大可支持20mm的样片 重要 否
9 9、掩模相对于样片运动行程至少满足：X: ±5mm; Y: ±5mm;q: ±6° 重要 否
10 ▲10、曝光光源UVLED灯，曝光能量密度：＞30mW/cm2，光源曝光不均匀性:＜1.5% 非常重要 是
11 ▲11、对准位和曝光位双工位工作，双工位伺服电机自动切换 非常重要 否
12 12、具备纳米压印接口，也具备接近式接口 重要 否
13 配置清单：1、主机1台；2、触摸屏1台；3、机械泵1台；4、压缩泵1台 重要 否
14 到货后由厂家提供设备使用培训和日常保养培训。保修期内，由供货商免费提供上门服务，如需返回原厂维修，由供货商办理（进口货物由代理商办理进出口事宜）。 重要 否

    
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