溅射镀膜多功能转架系统竞价项目

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溅射镀膜多功能转架系统竞价项目

一、采购需求信息
项目号 HW*
设备品目类别 仪器设备 设备用途 科研
竞价开始时间 2023-05-16 17:17:25 竞价结束时间 2023-05-22 17:19:00
溅射镀膜多功能转架系统
商品名称 溅射镀膜多功能转架系统 品牌/厂家 非指定
型号 定制 数量 1
计量单位 成交单价 90000.00 元
成交供应商 广东生 (略) 保修年限 1年
技术指标 工件转架100*100mm,共6个装夹工位,带偏压;其中一个工位可加热;每个工位产品装夹尺寸:100*100mm;转架可编程控制角度。 独立加热模块,有效加热区:100*100mm 工作温度:常温~800℃,控制精度:±2℃。 偏压电源,参考型号:昊源BP-5KW,输入: 三相AC380V±10%,50Hz;输出功率:5KW ,40kHz±5%,单脉冲;输出电压:低压档:330V/高压档:1000V;输出电流:低压档:15A/高压档:5A。 伺服控制系统,可编程伺服电机控制,实现多种运动模式控制;采用磁流体动密封,漏率≤5×10-10Pa·m3 /s;工件架转速:0~120r/min,可正转反转,设定不同角度往复摆动或定点定位。
安装及售后要求 厂家上门安装调试交付,确保所有产品及部件为原装正品,原厂保修1年,保修期内免费上门维护设备。
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一、采购需求信息
项目号 HW*
设备品目类别 仪器设备 设备用途 科研
竞价开始时间 2023-05-16 17:17:25 竞价结束时间 2023-05-22 17:19:00
溅射镀膜多功能转架系统
商品名称 溅射镀膜多功能转架系统 品牌/厂家 非指定
型号 定制 数量 1
计量单位 成交单价 90000.00 元
成交供应商 广东生 (略) 保修年限 1年
技术指标 工件转架100*100mm,共6个装夹工位,带偏压;其中一个工位可加热;每个工位产品装夹尺寸:100*100mm;转架可编程控制角度。 独立加热模块,有效加热区:100*100mm 工作温度:常温~800℃,控制精度:±2℃。 偏压电源,参考型号:昊源BP-5KW,输入: 三相AC380V±10%,50Hz;输出功率:5KW ,40kHz±5%,单脉冲;输出电压:低压档:330V/高压档:1000V;输出电流:低压档:15A/高压档:5A。 伺服控制系统,可编程伺服电机控制,实现多种运动模式控制;采用磁流体动密封,漏率≤5×10-10Pa·m3 /s;工件架转速:0~120r/min,可正转反转,设定不同角度往复摆动或定点定位。
安装及售后要求 厂家上门安装调试交付,确保所有产品及部件为原装正品,原厂保修1年,保修期内免费上门维护设备。
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