天津大学-竞价公告(CB100562023000175)
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天津大学-竞价公告(CB100562023000175)
申购单号:CB*
申购主题:蚀刻洁净机
采购单位:天津大学
报价要求:
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间:合同签订后7天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址: (略) /市辖区/南开区/点击查看>>*
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 蚀刻洁净机 | 1.0 | |
| 品牌 | JL-RR12 | ||
| 型号 | JL-RR12 | ||
| 规格参数 | 1.等离子源系统：频 率 13.56MHz 射频 功 率 2000W 可调 2.真空腔体： 材质 316L 不锈钢 处理最大尺寸 12 英寸，真空泵：进口干泵； 真空管路：不锈钢管、不锈钢波纹管 3，适用气体： 流量范围 0-500SCCM（可调） ，工艺气体 Ar、N？ 、O？ 、H？ 、CF？；真空计 1×105~1×10-1Pa ；质量流量计 ＜±1% FS； 气路控制 2 路处理气体气路，气体流量可调 ；工作真空 5Pa。 4.控制系统 ：PLC 自动控制；7 寸触摸屏,图形用户界面；配方程序为 0~99；多级权限操作； 图形化曲线图自动监测工艺参数状态及错误信息；存储工艺数据及错误信息；报警信息提示及追溯； 图形化界面检测处理参数； 自动、手动操作可切换； 维护提示紧急停止按钮； 门感应器和真空互锁； 机器运行信号指示； 机器运行结束提示； | ||
| 质保及售后服务 | 按行业标准提供服务（提供本地化安装调试及售后服务） | ||
申购单号:CB*
申购主题:蚀刻洁净机
采购单位:天津大学
报价要求:
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间:合同签订后7天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址: (略) /市辖区/南开区/点击查看>>*
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 蚀刻洁净机 | 1.0 | |
| 品牌 | JL-RR12 | ||
| 型号 | JL-RR12 | ||
| 规格参数 | 1.等离子源系统：频 率 13.56MHz 射频 功 率 2000W 可调 2.真空腔体： 材质 316L 不锈钢 处理最大尺寸 12 英寸，真空泵：进口干泵； 真空管路：不锈钢管、不锈钢波纹管 3，适用气体： 流量范围 0-500SCCM（可调） ，工艺气体 Ar、N？ 、O？ 、H？ 、CF？；真空计 1×105~1×10-1Pa ；质量流量计 ＜±1% FS； 气路控制 2 路处理气体气路，气体流量可调 ；工作真空 5Pa。 4.控制系统 ：PLC 自动控制；7 寸触摸屏,图形用户界面；配方程序为 0~99；多级权限操作； 图形化曲线图自动监测工艺参数状态及错误信息；存储工艺数据及错误信息；报警信息提示及追溯； 图形化界面检测处理参数； 自动、手动操作可切换； 维护提示紧急停止按钮； 门感应器和真空互锁； 机器运行信号指示； 机器运行结束提示； | ||
| 质保及售后服务 | 按行业标准提供服务（提供本地化安装调试及售后服务） | ||
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